微机电系统

MEMS 是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的简称，是尺寸在 1 微米到 100 微米之间的微型系统组件。这些微小的设备可以实现现有设备的微型化，利用宏观尺度上不存在的物理原理提供新的功能，并促进在微观世界中运行的工具的开发。微机电系统可以是复杂的机器，如传感器和致动器，也可以是简单的结构，如悬臂、齿轮或其他机械零件。

微机电系统应用广泛，包括加速计、陀螺仪、压力传感器、生物传感器、微泵、微阀等。MOEMS 或微光机电系统与标准的 MEMS 不同，它将微光学与其他 MEMS 元件结合在一起。MOEMS 的例子包括光开关、光调制器和光互连。

微机电系统的制造依赖于半导体工艺技术，包括层沉积、光刻图案和蚀刻技术，以实现所需的器件形状。

直接写入光刻技术是一种高度灵活的技术，可在纳米和微米尺度上修改和塑造材料。海德堡仪器公司的 DWL 和 MLA 系列直接写入激光光刻工具可用于在硅片上制作蚀刻掩膜、在厚光刻胶中制作高纵横比结构，以及在清除光刻胶图案中进行材料沉积。请访问相应的产品页面了解更多信息（见下文）。