재료 과학

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신소재를 위한 리소그래피

  • Description

  • 나노 및 마이크로 규모의 재료로 작업하려면 패턴 및 디바이스 치수가 재료 특성에 미치는 영향에 주의를 기울여야 합니다.
    직접 노광 석판 인쇄는 이러한 스케일에서 재료를 수정하고 형상화하는 유연한 방법을 제공하여 다양한 물리적 특성을 제어할 수 있습니다. 하이델베르그 인스트루먼트의 DWL 및 MLA 시리즈는 직접 쓰기 레이저 리소그래피를 사용하여 전자 장치 및 측정을 위한 접점뿐만 아니라 마이크로 스케일 패턴, 구조 및 텍스처를 제작할 수 있습니다.

    또한 열 스캐닝 프로브 리소그래피 (t-SPL)를 사용하면 국부 가열을 가할 수 있는 기능이 추가되어 나노 스케일에서 재료 수정을 시작할 수 있습니다. 나노프레이저는 리소그래피를 위한 매우 정밀하고 다양한 도구를 제공하여 초고속 가열, 냉각 및 높은 국부 압력을 나노 규모의 재료에 적용하여 거시적으로 접근할 수 없는 물질의 상태에 접근할 수 있게 해줍니다.

    이러한 직접 쓰기 리소그래피 기술은 재료의 물리적 특성을 연구하고 제어하는 데 사용할 수 있으며, 고성능 전자 제품, 에너지 저장, 정수 등의 분야에서 잠재적으로 응용될 수 있습니다. 패턴과 소자 크기가 계속 줄어들면서 직접 쓰기 리소그래피는 나노 기술의 지속적인 발전을 위한 유망한 길을 제시합니다.

    아래는 재료 과학 및 이 애플리케이션에 적합한 시스템과 관련된 몇 가지 이미지입니다.

  • Requirements

  • Solutions

나노 및 마이크로 규모의 재료로 작업하려면 패턴 및 디바이스 치수가 재료 특성에 미치는 영향에 주의를 기울여야 합니다.
직접 노광 석판 인쇄는 이러한 스케일에서 재료를 수정하고 형상화하는 유연한 방법을 제공하여 다양한 물리적 특성을 제어할 수 있습니다. 하이델베르그 인스트루먼트의 DWL 및 MLA 시리즈는 직접 쓰기 레이저 리소그래피를 사용하여 전자 장치 및 측정을 위한 접점뿐만 아니라 마이크로 스케일 패턴, 구조 및 텍스처를 제작할 수 있습니다.

또한 열 스캐닝 프로브 리소그래피 (t-SPL)를 사용하면 국부 가열을 가할 수 있는 기능이 추가되어 나노 스케일에서 재료 수정을 시작할 수 있습니다. 나노프레이저는 리소그래피를 위한 매우 정밀하고 다양한 도구를 제공하여 초고속 가열, 냉각 및 높은 국부 압력을 나노 규모의 재료에 적용하여 거시적으로 접근할 수 없는 물질의 상태에 접근할 수 있게 해줍니다.

이러한 직접 쓰기 리소그래피 기술은 재료의 물리적 특성을 연구하고 제어하는 데 사용할 수 있으며, 고성능 전자 제품, 에너지 저장, 정수 등의 분야에서 잠재적으로 응용될 수 있습니다. 패턴과 소자 크기가 계속 줄어들면서 직접 쓰기 리소그래피는 나노 기술의 지속적인 발전을 위한 유망한 길을 제시합니다.

아래는 재료 과학 및 이 애플리케이션에 적합한 시스템과 관련된 몇 가지 이미지입니다.

Application images

Microscale columns with flat tops (the tops are 2x2 um) patterned using a MLA 150 Maskless Aligner. (Courtesy of EPFL Center for Micronanotechnology)
Microscale columns with flat tops (the tops are 2x2 um) patterned using a MLA 150 Maskless Aligner. (Courtesy of EPFL Center for Micronanotechnology)
Directed self-assembly of PS-b-PMMA lamellae on top of a 25 nm HP NanoFrazor pattern (right) and without a guiding pattern (left). (Courtesy of CNM-IMB Barcelona, Spain)
Directed self-assembly of PS-b-PMMA lamellae on top of a 25 nm HP NanoFrazor pattern (right) and without a guiding pattern (left). (Courtesy of CNM-IMB Barcelona, Spain)
Metal contacts with vanishingly small Schottky barriers fabricated using the NanoFrazor. On single-layer CVD-grown MoS2. (Courtesy of Prof. Elisa Riedo, NYU, see Nat.Electr.2019)
Metal contacts with vanishingly small Schottky barriers fabricated using the NanoFrazor. On single-layer CVD-grown MoS2. (Courtesy of Prof. Elisa Riedo, NYU, see Nat.Electr.2019)
Heated NanoFrazor tip creates ferroelectric PZT nanostructures by local crystallization of an amorphous sol-gel precursor material. (Courtesy of Riedo group, NYU, published by Kim et al. in Adv. Mat. 2011)
Heated NanoFrazor tip creates ferroelectric PZT nanostructures by local crystallization of an amorphous sol-gel precursor material. (Courtesy of Riedo group, NYU, published by Kim et al. in Adv. Mat. 2011)
SEM image of 100-nm-wide squares patterned by NanoFrazor and subsequently ion milled into a rough iron oxide film.
SEM image of 100-nm-wide squares patterned by NanoFrazor and subsequently ion milled into a rough iron oxide film.
Single Ni nanowires used to investigate Co-Ni alloy magneto-thermopower and magneto-resistance. (Courtesy of Tim Boehnert, University of Hamburg)
Single Ni nanowires used to investigate Co-Ni alloy magneto-thermopower and magneto-resistance. (Courtesy of Tim Boehnert, University of Hamburg)
NanoFrazor can be used for high-resolution direct removal of certain materials; here a perovskite crystal (inset) was patterned. (Courtesy of Hemayyet Uddin (MCN, Melbourne), in cooperation with Heidelberg Instruments Nano)
NanoFrazor can be used for high-resolution direct removal of certain materials; here a perovskite crystal (inset) was patterned. (Courtesy of Hemayyet Uddin (MCN, Melbourne), in cooperation with Heidelberg Instruments Nano)
Thermal quenching of a thermochromic supramolecular polymer to obtain fluorescence contrast via disaggregation of excimer-forming moieties. (Courtesy of LMIS1 at EPFL, published by Zimmermann et al. in ACS Appl. Mat. & Int. 9, 2017)
Thermal quenching of a thermochromic supramolecular polymer to obtain fluorescence contrast via disaggregation of excimer-forming moieties. (Courtesy of LMIS1 at EPFL, published by Zimmermann et al. in ACS Appl. Mat. & Int. 9, 2017)

suitable Systems

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