마이크로 광학 및 포토닉스

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우수한 품질의 리플렉터, 디퓨저 및 마이크로렌즈 제작

  • Description

  • 마이크로 렌즈 어레이와 복잡한 프레넬 렌즈는 스마트폰과 태블릿에서 첨단 소형 광학에 대한 수요가 증가함에 따라 컴팩트 카메라 광학에서 중요한 구성 요소입니다. 이러한 마이크로 렌즈는 파면 센서, 광섬유 커플링 또는 광원 균질화와 같은 다양한 애플리케이션에 사용됩니다. 이러한 마이크로 렌즈의 생산은 그레이스케일 리소그래피로 시작하여 금형을 생성한 다음 LIGA를 통해 복제하여 몰딩, 임프린팅 또는 핫 엠보싱을 위한 마스터 도구로 사용되는 금속 심을 만들 수 있습니다. 그레이스케일 리소그래피는 마이크로 프리즘, 도파관, 블레이즈 그레이팅, CGH(컴퓨터 생성 홀로그램) 및 특수 보안 라벨 등을 제작하는 데도 사용됩니다. 직접 쓰기 리소그래피를 사용하면 VLS(가변 라인 간격) 및 표준 격자를 정밀하게 제조할 수 있습니다. DWL 시리즈에는 R&D용 DWL 66+와 하이엔드 요구 사항을 위한 DWL 2000 GS/DWL 4000 GS 등 다양한 고성능 그레이스케일 리소그래피 시스템이 포함되어 있습니다.

    나노프레이저는 다양한 마이크로 및 나노 광학 애플리케이션에 사용할 수 있는 강력한 도구입니다. 그레이스케일 리소그래피 기능과 관련된 높은 해상도로 회절 격자, 광학 푸리에 표면, 위상판 및 보다 복잡한 미세 조정 광학 부품과 같은 나노 광학 구조물을 제작하는 데 이상적입니다.

  • Requirements

  • Solutions

마이크로 렌즈 어레이와 복잡한 프레넬 렌즈는 스마트폰과 태블릿에서 첨단 소형 광학에 대한 수요가 증가함에 따라 컴팩트 카메라 광학에서 중요한 구성 요소입니다. 이러한 마이크로 렌즈는 파면 센서, 광섬유 커플링 또는 광원 균질화와 같은 다양한 애플리케이션에 사용됩니다. 이러한 마이크로 렌즈의 생산은 그레이스케일 리소그래피로 시작하여 금형을 생성한 다음 LIGA를 통해 복제하여 몰딩, 임프린팅 또는 핫 엠보싱을 위한 마스터 도구로 사용되는 금속 심을 만들 수 있습니다. 그레이스케일 리소그래피는 마이크로 프리즘, 도파관, 블레이즈 그레이팅, CGH(컴퓨터 생성 홀로그램) 및 특수 보안 라벨 등을 제작하는 데도 사용됩니다. 직접 쓰기 리소그래피를 사용하면 VLS(가변 라인 간격) 및 표준 격자를 정밀하게 제조할 수 있습니다. DWL 시리즈에는 R&D용 DWL 66+와 하이엔드 요구 사항을 위한 DWL 2000 GS/DWL 4000 GS 등 다양한 고성능 그레이스케일 리소그래피 시스템이 포함되어 있습니다.

나노프레이저는 다양한 마이크로 및 나노 광학 애플리케이션에 사용할 수 있는 강력한 도구입니다. 그레이스케일 리소그래피 기능과 관련된 높은 해상도로 회절 격자, 광학 푸리에 표면, 위상판 및 보다 복잡한 미세 조정 광학 부품과 같은 나노 광학 구조물을 제작하는 데 이상적입니다.

