디스플레이 애플리케이션의 대형 기판에서 포토마스크 제작을 위한 설계
고객 어플리케이션
고객이 당사 시스템을 선택하는 이유
기술 데이터
| 쓰기 모드 | QX | FX | |
|---|---|---|---|
| 쓰기 성능 | 고품질 | 높은 처리량 | |
| 최소 구조 크기 [μm] | 0.8 | 1 | |
| 주소 그리드 [nm] | 8 | 8 | |
| 가장자리 거칠기 [3σ, nm] | 20 | 40 | |
| 글로벌 선폭 균일도 [3σ, nm] | 70 | ||
| 로컬 선폭 균일도 [3σ, nm] | 50 | 70 | |
| 플레이트 투 플레이트 오버레이(G8) [3σ, nm] | 250 | ||
| 스티칭 [3σ, nm] | 40 | 50 | |
| 세컨드 레이어 얼라이먼트 (1000 x 1000 mm²) [평균+3σ nm] | 400 | ||
| 쓰기 속도 [mm²/min] | 1450 | 2900 |
| 시스템 기능 | |
|---|---|
| 광원 | 355nm의 고출력 DPSS 레이저 |
| 최대 기판 크기 | 1400 x 1500 mm² (VPG+ 1400 FPD) / 1400 x 1850 mm² (VPG+ 1850 FPD) |
| 기판 두께 | 0~15mm |
| 최대 노출 영역 | 1400 x 1400 mm² (VPG+ 1400 FPD) / 1400 x 1800 mm² (VPG+ 1850 FPD) |
| 자동 초점 | 실시간 자동 초점 시스템(광학 및 공압식) |
| 자동 초점 보정 범위 | 250 µm |
| 자동화 | 반자동 로딩 시스템 |
| 플로우박스 | 폐쇄 루프 온도 제어 환경 챔버 |
| 정렬 | 계측 및 정렬을 위한 카메라 시스템 |
| 기타 기능 | 무대 위치 보정을 위한 매트릭스 보정 소프트웨어, 무라 및 패널 피치 최적화, 에지 검출기 시스템, 다양한 데이터 입력 포맷 (DXF, CIF, GDSII 및 거버 파일) |
| 시스템 크기 | |
| 본체(도어 닫힘, 로더 확장) | |
| 너비 [mm] | 5370 |
| 깊이 [mm] | 7000 |
| 높이 [mm] | 2800 |
| 무게 [kg] | 25000 |
| 설치 요구 사항 | |
| 전기 | 400VAC ± 5%, 50/60Hz, 32A |
| 압축 공기 | 8 - 10 바 |
