2024 年，海德堡仪器公司将迎来成立 40 周年。值此之际，我们诚邀您浏览以下时间轴中的精彩内容，回顾我们充满里程碑、挑战和突破的历史，并展望未来。您可以重新发现在当时始终处于领先地位的老式光刻系统，参观我们以前的一些建筑，了解我们公司发展壮大的激动人心的历史！
海德堡仪器公司的历史里程碑
1984
基金会
海德堡仪器公司由一群来自海德堡大学、欧洲
分子生物学实验室（EMBL）和其他研究机构的科学家和研究人员创立，旨在利用他们的激光扫描技术开发商业产品并将其推向市场。
1984 - 1988
建国之年
在最初几年，公司开发了多种工具：微米和亚微米结构的线轮廓测量系统、共焦激光扫描显微镜模块、在电阻涂层基底上书写微结构的激光写入器、晶片检测系统和激光断层扫描仪。
1989
重组；成立 Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
启动资金耗尽后，公司分拆：激光共焦扫描显微镜归 Leica Lasertechnik 公司所有，激光断层扫描仪则由海德堡工程公司继续经营。激光光刻技术由 Roelof Wijnaendts-van-Resandt 继续经营，公司名称为海德堡仪器 Mikrotechnik 有限公司。
1991
第一个 DWL
直接激光写入系统 DWL2.0 是专为制造栅极阵列和栅极海 ASICS 而设计的。它是在欧洲 ESPRIT 计划框架内开发的，并以 Lasarray 的名义进行销售。
海德堡仪器公司在 1993 年之前一直是这家瑞士公司的临时组成部分。
1994
迁往罗尔巴赫
随着年轻公司的初步发展，公司需要搬出海德堡科技园，在海德堡南部新建一个更大的办公楼。1999 年，公司增建了二楼，这座被亲切地称为 “Halle 1 “的建筑一直作为公司总部使用到 2021 年。
1995
DWL66
第一套专门用于小批量、高精度直接图案化的系统是为研究机构和大学开发的。它被称为 DWL66，指的是 6 英寸 x 6 英寸的曝光区域。DWL66 满足了研发工具的要求，其成本低于 DWL2.0。
1994 - 1996
面罩写作与格柏的 OEM 协议
Mask Write 800（具有 800 毫米 x 600 毫米的大曝光面积）是一种高分辨率系统，主要应用于印刷电路板和后端工业光掩膜生产。在与美国格柏公司（Gerber Corporation）的合作中，我们开发出了掩膜写入 1550，这是一种用于等离子显示器生产的 1.55 米光罩的写入器。
1996 - 2002
全球业务
在日本和韩国安装了多套 Mask Write 1550 系统。在台湾、中国大陆、美国和日本设立了客户支持办事处，这反映了在这些地区市场影响力的扩大和扩张。2005 年，韩国办事处成立。
2002
增长
新的生产大楼是海德堡仪表技术公司（Heidelberg Instruments Mikrotechnik）建造和拥有的第一座大楼，标志着生产能力的大幅提高。
2006
首个桌面系统
第一台台式微图案发生器 µPG101 于 2006 年首次推出。在这些年里，海德堡仪器公司还为工业市场开发了其他激光设备。虽然从长远来看，这些设备并不成功，但它们的开发拓宽了公司的技术技能，例如将空间光调制器用于光刻技术。
2007
VPG
大面积系统
我们开发了一种新型系统，具有高曝光速度，专为芯片封装、液晶显示器和触摸屏领域的光掩膜生产而优化。第一台 “体积图案发生器 “VPG 800 安装在台湾的一家印刷电路板制造商，用于为芯片封装
应用写入光掩膜。
2013
VPG
小区域系统
大面积体积图案发生器之后是用于小面积写入的 VPG 系统，主要针对中小型掩膜生产、快速原型、微流体、微机电系统、先进封装和 LED 生产中的直接写入应用。
2015
永恒的一部分
2015 年之前，HIMT 主要是一家家族企业，管理层持有少数股份。RAG 基金会投资公司（RSBG）收购了海德堡仪器公司 100% 的股份。RSBG 为德国硬煤开采业务产生的 “Ewigkeitsaufgaben”（永久矿井管理义务）提供资金。
2017
成功案例：推出无掩膜矫治器
随着 MLA 系列的推出，海德堡仪器公司为市场带来了新一代无掩膜对位机系统。MLA 是一种高性能的无掩膜直接曝光系统，设计用于简单操作和高速制版。它专门用于取代光罩对准器或步进器。
2018
推出 ULTRA
2018 年，ULTRA 作为用于成熟光掩膜的半导体写入器面世。它基于 VPG+技术，但在精度、稳定性和分辨率方面具有更高的规格。
2018
纳米结构：产品组合不断扩大
2018 年，海德堡仪器公司收购了 SwissLitho AG 的大部分股权。这家瑞士公司的系统基于热扫描探针光刻技术（t-SPL），用于纳米图案化应用。NanoFrazor 技术包括将纳米结构写入抗蚀剂的加热针尖。
2019
工作重点大家庭不断壮大
MLA 300 发布：用于高产量应用的无掩模对准器，满足了行业要求，如提高产量、全自动化以及与制造执行系统的接口。台式无掩模对准器现在集成了广受欢迎的 µPG 的功能，并作为 µMLA 重新发布。
2021
采用 TPP 技术的真正 3D
德国多光子光学公司（Multiphoton Optics）加入了海德堡仪器公司的行列，该公司是基于双光子聚合（TPP）技术的三维激光光刻解决方案提供商。TPP 系统 MPO 100 作为用于三维
光刻和三维微打印
微结构的多用户工具亮相。
2021
搬迁和 ISO 认证
海德堡仪器公司迁至新址，并于同年获得了 TÜV 南德意志集团（安全、安保和可持续发展解决方案的审核机构和提供商）颁发的 ISO 9001:2015 质量管理体系认证。
2021
隶属于 Lab14 集团
海德堡仪器公司现隶属于 RSBG 的 LAB14 集团。该集团由高科技公司组成，为纳米和微加工以及表面分析提供互补的产品和服务。
2024
庆祝活动
今年是海德堡仪器公司成立 40 周年。自 1984 年以来，我们一直致力于开发和生产光刻解决方案。在过去的四十年里，我们公司已稳居直写光刻领域全球市场领导者的地位，并继续保持强劲的增长势头。
