核心技术

海德堡仪器公司的技术组合包括高精度无掩模激光光刻（MLA）系统，用于直接写入二维和二点五维微结构、掩模制作和高级激光光刻应用。作为补充，我们基于热扫描探针光刻技术（t-SPL）的 NanoFrazor 能够以无与伦比的精度实现尖端纳米图案化。这些技术共同构成了海德堡仪器公司在微米和纳米加工领域的核心专长。