VPG⁺ 1400 FPD / VPG⁺ 1850 FPD ボリュームパターン生成器

VPG⁺ 1400 FPDとVPG⁺ 1850 FPDは、世界中のフォトマスク・メーカーで使用されている大量生産用の究極のボリューム・パターン・ジェネレーターです。ディスプレイ業界向けに特別に設計された当社最大のシステムで、G8.6サイズ、最大露光領域1400 x 1800 mm²までの大面積フォトマスクの高スループットパターニングに対応します。フラットパネル・ディスプレイ産業での成功を目指すマニュファクチャリングに最適なソリューションです。

VPG⁺ 1400 FPDとVPG⁺ 1850 FPDは、極めて正確なアライメントで高品質かつ高速な露光を行うために設計されています。分解能1.2nmのディファレンシャル干渉計を搭載。ムラの最適化により、優れたCD均一性と解像度を実現し、クローズドループ環境チャンバーは高度なフォトマスク製造のための最も厳しい要件に準拠しています。

FPD製造の強化

• 完璧なディスプレイ：VPG⁺ 1400 FPDおよびVPG⁺  1850 FPDは、カラーフィルター（CF）、薄膜トランジスタ（TFT）アレイなど、フラットパネルディスプレイ（FPD）の主要コンポーネントの製造に使用される高解像度フォトマスク（ハーフトーン・マスクを含む）の作成に最適化されています、カラーフィルター（CF）、薄膜トランジスタ（TFT）アレイ、インジウム錫酸化物（ITO）電極、タッチパネル（TP）、ファインメタルマスク（FFM）、アクティブマトリクス有機発光ダイオード（AMOLED）、その他の液晶ディスプレイ（LCD）および有機発光ダイオード（OLED）関連層など、フラットパネルディスプレイ（FPD）の主要部品の製造に使用されるフォトマスク（ハーフトーンマスクを含む）。
• 卓越したスループット：VPG⁺ 1400 / 1850 FPDの卓越したスループット能力により、迅速なマスク生産が可能となり、大量生産が求められるディスプレイ製造の要求に応え、生産ラインを最適化することができます。
• 最高の精度と信頼性：VPG⁺ 1400 / 1850 FPDは、大判マスクの複雑なパターン作成に必要な精度と解像度を提供し、デザインの完璧な転写を保証します。24時間365日確実に稼働し、予測可能な納期を実現します。
• 高度な計測：大面積のグレートーンマスク製造に使用される精密な2層目のアライメント機能を実現する計測パッケージとツールマッチング機能を搭載。

パフォーマンスの最大化

• 超高速露光エンジンと高出力DPSSレーザーにより、描画時間を劇的に短縮し、マスクの高速生産と生産量の最大化を可能にします。
• VPG⁺システムは、優れたサブμmの解像度と画質を誇り、デザインパターンをフォトマスクに正確に転写し、完璧なディスプレイを実現します。
• 自動キャリブレーションツールは、書き込まれた構造物の優れた見当合わせと位置決めを確実にすることで、ワークフローを合理化し、時間を節約してエラーを最小限に抑えます。
• フレキシブルなバキュームレイアウトを備えた大判精密ステージは、最大1850mmまでの基板に対応し、中・大型ディスプレイ用フォトマスクの要求に応えるのに理想的です。
• クローズドループの環境チャンバーは、プロセス全体を通して最適な条件を維持し、次から次へと安定したマスク品質を保証する。
• VPG⁺ 1400 / 1850 FPDはすべての工業用データフォーマットをサポートしているため、既存の設計および製造ワークフローとのスムーズな統合が可能です。

ディスプレイ技術の未来に投資する

VPG⁺ 1400 FPDとVPG⁺ 1850 FPDは、将来のディスプレイ生産能力への投資です。生産に導入することで、以下のことが実現できます：

• 完璧なディスプレイ性能を実現する卓越したマスク品質。
• 高スループットによる大量ディスプレイ生産と収益性の向上。
• 非常に経済的なツール価格で生産コストを削減。
• 効率的なツール操作と信頼性の高いパフォーマンス。
• 次世代ディスプレイの需要に合わせて拡張できる、将来性のあるテクノロジー。

非常に経済的なツールでディスプレイのマニュファクチャリングを補完してください。VPG⁺システムによるフォトマスク製造の高速化については、弊社までお問い合わせください。