소형 및 비정형 기판

많은 어플리케이션에서 표준 웨이퍼 및 마스크 형식이 아닌 특수 샘플에 리소그래피를 해야 합니다. 당사는 다양한 기판에 대한 고유한 요구 사항에 대해 많은 경험을 축적해 왔습니다. 연구 분야에서는 작은 웨이퍼 조각이 일반적으로 사용됩니다. 따라서 당사의 전체 연구 개발 제품 포트폴리오는 수 밀리미터의 작은 샘플에서도 쉽게 작업할 수 있도록 특화되어 있습니다.

다른 어플리케이션은 긴 막대, 프리즘 또는 곡면과 같은 비정형 기판에 리소그래피가 필요합니다. 어플리케이션에 특이한 기판이 필요한 경우 당사에 문의하세요.
대부분의 표준 시스템은 이미 다양한 기판을 처리할 수 있으며, 거의 모든 크기와 유형의 기판에 맞는 맞춤형 시스템을 개발할 수 있습니다. Heidelberg Instruments 하이델베르크 본사에서 스테이지를 자체적으로 제조합니다.