The Lithographer
The Lithographerは、マイクロ・ナノファブリケーションの世界に関するエキサイティングな洞察を提供する雑誌です。この雑誌は、私たちのグローバルコミュニティがつながり、専門家が多様なリソグラフィ分野の進歩を紹介するためのプラットフォームです。
Heidelberg Instruments は、私たちが大切にしていること、そして最もよく知っていることを皆さまと共有するために、2020年に本プロジェクトを立ち上げました。それは、クリーンルームや産業生産ラインにおけるマイクロ・ナノ製造のダイレクトライティング手法の新しい可能性に関するものです。『The Lithographer』では、最先端のダイレクトライティング技術(例:レーザー、電子線、熱走査プローブリソグラフィ)や、ソフトウェア、レジスト化学、パターン転写プロセスなどの関連技術について紹介しています。
私たちは、第3号『The Lithographer Surface Issue』の発行を心から嬉しく思います。
本号では表面構造に焦点を当て、マイクロ・ナノスケールの特徴がどのように設計され、研究や産業のイノベーションを促進しているかを紹介します。
『Surface Issue』でご覧いただける内容:
- ダイレクトライト技術40周年:Heidelberg Instrumentsが節目の記念日を迎えました
- 先端製造の未来を形作る:LAB14 CEO Martin Wynaendts van Resandt 独占インタビュー
- グレースケール露光の課題:極厚ポジ型フォトレジストへの直接描画レーザー露光の利用
- Jan Erjawetz インタビュー:XRnanotech 光学リソグラフィ部門責任者、X線光学製造の専門家
- 古典光学から量子電子工学へ:熱走査プローブリソグラフィに触発された研究者の軌跡
- BEAMER:フォトニクスを可能にするリソグラフィ・ソフトウェア
バックナンバーをご覧ください!
『Quantum Issue』でご覧いただける内容:
- New Ideas for Patterning of 2D Materials
- クラレンス・チャン インタビュー宇宙を越えて。最初の光を見るために検出器を作る
- ケン・バーチへのインタビューグローブボックスから量子コンピューター
- ミシェル・シモンズ インタビューすべてはコントロール下にある
- ボブ・ウォルコフ インタビュー原子的完璧主義
- エドアルド・アルビセッティに聞く:型にはまらないコンピューティング、スピン(波動)と共に
- 専門家のノウハウ:NanoFrazor ナノスケールのスピンテクスチャのパターニングのために
- 専門家のノウハウ非侵襲リソグラフィ優れたデバイス性能を実現
- 専門家のノウハウ:BEAMER – 電子ビーム露光ソフトウェア。量子デバイスの実現
『Grayscale Issue』でご覧いただける内容:
- リサーチ・ハイライト
- グレースケールリソグラフィの台頭
- Steffen Diezのインタビュー:産業用マスクレスアライナー
- アーミン・クノル インタビュー揺れ動くブラウンモーターがバイラルに
- ラジェッシュ・メノン インタビュー:限界を超えたイメージング
- 専門家のノウハウ複雑な微細構造のグレースケール・リソグラフィ
- 専門家のノウハウグレースケール ポジ型フォトレジスト ma-P 1200G シリーズ
- 専門家のノウハウクローズドループ3Dナノリソグラフィ
