Heidelberg Instruments - 직접 노광의 힘
Heidelberg Instruments 는 고정밀 레이저 리소그래피 시스템, 마스크리스 얼라이너들, 나노패브리케이션 도구 분야의 글로벌 리더입니다.
지난 40년간, 우리는 전 세계에 1,500대 이상의 시스템을 설치하며 마이크로 및 나노 제조 분야의 혁신을 지원해 왔습니다. 고객마다 요구가 다르다는 것을 이해하고 있기에, 가장 까다로운 응용 분야에도 맞춤화된 리소그래피 솔루션을 제공합니다.
우리의 포트폴리오는 프로토타이핑 및 연구개발(R&D)에 적합한 소형 테이블탑 시스템부터 대량 산업 생산용으로 설계된 고급 포토마스크 제조 장비까지 다양합니다. 이러한 폭넓은 제품군을 통해 정밀한 2D 패터닝과 그레이스케일 리소그래피를 활용한 복잡한 2.5D 구조를 포함한 다양한 표면 구조화 기술을 지원할 수 있습니다.
고객 성공을 위한 소니의 노력은 제품 그 이상으로 확장됩니다. 독일, 스위스, 중국의 프로세스 및 애플리케이션 연구소(PAL)에서는 전문 엔지니어가 고객과 긴밀히 협력하여 고객이 Heidelberg Instruments 장비의 잠재력을 극대화할 수 있도록 종합적인 교육과 지원을 제공합니다.
전 세계 선도적인 기업, 최고의 대학 및 저명한 연구 기관이 마이크로 및 나노 패터닝을 위한 당사 시스템의 유연성과 고급 기능에 의존하고 있습니다. 당사의 기술은 마이크로광학 및 마이크로 시스템 기술, 포토닉스, 전자, 반도체 및 어드밴스드 팩키징, 양자 디바이스, MEMS, 나노 유체, 생체 공학, 2D 재료 등 다양한 분야에서 혁신을 가능하게 합니다.
어플리케이션 | 기술 | 핵심 사항
1D & 2D 재료 | 나노임프린트 템플릿 | 높은 보안 인쇄 | 디스플레이 | 마이크로 일렉트로닉스 및 나노 일렉트로닉스 | 마이크로광학 및 포토닉스 | 마이크로유체학 및 나노유체학 | 멤스 | 반도체 | 생명공학 및 의공학 | 센서 | 양자 디바이스 | 어드밴스드 팩키징 | 재료과학 | 포토마스크
µMLA 마스크리스 얼라이너
- 마스크 없는 얼라이너
래스터 스캔 및 벡터 노출 모듈을 갖춘 구성 가능한 소형 탁상형 마스크리스 얼라이너입니다.
MLA 150 마스크리스 얼라이너
- 마스크 없는 얼라이너
신속한 프로토타입 제작을 위한 가장 빠른 마스크리스 도구로, 마스크 정렬기를 대체합니다. 표준 바이너리 리소그래피에 적합합니다.
DWL 66+ 레이저 리소그래피 시스템
- 직접 쓰기 레이저 리소그래피 시스템
다양한 해상도와 다양한 옵션을 갖춘 연구 및 시제품제작을 위한 가장 다재다능한 시스템입니다.
MLA 300 마스크 없는 얼라이너
- 마스크 없는 얼라이너
최고의 정밀도와 산업 생산 라인과의 원활한 통합으로 유연한 산업 생산에 최적화되어 있습니다.
DWL 2000 GS / DWL 4000 GS 레이저 리소그래피 시스템
- 직접 쓰기 레이저 리소그래피 시스템
시중에서 가장 진보된 산업용 그레이스케일 리소그래피 툴입니다.
VPG+ 200, VPG+ 400 및 VPG+ 800 볼륨 패턴 발생기
- 볼륨 패턴 생성기
i-line 레지스트에서 표준 포토마스크 및 미세구조를 위한 강력한 생산 도구.
VPG+ 1400 FPD / VPG+ 1850 FPD 볼륨 패턴 발생기
- 볼륨 패턴 생성기
디스플레이 애플리케이션에 적합한 대형 기판에서 포토마스크를 제작할 수 있습니다.
VPG 300 DI 마스크리스 얼라이너
- 마스크 없는 스텝퍼
고정밀, 고해상도 미세 구조를 위한 마스크 없는 다이렉트 이미저.
ULTRA 반도체 마스크 라이터
- 레이저 마스크 라이터
성숙한 반도체 포토마스크를 제작하기 위해 특별히 설계된 툴입니다.
NanoFrazor 나노리소그래피 도구
- 열 스캐닝 프로브 리소그래피 시스템
열 스캐닝 프로브 리소그래피, 직접 레이저 승화, 첨단 자동화를 결합한 다재다능하고 모듈식인 최첨단 연구개발(R&D) 도구.
뉴스 블로그
2024년 모듈형 NanoFrazor 나노리소그래피 시스템의 성공적인 출시 이후, Heidelberg Instruments는 EPFL에 최신 NanoFrazor가 설치되었음을 자랑스럽게 발표합니다.
Heidelberg Instruments는 아시아 최고 수준의 포토마스크 제조업체로부터 주력 제품인 VPG+ 1400 FPD 볼륨 패턴 제너레이터의 기존 플랫폼을 기반으로 개발된 VPG+ 1850 FPD 시스템을 대량 주문받았습니다.
인공지능과 고성능 컴퓨팅이 단일 집적 회로를 구식으로 몰아내면서 업계는 첨단 패키징 기술로 눈을 돌리고 있습니다. 그러나 다이 변위와 기판 뒤틀림 같은 문제들은 패키지가 생산 라인을 떠나기도 전에 수율을 위협합니다. 마이크로전자공학의 새로운 영웅, 마스크리스 리소그래피가 등장합니다. 적응형 정렬 기술이 어떻게 칩릿의 수명을 보장하여 컴퓨팅 성능을 지속시키는지를 알아보세요.
