미세유체학 및 나노유체학은 마이크로미터에서 나노미터에 이르는 크기의 채널과 구조물 내에서 액체를 정밀하게 제어할 수 있게 해줍니다. 이러한 기술은 현대의 랩온어칩(Lab-on-a-chip) 시스템의 기반을 이루며, 생명과학, 생명공학, 의료 진단, 신약 개발, 화학 분석, 환경 모니터링 및 첨단 소재 연구 분야에서 널리 활용되고 있습니다.
미세유체 장치는 혼합, 분리, 입자 선별, 세포 분석, 화학 반응 등의 기능을 소형 플랫폼에 통합합니다. 시약 소비량과 시료량을 줄이는 동시에 처리량과 감도를 높임으로써, 미세유체 기술은 더 빠르고 비용 효율적인 분석 워크플로우를 가능하게 합니다. 일반적인 미세유체 장치에는 미세채널, 저장소, 혼합기, 필터, 반응실 등으로 구성된 네트워크가 포함되어 있으며, 이를 구현하기 위해서는 매우 정밀한 패터닝과 신뢰할 수 있는 치수 제어가 필요합니다.
하이델베르크 인스트루먼트(Heidelberg Instruments)의 리소그래피 시스템은 미세유체 장치 개발 및 생산을 위한 유연한 제조 솔루션을 제공합니다. 다이렉트 라이팅(Direct-write) 리소그래피 기술을 통해 포토마스크 없이도 신속한 시제품 제작이 가능해져, 개발 주기를 대폭 단축하고 설계 반복 과정을 간소화할 수 있습니다. SU-8, mr-DWL 포토레지스트 및 마이크로유체 마스터, 금형, 장치 제조에 일반적으로 사용되는 기타 폴리머를 포함한 다양한 소재에 구조물을 패터닝할 수 있습니다. 적용 분야로는 마이크로유체 칩, 바이오센서, 장기-온-칩(organ-on-chip) 플랫폼, 마이크로리액터 및 현장 진단(point-of-care) 장치가 있습니다.
소자의 크기가 나노 규모에 가까워짐에 따라, 나노유체학은 나노미터 크기의 채널과 기공 내에서 개별 분자, 나노입자, 단백질, 바이러스 및 DNA를 조작할 수 있게 해줍니다. 나노유체학 시스템은 차세대 생체 센싱, 분자 분석, DNA 염기서열 분석, 단일 분자 연구 및 첨단 생명공학 응용 분야에서 그 중요성이 점점 더 커지고 있습니다. 이러한 구조물을 제작하려면 탁월한 해상도, 치수 정밀도 및 표면 품질이 요구됩니다.
NanoFrazor는 초고해상도와 정밀한 3차원 지형 제어 기능을 통해 직접적인 나노 가공을 가능하게 함으로써 기존의 리소그래피 방식을 보완합니다. 이 장비의 그레이스케일 리소그래피 기능은 복잡한 나노유체 구조의 제작을 지원하며, 통합된 지형 감지 기능을 갖춘 폐쇄 루프 작동 방식은 정확한 패턴 배치와 재현성 높은 결과를 보장합니다. 이러한 결합 덕분에 이 장비는 첨단 나노유체 연구 및 차세대 유체 장치 개발에 특히 적합합니다.
마이크로유체 칩의 신속한 시제품 제작부터 정교한 나노유체 시스템의 제작에 이르기까지, 하이델베르크 인스트루먼트(Heidelberg Instruments)의 리소그래피 솔루션은 연구자와 엔지니어들이 진단, 생명공학, 광학, 재료과학 및 기초 연구 분야를 위한 혁신적인 장치를 개발할 수 있도록 지원합니다.
대표적인 적용 분야
- 칩형 실험실 장치
- 칩 상의 장기 시스템
- 현장 진단
- 생체센서
- DNA 염기서열 분석 및 해석
- 단일 세포 분석
- 나노입자 조작
- 초소형 반응기
- 환경 모니터링
