다용도 모듈식 나노 리소그래피 도구
고객 어플리케이션
제작 공정에 대해 배우려면 응용 노트를 읽으십시오.
(L. Shani*, J. Chaaban* et al 2024 Nanotechnology 35 255302)
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고객이 당사 시스템을 선택하는 이유
기술 데이터
| 열 프로브 쓰기 | 직접 레이저 승화 | ||
|---|---|---|---|
| 단일 팁 | Decapede | ||
| 패터닝 성능 | |||
| 최소 구조 크기 [nm] | 15 | 15 | 600 |
| 최소 선 및 간격 [하프 피치, nm] | 25 | 25 | 1000 |
| 그레이스케일/3차원 해상도(PPA 단위의 단계 크기) [nm] | 2 | 2 | - |
| 최대 쓰기 필드 크기 [X μm x Y μm] | 60 x 60 | 60 x 60 | 60 x 60 |
| 현장 스티칭 정확도(마커리스, 현장 이미징 사용) [nm] [nm] | 25 | 25 | 600 |
| 오버레이 정확도(마커 없음, 현장 이미징 사용) [nm] [nm] | 25 | 25 | 600 |
| 쓰기 속도(일반 스캔 속도) [mm/s] | 1 | 1 | 5 |
| 쓰기 속도(50nm 픽셀) [μm²/분] | 1000 | 10 000 | 100 000 |
| 지형 이미징 성능 | |||
| 측면 이미징 해상도(피처 크기) [nm] | 10 | ||
| 수직 해상도(지형 감도) [nm] | <0.5 | ||
| 이미징 속도(@ 50nm 해상도) [μm²/min] | 1000 | 10 000 | - |
| 기본 시스템 기능 | |
|---|---|
| 인쇄물 크기 | 1 x 1mm² ~ 100 x 100mm²(제한적으로 150 x 150mm² 가능)
두께: 최대 10mm |
| 광학 현미경 | 0.6μm 디지털 해상도, 2μm 회절 한계, 1.0mm x 1.0mm 시야각, 자동 초점 |
| 자석 캔틸레버 홀더 | 빠르고(<1분) 정확한 팁 교환 |
| 진동 차단 | 능동형 진동 차단 단계 |
| 선택적 시스템 기능 / 모듈성 | |
| 직접 레이저 승화 | 레이저 소스 및 광학 장치: 405nm 파장 CW 파이버 레이저, 300mW, 최소 초점 크기 1.2μm 레이저 자동 초점: NanoFrazor 캔틸레버의 거리 센서 사용 |
| Decapede | 10가지 팁으로 병렬 쓰기 |
| 독립형 하우징 | 3중 방음, 뛰어난 진동 차단(> 98% @ 10Hz) | PC 제어 온도 및 습도 모니터링, 가스 흐름 조절 | (크기 185cm x 78cm x 128cm / 무게 650kg) |
| 글로브박스 전체 통합 | 제어된 환경에서 나노리소그래피를 위한 글로브박스에 통합 가능 |
| NanoFrazor 캔틸레버 기능(싱글 팁 및 데카페드 모두) | |
| 통합 구성 요소 | 팁 히터, 지형 센서, 정전기 작동 |
| 팁 지오메트리 | <반경 10nm, 길이 750nm의 원추형 팁 |
| 팁 히터 온도 범위 | 25 °C – 1400 °C (<1 K 설정점 분해능) |
| 기본 시스템 치수 및 설치 요구 사항 | |
| 높이 × 너비 × 깊이 | 탁상용 유닛: 44㎝ x 40㎝ x 45㎝ 컨트롤러: 84㎝ x 60㎝ x 56㎝ |
| 무게 | 탁상용 장치: 50kg 컨트롤러: 80kg |
| 전원 입력 | 110 또는 220V AC, 10A 1개 |
| 소프트웨어 기능 | |
| GDS 및 비트맵 가져오기, 256 그레이 스케일 레벨, 오버레이를 위한 지형 이미지 분석 및 그리기, 팁과 레이저 쓰기 간의 믹스 앤 매치, 완전 자동화된 보정 루틴, Python 스크립팅 |
