기존의 포토리소그래피는 포토마스크를 제작하거나 구매한 다음 스테퍼 또는 마스크 얼라이너를 사용하여 CAD 패턴을 레지스트로 덮인 웨이퍼 또는 플레이트에 전송해야 합니다. 이 공정은 규모의 경제로 인해 미크론 미만 크기의 디자인 피처를 대량으로 제조하는 데 가장 확립되고 비용 효율적인 방법입니다. 하이델베르그 인스트루먼트는 성숙한 반도체 포토마스크부터 전자 및 FPD 포토마스크에 이르기까지 포토마스크 시장을 위해 특별히 설계된 ^VPG+ 시리즈 및 ULTRA와 같은 고급 시스템을 제공합니다.

그러나 다른 많은 응용 분야에서는 마스크리스 리소그래피가 강력하고 지속 가능한 대안을 제시합니다. 이 고정밀, 고도로 유연한 기술은 R&D, 신속한 프로토타입 제작, 피처 크기가 1µm 이상인 소량 생산에 이상적입니다. 마스크리스 리소그래피는 포토마스크가 필요하지 않으므로 초기 비용, 재료 낭비, 화학 물질 소비를 줄일 수 있어 설계 유연성과 빠른 반복 주기가 중요한 중소량 생산에 특히 유리합니다.

마스크리스 리소그래피에서는 ‘동적 포토마스크’ 역할을 하는 공간 광 변조기(SLM)를 사용하여 패턴을 기판 표면에 직접 노출합니다. 디자인 파일을 업로드하고 변환하기만 하면 나머지는 시스템이 알아서 처리합니다. 포토마스크 주문, 지연, 값비싼 마스크 반복이 필요 없습니다. 디자인이 발전하면 파일을 다시 로드하고 기존 포토마스크 기반 프로세스에 필요한 시간보다 훨씬 짧은 시간에 새로운 노출을 수행하기만 하면 됩니다.

속도와 유연성 외에도 마스크리스 시스템은 재료 낭비, 에너지 소비, 화학 물질 사용을 최소화하여 지속 가능성에 기여하므로 최신 마이크로 제조를 위한 책임감 있는 선택이 될 수 있습니다.

여기에서 마스크리스 얼라이너(MLA) 및 직접 쓰기 리소그래피(DWL) 시스템에 대해 알아보세요.