뉴스블로그

3D 메타표면 제작의 발전: 하이델베르그 인스트루먼트의 FABulous 프로젝트 회의

FABulous 미팅 단체 사진

하이델베르그 인스트루먼트는 12월 3일과 4일에 뷔르츠부르크 지사에서 EU가 지원하는 FABulous 이니셔티브의 프로젝트 회의를 주최했습니다. 유럽 전역에서 온 참가자들이 모여 프로젝트의 최신 진행 상황을 논의하고 멀티광자 리소그래피 및 공정 모델링의 획기적인 발전을 달성하기 위한 다음 단계를 계획했습니다. FABulous의 궁극적인 목표는 대량 생산에 적합한 속도로 고해상도 3D 메타표면을 생산할 수 있도록 하는 것입니다.

프로젝트 파트너들에게 프랑코니아 문화를 소개하기 위해 팀은 저녁에 줄리어스스피탈의 유서 깊은 저장고에서 와인 시음 투어를 진행한 후 저녁 만찬을 준비했습니다. 이 특별한 경험은 지역의 환대를 즐기고 팀 정신을 강화할 수 있는 완벽한 기회를 제공했습니다.

차세대 고효율 광학 제품을 구현하기 위한 3D 메타표면 제작의 줄임말인 FABulous는 유럽 파트너십 ‘Made in Europe’의 일환으로, EU의 Horizon Europe 연구 및 혁신 프로그램 (보조금 계약 101091644)의 자금을 지원받습니다.

파불러스 프로젝트가 멀티 광자 리소그래피의 경계를 넓히고 3D 메타표면 기술의 혁신을 주도하는 모습을 계속 지켜봐 주세요!

공유:

관련 게시물

300 mm 웨이퍼에서 Cu RDL 도금 및 레지스트 제거 후의 고급 패키징.

마스크리스 리소그래피가 차세대 고급 패키징을 가능하게 하는 방법

인공지능과 고성능 컴퓨팅이 단일 집적 회로를 구식으로 몰아내면서 업계는 첨단 패키징 기술로 눈을 돌리고 있습니다. 그러나 다이 변위와 기판 뒤틀림 같은 문제들은 패키지가 생산 라인을 떠나기도 전에 수율을 위협합니다. 마이크로전자공학의 새로운 영웅, 마스크리스 리소그래피가 등장합니다. 적응형 정렬 기술이 어떻게 칩릿의 수명을 보장하여 컴퓨팅 성능을 지속시키는지를 알아보세요.

마스크리스 리소그래피는 센서 분야의 응용에 핵심적인 매우 높은 오버레이 정밀도를 제공합니다. SQUID 장치 생산에는 최대 18개의 레이어와 고해상도 구조가 포함될 수 있습니다. 레이어 간 정렬은 생산 수율에 매우 중요하며, MLA 150으로 인상적으로 입증된 마스크리스 정렬기 기술로 자동 수행됩니다.

이론을 넘어: 정밀 리소그래피로 양자 디바이스를 설계하다

양자 혁명은 이제 이론에서 현실로 전환되고 있습니다. 구글의 “Quantum Echoes” 와 같은 혁신적 성과가 그 예입니다.
작은 데모 수준에서 수천 개 큐비트를 포함한 시스템으로 확장하기 위해서는 초정밀하고 균일한 나노패브리케이션이 필수적입니다. 이 글에서는 연구실 규모에서 대량 생산으로 도약하기 위해 필요한 제조상의 도전 과제와 리소그래피 솔루션을 다룹니다.

위로 스크롤