독일 하이델베르크 — Heidelberg Instruments는 전 세계 클린룸에서 고해상도 리소그래피를 재정의한 혁신, MLA 150 Maskless Aligner의 10주년을 자랑스럽게 기념합니다. 2015년 출시 이후 MLA 150은 연구자와 엔지니어들에게 전통적인 포토리소그래피의 대안으로서 마스크 없는 유연한 방식을 제공하며, 학계와 산업 전반의 마이크로패브리케이션을 변화시켰습니다.

“MLA 150 Maskless Aligner는 노후된 마스크 얼라이너와 시간이 많이 소요되는 포토마스크 제작으로 인해 다중 사용자 클린룸에서 발생하는 병목 현상을 해결하기 위해 만들어졌습니다. Heidelberg Instruments는 마스크 얼라이너보다 성능이 뛰어나면서 지연이 없는 직접 노광 솔루션을 구상했습니다. 그 결과는 빠른 처리 속도, 높은 정밀도, 탁월한 사용 편의성이었습니다.” — Steffen Diez, Heidelberg Instruments COO

MLA 150의 핵심에는 디지털 마이크로미러 장치(DMD)가 있으며, 이는 동적 마스크 역할을 하며 고체 광원과 첨단 정렬 기능과 결합되어 있습니다. 이 조합은 출시 첫날부터 시스템을 혁신적으로 만들었습니다. 10분 미만의 노광 시간, 30분 미만의 전체 공정 주기, 1시간 이내의 사용자 교육으로 MLA 150은 곧바로 R&D 리소그래피의 새로운 기준을 세웠습니다. “MLA 150은 우리 클린룸에서 가장 지속적으로 사용되는 장비 중 하나입니다. 그 유연성과 사용 용이성 덕분에 우리의 리소그래피 워크플로에서 핵심이 되었습니다.” — Dr. Tom Peach, 카디프 대학교 수석 공정 엔지니어. MLA 150은 디지털 설계에서 완벽하게 패턴화된 기판까지 몇 분 만에 가능하게 하여, 양자 소자, MEMS, 마이크로광학, 생명과학 등 분야에서 빠른 혁신을 가능하게 합니다.

EPFL, 하이델베르크 대학교 Kirchhoff 물리학 연구소(KIP), 하버드 대학교 나노스케일 시스템 센터(CNS) 등 선도적 기관들과의 긴밀한 협력을 통해 정교하게 다듬어진 MLA 150은 빠르게 그 가치를 입증했습니다. 예를 들어 KIP에서는 복잡한 SQUID(초전도 양자 간섭 장치) 센서 제작의 수율을 3배 향상시켜 그 혁신적 영향을 보여주었습니다. 처음에는 연구실에서 채택되었지만, 그 다재다능함과 비용 효율성 덕분에 빠른 프로토타이핑과 소규모 생산을 원하는 산업 사용자들 또한 곧 매료되었습니다. 양자 소재의 기초 연구에서 생명을 구하는 바이오센서 개발에 이르기까지 MLA 150은 수많은 발견의 조용한 파트너가 되어왔습니다.

2025년, Heidelberg Instruments는 MLA 150의 주요 업그레이드를 발표하며 최소 피처 크기를 450nm로 낮추고 고정밀 응용을 위한 기능을 확장했습니다.

오늘날 MLA 150은 전 세계 250개 이상의 클린룸에서 신뢰받는 핵심 장비로 자리매김하고 있습니다. Heidelberg Instruments는 이 중요한 이정표를 기념하는 동시에, MLA 150을 혁신적 플랫폼으로 발전시켜온 전 세계 사용자, 엔지니어, 파트너 커뮤니티에 경의를 표합니다. 이 플랫폼은 미세가공에서 가능한 것의 한계를 계속 넓혀가고 있습니다.

MLA 150의 10년 역사를 탐구하고, 10주년 기념 특별 콘테스트에 참여하세요.

자세한 정보: https://heidelberg-instruments.com/mla-150-anniversary/