많은 응용 분야에서는 표준 웨이퍼 및 마스크 형식이 아닌 특수 샘플에 리소그래피를 해야 합니다. 당사는 다양한 기판에 대한 고유한 요구 사항에 대해 많은 경험을 축적해 왔습니다. 연구 분야에서는 작은 웨이퍼 조각이 일반적으로 사용됩니다. 따라서 당사의 전체 R&D 제품 포트폴리오는 수 밀리미터의 작은 샘플에서도 쉽게 작업할 수 있도록 특화되어 있습니다.

긴 막대, 프리즘 또는 곡면과 같은 비전통적인 기판에 리소그래피가 필요한 다른 애플리케이션도 있습니다. 애플리케이션에 특이한 기판이 필요한 경우 당사에 문의하세요.
대부분의 표준 시스템은 이미 다양한 기판을 처리할 수 있으며 거의 모든 크기와 유형의 기판에 맞는 맞춤형 시스템을 개발할 수 있습니다. 하이델베르크 인스트루먼트는 하이델베르크 본사에서 스테이지를 자체적으로 제조합니다.