The Lithographerは、マイクロ・ナノファブリケーションの世界に関するエキサイティングな洞察を提供する雑誌です。この雑誌は、私たちのグローバルコミュニティがつながり、専門家が多様なリソグラフィ分野の進歩を紹介するためのプラットフォームです。
Heidelberg Instrumentsは2020年にこのプロジェクトを立ち上げました。私たちが大切にしていること、そして最も得意とすること、すなわちクリーンルームや産業生産ラインにおけるマイクロ・ナノファブリケーションのダイレクトライト技術の新たな可能性を皆さまに共有するためです。
『The Lithographer』では、レーザー、電子線、熱走査プローブリソグラフィーなどの最先端ダイレクトライト技術や、ソフトウェア、レジスト化学、パターン転写プロセスなどの関連技術を取り上げています。
私たちは、第3号『The Lithographer Surface Issue』の発行を心から嬉しく思います。
本号では表面構造に焦点を当て、マイクロ・ナノスケールの特徴がどのように設計され、研究や産業のイノベーションを促進しているかを紹介します。
『Surface Issue』でご覧いただける内容：
- ダイレクトライト技術40周年：Heidelberg Instrumentsが節目の記念日を迎えました
- 先進製造の未来を切り拓く：Lab14のCEO、Martin Wynaendts van Resandt氏への独占インタビュー
- グレースケール露光の課題：極厚ポジ型フォトレジストへの直接描画レーザー露光の利用
- Jan Erjawetz氏インタビュー：X線光学製造の専門家、XRnanotechの光学リソグラフィー責任者
- 古典光学から量子エレクトロニクスへ：熱走査プローブリソグラフィーに触発された研究者の旅
- BEAMER：フォトニクスを可能にするリソグラフィ・ソフトウェア
バックナンバーをご覧ください！
『Quantum Issue』でご覧いただける内容：
- New Ideas for Patterning of 2D Materials
- クラレンス・チャン インタビュー宇宙を越えて。最初の光を見るために検出器を作る
- ケン・バーチへのインタビューグローブボックスから量子コンピューター
- ミシェル・シモンズ インタビューすべてはコントロール下にある
- ボブ・ウォルコフ インタビュー原子的完璧主義
- エドアルド・アルビセッティに聞く：型にはまらないコンピューティング、スピン（波動）と共に
- 専門家のノウハウ：NanoFrazor ナノスケールのスピンテクスチャのパターニングのために
- 専門家のノウハウ非侵襲リソグラフィ優れたデバイス性能を実現
- 専門家のノウハウ：BEAMER – 電子ビーム露光ソフトウェア。量子デバイスの実現
『Grayscale Issue』でご覧いただける内容：
- リサーチ・ハイライト
- グレースケール・リソグラフィーの台頭
- Steffen Diezのインタビュー：産業用マスクレスアライナー
- アーミン・クノル インタビュー揺れ動くブラウンモーターがバイラルに
- ラジェッシュ・メノン インタビュー：限界を超えたイメージング
- 専門家のノウハウ複雑な微細構造のグレースケール・リソグラフィ
- 専門家のノウハウグレースケール ポジ型フォトレジスト ma-P 1200G シリーズ
- 専門家のノウハウクローズドループ3Dナノリソグラフィ
