하이델베르크 인스트루먼트 - 직접 글쓰기의 힘
하이델베르그 인스트루먼트는 고정밀 레이저 리소그래피 시스템, 마스크리스 얼라이너, 나노 제조 도구 분야의 글로벌 리더입니다.
40년 동안 전 세계에 1,500개 이상의 시스템을 설치하며 마이크로 및 나노 제조 분야의 혁신을 지원해 왔습니다. 모든 고객의 요구 사항이 고유하다는 것을 잘 알고 있으므로 가장 까다로운 응용 분야에도 적합한 맞춤형 리소그래피 솔루션을 제공합니다.
당사의 포트폴리오는 시제품 제작 및 R&D에 이상적인 소형 테이블탑 시스템부터 대량 산업 생산을 위해 설계된 하이엔드 포토마스크 제조 장비에 이르기까지 다양합니다. 이러한 폭넓은 포트폴리오 덕분에 정밀한 2D 패터닝과 그레이스케일 리소그래피를 사용한 복잡한 2.5D 피처를 포함한 광범위한 표면 구조화 기술을 지원할 수 있습니다.
고객의 성공을 위한 엔드레스하우저의 노력은 제품 그 이상으로 확장됩니다. 독일, 스위스, 중국에 위치한 프로세스 및 애플리케이션 연구소(PAL)에서는 전문 엔지니어가 고객과 긴밀히 협력하여 고객이 하이델베르그 인스트루먼트 장비의 잠재력을 극대화할 수 있도록 종합적인 교육과 지원을 제공합니다.
전 세계 선도적인 기업, 최고의 대학 및 저명한 연구 기관이 마이크로 및 나노 패터닝을 위한 당사 시스템의 유연성과 고급 기능에 의존하고 있습니다. 당사의 기술은 마이크로 광학 및 마이크로 시스템 기술, 포토닉스, 전자, 반도체 및 첨단 패키징, 양자 장치, MEMS, 나노 유체, 생체 공학, 2D 재료 등 다양한 분야에서 획기적인 발전을 이룰 수 있도록 지원합니다.
애플리케이션 > 기술 > 주요 기능
µMLA
- 마스크 없는 얼라이너
래스터 스캔 및 벡터 노출 모듈을 갖춘 구성 가능한 소형 탁상형 마스크리스 얼라이너입니다.
MLA 150
- 마스크 없는 얼라이너
신속한 프로토타입 제작을 위한 가장 빠른 마스크리스 툴로, 마스크 얼라이너를 대체할 수 있습니다. 표준 바이너리 리소그래피에 적합합니다.
DWL 66+
- 직접 쓰기 레이저 리소그래피 시스템
다양한 해상도와 다양한 옵션을 갖춘 연구 및 프로토타입 제작을 위한 가장 다재다능한 시스템입니다.
MLA 300
- 마스크 없는 얼라이너
최고의 정밀도와 산업 생산 라인과의 원활한 통합으로 유연한 산업 생산에 최적화되어 있습니다.
DWL 2000 GS / DWL 4000 GS
- 직접 쓰기 레이저 리소그래피 시스템
시중에서 가장 진보된 산업용 그레이스케일 리소그래피 툴입니다.
VPG+ 200, VPG+ 400 및 VPG+ 800
- 볼륨 패턴 생성기
i-line 레스트의 표준 포토마스크와 마이크로 구조물을 위한 강력한 제작 툴입니다.
VPG+ 1400 FPD
- 볼륨 패턴 생성기
디스플레이 애플리케이션에 적합한 대형 기판에서 포토마스크를 제작할 수 있습니다.
VPG 300 DI
- 마스크 없는 스텝퍼
고정밀, 고해상도 미세 구조를 위한 마스크 없는 다이렉트 이미저.
ULTRA
- 레이저 마스크 라이터
성숙한 반도체 포토마스크를 제작하기 위해 특별히 설계된 툴입니다.
나노프레이저
- 열 스캐닝 프로브 리소그래피 시스템
다용도 및 모듈식 도구 결합 열 스캐닝 프로브 리소그래피, Direct 레이저 승화 및 고급 자동화 를 위한 절단최첨단 R&D.
뉴스 블로그
VPG+ 1400 FPD가 고속, 서브미크론 해상도 포토마스크 라이팅으로 평면 패널 디스플레이 제조에 어떤 혁신을 가져왔는지 알아보세요. OLED, 마이크로 LED 및 퀀텀닷 디스플레이용으로 설계된 이 제품은 차세대 FPD 제조를 위한 탁월한 정밀도, 확장성 및 처리량을 제공합니다.
지속 가능한 미세 제조는 미래입니다. 하이델베르그 인스트루먼트의 첨단 리소그래피 솔루션이 어떻게 폐기물, 에너지 사용 및 화학 물질 소비를 줄이는지 알아보십시오.
2024년은 하이델베르그 인스트루먼트 역사에 특별한 한 장을 장식했습니다. 40년 만에 처음으로 네카 강에서 배를 타고 크리스마스를 축하했습니다! 이 축제 모임은 동료애와 계절의 환호로 가득 찬 큰 성공을 거두었습니다. 하지만 올해는
시스템 포트폴리오, 주요 기능, 해당 핵심 기술 또는 가능한 애플리케이션에 대해 자세히 알고 싶으신가요?
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참고 자료
회사 소개
다양한 문화와 유구한 역사 미래 지향적인 최첨단 과학 연구 시설에 이르기까지 하이델베르크는 모든 것을 갖추고 있습니다. 800년이 넘는 역사와 전통을 자랑하는 이 도시는 수많은 선도적인 연구자와 노벨상 수상자를 배출한 곳이기도 합니다. 과학 연구의 중심지로서하이델베르크에는 명망 높은 대학 및 산업 연구 기관뿐만 아니라 하이델베르크 인스트루먼트의 본거지이기도 합니다. Mikrotechnik GmbH의 본거지이기도 합니다.
하이델베르크 인스트루먼트는 1984년 하이델베르크의 다양한 기관에서 온 5명의 과학자들에 의해 설립되었습니다. 하이델베르크의 여러 기관 학문과 연구 및 기술을 이전하는 첨단 기술 회사를 구축하는 것을 목표로 연구 및 산업 프로젝트에 적용하는 기술 회사를 구축하기 위해 설립되었습니다. 지난 35+ 년 동안 has 고해상도 마이크로리소그래피 패턴 생성기 개발의 혁신의 핵심이 되었습니다. 하이델베르그 인스트루먼트의.
