《The Lithographer》是一本文献杂志,带来微纳加工领域的精彩见解。它是一个让我们的全球社区建立联系的平台,也为专家展示各类光刻技术进展提供了舞台。
Heidelberg Instruments 于 2020 年启动了这个项目,旨在与大家分享我们最珍视、最擅长的领域:在洁净室和工业生产线上,直接写入技术在微纳加工中的新兴能力。《The Lithographer》涵盖了最前沿的直接写入技术,例如激光、电子束和热扫描探针光刻,以及相关的软件、光刻胶化学和图形转移工艺等技术。
我们很高兴地宣布第三期正式发布 ——《The Lithographer Surface Issue》。本期聚焦于表面结构设计,探讨如何通过微纳尺度的结构特征推动科研与工业领域的创新。