The Lithographer
《The Lithographer》是一本文献杂志,带来微纳加工领域的精彩见解。它是一个让我们的全球社区建立联系的平台,也为专家展示各类光刻技术进展提供了舞台。
2020 年,Heidelberg Instruments 启动了这个项目,旨在与您分享我们所珍视和最熟悉的内容:直接写入技术在洁净室和工业生产线上用于微纳制造的前沿能力。《The Lithographer》涵盖了最先进的直接写入技术,例如激光、电子束和热扫描探针光刻,以及其他相关技术,包括软件、抗蚀剂化学和图形转移工艺。
我们很高兴地宣布第三期正式发布 ——《The Lithographer Surface Issue》。本期聚焦于表面结构设计,探讨如何通过微纳尺度的结构特征推动科研与工业领域的创新。
看看我们以前的期刊!
您将在《Quantum Issue》中看到:
- 二维材料图案化的新思路
- 采访 Clarence Chang:穿越宇宙。建造探测器,看到第一道曙光
- 采访肯-伯奇 手套箱中的量子计算机
- 采访米歇尔-西蒙斯一切尽在掌握
- 专访鲍勃-沃尔科夫原子完美主义
- 专访埃多尔多-阿尔比塞蒂(Edoardo Albisetti):带有自旋(波)的非常规计算
- 专家诀窍:NanoFrazor 用于纳米级自旋纹理图案化
- 专家诀窍:非侵入式光刻技术。实现卓越的设备性能
- 专家诀窍:BEAMER – 电子束光刻软件。支持量子设备
您将在《Grayscale Issue》中看到:
- 研究亮点
- 灰度光刻的崛起
- 采访 Steffen Diez:工业用无掩膜对准器
- 采访 Armin Knoll:摇摆布朗马达病毒式传播
- 专访拉杰什-梅农:成像超越极限
- 专家诀窍:复杂微结构的灰度光刻技术
- 专家诀窍:灰度正向光刻胶系列 ma-P 1200G
- 专家诀窍:闭环 3D 纳米光刻技术
