디스플레이 업계는 더 높은 해상도와 에너지 효율을 끊임없이 추구하기 때문에 특히 평판 디스플레이(FPD) 생산에 중요한 대형 마스크에 탁월한 정밀도, 확장성 및 처리량을 제공하는 포토마스크 제작 도구가 필요합니다. 하이델베르그 인스트루먼트의 ^VPG+ 1400 FPD 볼륨 패턴 생성기는 이러한 엄격한 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계되었습니다.

FPD용 포토마스크 생산의 선구자

^VPG+ 1400 FPD는 박막 트랜지스터(TFT) 어레이, 컬러 필터, 인듐 주석 산화물(ITO) 전극 등 필수 디스플레이 구성 요소를 위한 대면적 포토마스크(최대 1400 x 1400mm²)를 제작하는 데 탁월한 성능을 발휘합니다. 이러한 마스크는 최신 디스플레이의 초석으로 OLED, 마이크로 LED, 퀀텀닷과 같은 기술을 가능하게 합니다. 뮤라 최적화, 에지 감지, 패널 피치 최적화와 함께 미크론 이하의 해상도로 대형 기판을 처리할 수 있는 능력은 완벽한 디스플레이 성능에 필요한 정밀도와 균일성을 보장합니다. 폐쇄 루프 환경 챔버는 공정 전반에 걸쳐 최적의 조건을 유지하여 대량 생산 시에도 일관된 결과를 보장합니다.

디스플레이 제조 과제를 해결하는 주요 기능

• 고속 광학 엔진: 그리팅 라이트 밸브(GLV)와 355nm DPSS 레이저를 사용하는 고속 1D 광학 변조기는 높은 수치 조리개(NA) 쓰기 렌즈와 결합하여 미크론 이하의 해상도와 낮은 광학 왜곡을 제공합니다. GLV 리본은 최대 350kHz까지 구동할 수 있습니다. 광학 엔진은 높은 자외선 투과율, 1088픽셀의 2.4Gbit/s의 초고속 데이터 전송률, 10비트 강도 변조를 자랑합니다.
• 타협하지 않는 정밀도: 1nm 간섭계 위치 제어와 8nm의 주소 그리드를 갖춘 고정밀 위치 계측을 통해 800nm 이하의 특징을 가진 복잡한 디자인 패턴을 포토마스크에 정확하게 전송할 수 있습니다.
• 탁월한 처리량: 초고속 노광 엔진으로 분당 2750mm²의 처리량을 구현하여 노광 시간을 크게 단축하고 품질 저하 없이 신속하게 마스크를 생산할 수 있습니다.
• 확장 가능한 제작: 대형 정밀 스테이지에는 최대 1400 x 1400mm²의 기판을 수용할 수 있어 중형 및 대형(최대 G8) 디스플레이의 고유한 요구 사항에 이상적입니다.
• 고급 정렬: 코그넥스 이미지 인식과 다점 정렬 및 손상된 마크 스킵 기능을 포함한 포괄적인 계측 패키지는 다층 마스크 생산에 필수적인 정밀한 2차 정렬 기능(1000 x 1000 mm² 영역에서 400nm 평균+3σ)을 제공합니다. 정교한 2D 보정 매트릭스가 스테이지 위치를 보정하고 정확한 툴 매칭을 보장합니다.
• 자동화 및 신뢰성: 자동 보정 기능은 워크플로우를 간소화하고 오류를 최소화하며 연중무휴 24시간 안정적인 작동을 보장하여 예측 가능한 배송 시간을 제공합니다. 실시간 기후 보정 및 소프트웨어 보정 기능을 갖춘 매우 안정적인 기후 챔버는 ±0.05°C까지 온도 안정성을 유지합니다.

기타 사양

• 150µm 보정 범위의 실시간 자동 초점 시스템(광학 및 공압식).
• 기판 두께: 0~13.2mm.
• 단일 교차 측정 정확도: 10 – 20nm
• 면적 측정 정확도(G8 영역): ~50nm
• 등록(3σ): 100nm
• 플레이트 간 오버레이(3σ): 250nm
• 직교성: 0.2µrad

디스플레이 산업을 위한 애플리케이션 및 이점

^VPG+ 1400 FPD는 모든 산업용 데이터 포맷을 지원하므로 기존 워크플로우에 원활하게 통합할 수 있습니다. 주요 애플리케이션은 다음과 같습니다:

• TFT 어레이: 고해상도 디스플레이를 위한 정밀 트랜지스터 제작.
• 컬러 필터: 정확한 색 충실도를 위한 필터의 균일성.
• ITO 전극: 터치스크린 기능 및 에너지 효율을 위한 투명 전도성 층의 패터닝. 하프톤 포토마스크를 사용하면 ITO 층 두께와 대면적 균일성을 정밀하게 제어하여 광학 및 전기 성능을 최적화할 수 있습니다.

뛰어난 처리량, 최고의 정밀도, 생산 비용 절감이 결합된 ^VPG+ 1400 FPD는 FPD 시장에서 경쟁력을 확보하려는 포토마스크 제조업체에게 없어서는 안 될 도구입니다.

디스플레이 생산의 미래를 위해 구축

^VPG+ 1400 FPD에 투자하면 제조업체는 다음과 같은 이점을 얻을 수 있습니다:

• 완벽한 디스플레이를 위한 뛰어난 마스크 품질.
• 생산 최적화를 통한 수익성 향상.
• 차세대 디스플레이 기술을 위한 장기적인 확장성.

디스플레이 산업이 계속 발전함에 따라 하이델베르그 인스트루먼트의 ^VPG+ 1400 FPD는 디스플레이 제조의 정밀성, 효율성 및 혁신에 대한 끊임없이 증가하는 수요를 충족할 수 있는 획기적인 솔루션으로 자리매김하고 있습니다.