产品

Heidelberg Instruments 的系统和技术组合包括用于二维(2D)和2.5维(2.5D)微结构直接写入、掩模制作以及高级激光光刻应用的高精度无掩模激光光刻(Maskless Laser Lithography)系统。此外，基于热扫描探针光刻(Thermal Scanning Probe Lithography)的NanoFrazor提供无与伦比精度的前沿纳米图案化。两种技术结合构成了 Heidelberg Instruments 在微纳制造领域的核心专业能力基础。