VPG⁺ 1400 FPD / VPG⁺ 1850 FPD 大型フォトマスクパターンジェネレーター

VPG⁺ 1400 FPD および VPG⁺ 1850 FPD は、卓越した品質と最高レベルの生産効率を兼ね備えた、大量生産向け大型フォトマスクパターンジェネレーターです。世界中のフォトマスクメーカーで採用されており、ディスプレイ業界向けに特別に設計された当社最大のシステムとして、最大 G8.6 サイズ、露光エリア最大 1400 × 1800 mm² の大型フォトマスクを高スループットで描画できます。フラットパネルディスプレイ製造において競争力の向上を目指すメーカーに最適なソリューションです。

VPG⁺ 1400 FPD および VPG⁺ 1850 FPD は、高品質かつ高速な露光と極めて高精度なアライメントを実現するよう設計されています。分解能 1.2 nm の差動干渉計を搭載し、高精度な位置決めを実現します。Mura 最適化により、優れた CD 均一性と解像性能を確保するとともに、クローズドループ環境チャンバーが最先端フォトマスク製造に求められる厳格な環境要件に対応します。

FPD 製造をさらに進化

• 高品質なディスプレイを実現：VPG⁺ 1400 FPD および VPG⁺ 1850 FPD は、カラーフィルター（CF）、薄膜トランジスタ（TFT）アレイ、酸化インジウムスズ（ITO）電極、タッチパネル（TP）、ファインメタルマスク（FMM）、アクティブマトリクス有機 EL（AMOLED）、および液晶ディスプレイ（LCD）や有機 EL ディスプレイ（OLED）の各種機能層の製造に使用される高解像度フォトマスク（ハーフトーンマスクを含む）の描画に最適化されています。
• 優れたスループット：VPG⁺ システムは優れたスループット性能により、フォトマスクを迅速に製造できます。これにより、大量生産のディスプレイ製造に求められる生産能力に対応するとともに、生産ライン全体の効率を最適化できます。
• 高精度・高信頼性：VPG⁺ 1400 FPD および VPG⁺ 1850 FPD は、大型フォトマスク上に複雑なパターンを高精度・高解像度で描画し、設計データを忠実に転写します。24 時間 365 日の連続稼働に対応し、安定した運用と予測可能な納期の実現に貢献します。
• 高度な計測機能：大型グレートーンマスク製造における高精度な第 2 層アライメントを実現するため、計測パッケージとツールマッチング機能を標準搭載しています。

性能を最大限に引き出す

• 超高速露光エンジンと高出力 DPSS レーザーにより描画時間を大幅に短縮し、フォトマスクをより短時間で製造できるため、生産能力を最大限に引き出します。
• VPG⁺ システムは、サブミクロンの優れた解像性能と高い描画品質により、設計パターンをフォトマスクへ忠実に転写し、高品質なディスプレイの実現に貢献します。
• 自動キャリブレーション機能により、描画パターンの優れた位置合わせ精度と位置決め精度を実現し、作業効率を向上させるとともに、作業時間の短縮とエラーの低減に貢献します。
• 柔軟な真空チャックレイアウトを備えた大型高精度ステージは、最大 1850 mm の基板に対応し、中型から大型までのディスプレイ用フォトマスク製造に最適です。
• クローズドループ環境チャンバーがプロセス全体を通じて最適な環境を維持し、安定したフォトマスク品質を継続的に実現します。
• VPG⁺ 1400 FPD および VPG⁺ 1850 FPD は、あらゆる主要な産業用データフォーマットに対応しており、既存の設計・製造ワークフローへスムーズに統合できます。

ディスプレイ技術の未来へ投資

VPG⁺ 1400 FPD および VPG⁺ 1850 FPD は、将来のディスプレイ製造能力を支える長期的な投資です。製造ラインに導入することで、次のようなメリットを実現できます。

• 優れたフォトマスク品質により、高品質なディスプレイ性能を実現。
• 高スループットにより、大量生産のディスプレイ製造と収益性の向上を実現。
• 高いコストパフォーマンスにより、製造コストを削減。
• 効率的な装置運用と高い信頼性。
• 次世代ディスプレイの要求に対応する、将来性の高い技術。

高いコストパフォーマンスの装置で、ディスプレイ製造をさらに強化。VPG⁺ システムがフォトマスク製造の高速化にどのように貢献できるか、ぜひお問い合わせください。