The Lithographer

《The Lithographer》是一本文献杂志,带来微纳加工领域的精彩见解。它是一个让我们的全球社区建立联系的平台,也为专家展示各类光刻技术进展提供了舞台。

2020 年,Heidelberg Instruments 启动了这个项目,旨在与您分享我们所珍视和最熟悉的内容:直接写入技术在洁净室和工业生产线上用于微纳制造的前沿能力。《The Lithographer》涵盖了最先进的直接写入技术,例如激光、电子束和热扫描探针光刻,以及其他相关技术,包括软件、抗蚀剂化学和图形转移工艺。

我们很高兴地宣布第三期正式发布 ——《The Lithographer Surface Issue》。本期聚焦于表面结构设计,探讨如何通过微纳尺度的结构特征推动科研与工业领域的创新。

您将在《Surface Issue》中看到:

  • 40 年直接写入之路:Heidelberg Instruments 庆祝里程碑式周年纪念
  • 塑造先进制造的未来:对 LAB14 首席执行官 Martin Wynaendts van Resandt 的独家专访
  • 灰度曝光挑战:在超厚正片光刻胶上使用直写激光曝光
  • 专访 Jan Erjawetz:XRnanotech 光刻部门负责人,X 射线光学制造专家
  • 从经典光学到量子电子学:一位研究者受热扫描探针光刻启发的科研之旅
  • BEAMER:实现光子学的光刻软件
Lithographer —— 表面专题封面
《The Lithographer – Surface Issue》– 2025年5月

看看我们以前的期刊!

您将在《Quantum Issue》中看到:

  • 二维材料图案化的新思路
  • 采访 Clarence Chang:穿越宇宙。建造探测器,看到第一道曙光
  • 采访肯-伯奇 手套箱中的量子计算机
  • 采访米歇尔-西蒙斯一切尽在掌握
  • 专访鲍勃-沃尔科夫原子完美主义
  • 专访埃多尔多-阿尔比塞蒂(Edoardo Albisetti):带有自旋(波)的非常规计算
  • 专家诀窍:NanoFrazor 用于纳米级自旋纹理图案化
  • 专家诀窍:非侵入式光刻技术。实现卓越的设备性能
  • 专家诀窍:BEAMER – 电子束光刻软件。支持量子设备
Lithographer —— 量子专题封面
《The Lithographer – Quantum Issue》– 2020年10月

您将在《Grayscale Issue》中看到:

  • 研究亮点
  • 灰度光刻的崛起
  • 采访 Steffen Diez:工业用无掩膜对准器
  • 采访 Armin Knoll:摇摆布朗马达病毒式传播
  • 专访拉杰什-梅农:成像超越极限
  • 专家诀窍:复杂微结构的灰度光刻技术
  • 专家诀窍:灰度正向光刻胶系列 ma-P 1200G
  • 专家诀窍:闭环 3D 纳米光刻技术
Lithographer —— 灰度专题封面
《The Lithographer – Grayscale Issue》– 2020年1月

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