德国海德堡–海德堡仪器公司（Heidelberg Instruments）的 ^VPG+1400 FPD 体积图案发生器获得了来自亚洲领先光掩膜制造商的两个大订单，订单总价值在 900 万欧元至 1000 万欧元之间。计划于 2025 年交付。

“全球销售与业务发展副总裁 Alexander Forozan 说：”这些重要订单的获得标志着公司的重要里程碑，巩固了我们的市场地位，推动了显示技术领域的进一步创新和增长。

^VPG+1400 是海德堡仪器公司最大的系统，专为平板显示器 (FPD) 行业的大尺寸光掩膜图案化而设计。它支持最大 1400 x 1400 mm² 的掩膜尺寸，是各代平板显示器（G4 至 G8）的理想选择。^VPG+1400 为高通量光掩膜生产设定了新标准，提供了大型显示器所需的精度和可扩展性。此外，它还能提供为平板显示器生产大面积半色调光掩膜所需的精度。

该系统配备先进的计量和对准功能，包括基于康耐视 AI 的图像识别，可确保多层掩膜的精确对准。其线性和非线性坐标校正功能可进一步实现跨工具的精确叠加。

通过满足客户多样化的曝光需求，海德堡仪器公司的大面积 ^VPG+体积图案发生器已被证明是显示器光掩膜生产线的宝贵财富。

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