핵심 기술

하이델베르크 인스트루먼츠의 기술 포트폴리오는 2D 및 2.5D 미세구조의 직접 패터닝, 마스크 제작, 고급 레이저 리소그래피 응용을 위한 고정밀 마스크리스 레이저 리소그래피(MLA) 시스템을 포함합니다. 여기에 더해, NanoFrazor는 열 주사 탐침 리소그래피(t-SPL) 기술을 기반으로 하여 탁월한 정밀도의 최첨단 나노 패터닝을 가능하게 합니다. 이 두 기술은 하이델베르크 인스트루먼츠의 미세 및 나노 패브리케이션 핵심 역량의 기반을 이룹니다.