许多应用要求在标准晶片和掩膜格式之外的特殊样品上进行光刻。针对不同基底的独特要求，我们积累了大量经验。在研究中，通常使用小块晶片。因此，我们完整的研发产品组合非常专业，可轻松处理小至几毫米的样品。

其他应用需要在非常规基底上进行光刻，如长杆、棱镜甚至曲面。如果您的应用需要非常规基底，请与我们联系。
我们的大多数标准系统已经可以处理各种基底，我们还可以为几乎任何尺寸和类型的基底开发定制系统。海德堡仪器公司在海德堡总部自行生产平台。