Application images

Irregular Microlens Array - Concave - Pseudo-square arrangement of lenslet. ~18µm (Average side) and ~6µm depth in AZ4562.
Irregular Microlens Array - Concave - Pseudo-square arrangement of lenslet. ~18µm (Average side) and ~6µm depth in AZ4562.
DWL 66+: Confocal microscope image of a convex fresnel lens (diameter 506 µm, height 10 µm).
DWL 66+: Confocal microscope image of a convex fresnel lens (diameter 506 µm, height 10 µm).
Nano structured phase masks made of Silicon-nitride using thermal scanning probe lithography combined with etching. This phase mask offers the intriguiging possibilities in electron-beam shaping. (NanoFrazor)
Nano structured phase masks made of Silicon-nitride using thermal scanning probe lithography combined with etching. This phase mask offers the intriguiging possibilities in electron-beam shaping. (NanoFrazor)
DWL 66+: Micrograph showing the image of a Fresnel lens (diameter 506 µm, height 10 µm).
DWL 66+: Micrograph showing the image of a Fresnel lens (diameter 506 µm, height 10 µm).
DWL 66+: Confocal microscope image of a micro lens array in a honeycomb arrangement (hexagon radius 10 µm, height 2.7 µm).
DWL 66+: Confocal microscope image of a micro lens array in a honeycomb arrangement (hexagon radius 10 µm, height 2.7 µm).
Half of a Concave Fresnel Lens,also showing its profile, Radius of curvature 840 µm, Height 10 µm, effective diameter 1mm. (DWL66+ WM III)
Half of a Concave Fresnel Lens,also showing its profile, Radius of curvature 840 µm, Height 10 µm, effective diameter 1mm. (DWL66+ WM III)
DWL 66+: Confocal microscope image of a pyramid (pitch 47 µm, height 5.8 µm).
DWL 66+: Confocal microscope image of a pyramid (pitch 47 µm, height 5.8 µm).
DOE square size 1µm 4steps 800nm total height View 70° x5000 (DWL66+ HiRes) Multi-level Diffractive Optical Elements (DOEs) are valuable devices commonly used for light modulation. By changing the phase profile of a laser beam, DOEs can split and shape the beam in well-defined ways, enabling the efficient generation of beam arrays or complex light patterns.
DOE square size 1µm 4steps 800nm total height View 70° x5000 (DWL66+ HiRes) Multi-level Diffractive Optical Elements (DOEs) are valuable devices commonly used for light modulation. By changing the phase profile of a laser beam, DOEs can split and shape the beam in well-defined ways, enabling the efficient generation of beam arrays or complex light patterns.
Photonic sieve made with a NanoFrazor. A Photonic Sieve focuses light through diffraction and interference using a flat material filled with pinholes, achieving sharper focus than a Fresnel Zone plate.
Photonic sieve made with a NanoFrazor. A Photonic Sieve focuses light through diffraction and interference using a flat material filled with pinholes, achieving sharper focus than a Fresnel Zone plate.
DWL 66+: Confocal microscope image of the central part of a concave fresnel lens (diameter of the central part: 120 µm, height 11 µm).
DWL 66+: Confocal microscope image of the central part of a concave fresnel lens (diameter of the central part: 120 µm, height 11 µm).
Tailored diffusers and reflectors have applications for example in light sources and illumination, for example backlight units in LCD displays. This example shows a retro-reflector structure. (Courtesy of karmic.ch)
Tailored diffusers and reflectors have applications for example in light sources and illumination, for example backlight units in LCD displays. This example shows a retro-reflector structure. (Courtesy of karmic.ch)
1100nm pitch grating etched in Si and coated with Al - integrated nanostructured optical reflection gratings on atom chips for quantum applications like gravimeters. (Courtesy of Sascha de Wall, IMPT)
1100nm pitch grating etched in Si and coated with Al - integrated nanostructured optical reflection gratings on atom chips for quantum applications like gravimeters. (Courtesy of Sascha de Wall, IMPT)
Concave Micro lenses made in ma-P1275G. Microlenses and microlens arrays are key components in modern-day micro-optics. They are used in wavefront sensors, for fiber coupling, or for homogenizing light sources.
Concave Micro lenses made in ma-P1275G. Microlenses and microlens arrays are key components in modern-day micro-optics. They are used in wavefront sensors, for fiber coupling, or for homogenizing light sources.
Microlenses written in 15 μm thick AZ4562, with a pitch of 30 μm and a radius of curvature of 16 μm.
Microlenses written in 15 μm thick AZ4562, with a pitch of 30 μm and a radius of curvature of 16 μm.
This example shows a compound structure – a complex structure made of micro- and nanostructures. The insect eye, for instance (in particular the moth- or fly-eye), consists of a series of compound structures. (Courtesy of ShenZhen Nahum-Eli Optical Technology Inc.)
This example shows a compound structure – a complex structure made of micro- and nanostructures. The insect eye, for instance (in particular the moth- or fly-eye), consists of a series of compound structures. (Courtesy of ShenZhen Nahum-Eli Optical Technology Inc.)
Parts of a waveguide (1 µm wide) made with a VPG 300 DI. Waveguides can guide electromagnetic waves, essential in applications like optical communication and sensors. (Courtesy of IMS Chips)
Parts of a waveguide (1 µm wide) made with a VPG 300 DI. Waveguides can guide electromagnetic waves, essential in applications like optical communication and sensors. (Courtesy of IMS Chips)
A ring resonator consists of a closed loop or ring made from a waveguide. Light is coupled into and out of the ring through waveguide arms. The geometry of the ring allows it to support resonant modes. Here the lines are 2µm wide, the distance between the line and the ring is 500 nm.
A ring resonator consists of a closed loop or ring made from a waveguide. Light is coupled into and out of the ring through waveguide arms. The geometry of the ring allows it to support resonant modes. Here the lines are 2µm wide, the distance between the line and the ring is 500 nm.

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