微流体技术和纳米流体技术

精确流体操纵

Description
微流体技术和纳米流体技术是迅速发展的领域，分别涉及在微米和纳米尺寸的通道中操纵小体积流体。这些技术在化学和生物研究、医疗诊断和工业领域有着广泛的应用，并推动了片上实验室设备的发展，为化学和生物反应提供了微型化平台。

这些设备具有减少样品量、加快反应时间和提高灵敏度等优点，因此在药物发现、护理点诊断和环境监测方面具有重要价值。微流体设备具有多种结构，制造材料包括 SU-8 和 mr-DWL 抗蚀剂，使用 DWL 和 MLA 系列等直写光刻工具进行图案化。

另一方面，纳米流体技术在纳米和生物技术应用中至关重要，因为这些应用需要精确处理微小的液体体积。它包括 DNA 测序、分类、组装和操纵纳米粒子、蛋白质、酶和病毒。纳米流体结构需要出色的形状控制，可以使用各种材料，包括生物相容性聚合物和环氧树脂。NanoFrazor具有灰度图案化能力，能够高效地创建纳米流体系统。其闭环光刻方法和集成的形貌传感器确保了高精度和超高分辨率，使其在纳米流体应用方面更具优势。随着技术的进步，微流体技术和纳米流体技术将在从基础研究到医疗诊断的各个领域发挥越来越重要的作用。
Requirements
Solutions

微流体技术和纳米流体技术是迅速发展的领域，分别涉及在微米和纳米尺寸的通道中操纵小体积流体。这些技术在化学和生物研究、医疗诊断和工业领域有着广泛的应用，并推动了片上实验室设备的发展，为化学和生物反应提供了微型化平台。

这些设备具有减少样品量、加快反应时间和提高灵敏度等优点，因此在药物发现、护理点诊断和环境监测方面具有重要价值。微流体设备具有多种结构，制造材料包括 SU-8 和 mr-DWL 抗蚀剂，使用 DWL 和 MLA 系列等直写光刻工具进行图案化。

另一方面，纳米流体技术在纳米和生物技术应用中至关重要，因为这些应用需要精确处理微小的液体体积。它包括 DNA 测序、分类、组装和操纵纳米粒子、蛋白质、酶和病毒。纳米流体结构需要出色的形状控制，可以使用各种材料，包括生物相容性聚合物和环氧树脂。NanoFrazor具有灰度图案化能力，能够高效地创建纳米流体系统。其闭环光刻方法和集成的形貌传感器确保了高精度和超高分辨率，使其在纳米流体应用方面更具优势。随着技术的进步，微流体技术和纳米流体技术将在从基础研究到医疗诊断的各个领域发挥越来越重要的作用。

Application images

Microfluidic chip made of SU-8

Microfluidic chip made of SU-8, meandering channel, width 200 µm

Microfluidic chip made of SU-8, mixer, pillar diameter 150 µm

Microfluidic chip made of SU-8, mixer, pillar diameter 150 µm

Microfluidic chip made of SU-8, waste reservoir, channel width 150 µm

Microfluidics channels in 25 µm of SU-8 fabricated by Maskless Lithography.

The image shows a master of a microfluidic mixer in 100 μm SU-8, which can be patterned with the 375 nm wavelength option of the MLA 150. This type of structure is typically transferred by soft lithography in PDMS. (Courtesy of CMi EPFL Center of MicroNanoTechnology)

The nanostructure of a tendon tissue (left: AFM of the original tendon) patterned and imaged with NanoFrazor Explore into biocompatible PPA resist (right image).
(Courtesy of Melbourne Nanofabrication Center, published in 2019) — The nanostructure of a tendon tissue (left: AFM of the original tendon) patterned and imaged with NanoFrazor Explore into biocompatible PPA resist (right image). (Courtesy of Melbourne Nanofabrication Center, published in 2019)

Nanofluidic ratchets fabricated with single-nanometer accuracy by NanoFrazor patterning.
(Courtesy of IBM Research, Publications in Science and PRL 2018) — Nanofluidic ratchets fabricated with single-nanometer accuracy by NanoFrazor patterning. (Courtesy of IBM Research, Publications in Science and PRL 2018)

Thermolysin enzymes trapped in 10-nm-wide lines written with a NanoFrazor Explore.
(Courtesy of Riedo group at NYU, Publications in 2019) — Thermolysin enzymes trapped in 10-nm-wide lines written with a NanoFrazor Explore. (Courtesy of Riedo group at NYU, Publications in 2019)

suitable Systems

µMLA

无掩膜对准器

可配置的紧凑型台式无掩模对准仪，配有光栅扫描和矢量曝光模块。

工作重点 150

无掩膜对准器

用于快速原型制作的最快无掩模工具，是掩模校准器的替代品。非常适合标准二进制光刻。

DWL⁶⁶⁺

直接写入激光光刻系统

我们最通用的研究和原型制作系统，具有可变分辨率和多种选项。

DWL 2000 GS / DWL 4000 GS

直接写入激光光刻系统

市场上最先进的工业灰度光刻工具。

纳米光栅

热扫描探针光刻系统

多功能模块化工具组合热扫描探头光刻, 直接激光升华和先进的自动化用于尖端研发。研发。