제품

하이델베르그 인스트루먼츠는 연구 및 산업용 마이크로·나노 제작을 위한 첨단 리소그래피 시스템을 개발합니다. 당사의 제품 포트폴리오는 빠른 프로토타이핑, 2D 및 2.5D 마이크로 구조, 마스크 제작을 위한 무마스크 레이저 리소그래피(MLA) 시스템과 초고해상도 나노 패턴 제작을 위한 NanoFrazor 나노리소그래피 도구를 결합합니다.

다용도 연구개발 도구에서 고처리량 산업 시스템에 이르기까지, 당사의 제품은 정밀 패턴, 그레이스케일 리소그래피, 고해상도 마이크로 및 나노 구조, 다양한 기판에서의 유연한 통합을 제공합니다. 이러한 도구들은 최첨단 마이크로 제작, 나노리소그래피, 첨단 광학 응용 분야에 대한 하이델베르그 인스트루먼츠의 핵심 전문성을 보여줍니다.