NanoFrazor ナノリソグラフィーツール

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汎用性の高いモジュール式ナノリソグラフィツール

  • 商品説明

  • NanoFrazor は、熱走査プローブリソグラフィー（t-SPL）の画期的な商用システムであり、さまざまな分野での高度な研究と革新を可能にするよう設計されています。 量子デバイス、1D/2D 材料、量子ドット、ジョセフソン接合、またはナノスケールデバイスアレイを研究する場合でも、NanoFrazor は比類のない精度と多用途性を提供します。 その機能は、グレースケールフォトニクス、ナノ流体構造、細胞成長のための生体模倣基板、熱による化学反応や物理的相変化による局所的な材料改質など、複雑な課題にも対応します。

    主な特徴

    • 高解像度ナノパターニング：NanoFrazor の心臓部には、複雑なナノ構造の書き込みと検査を同時に可能にする、超鋭利で加熱可能なプローブ・チップがある。自己補正パターニングは、クローズドループ・リソグラフィー（CLL）機能によって実現されます。この革新的な設計は、複雑なパターンや構造を作成するための比類のない精度を提供します。
    • ダイレクトレーザー昇華（DLS）モジュール：DLSモジュールは、ナノおよびマイクロ構造を1つのステップで同じレジスト層に効率的に書き込むことを可能にすることにより、ファブリケーションを合理化します。この統合により、ワークフローが簡素化され、生産性が向上します。
    • マーカーレスオーバーレイによるその場イメージング：NanoFrazor のインサイチュ・イメージング技術は、マーカーレス・オーバーレイを導入し、書き込まれたパターンとターゲット・パターンをリアルタイムで比較します。このユニークなCLL（Closed-Loop Lithography）機能は、複雑な2.5D（グレースケール）形状を作成するための2nm以下の垂直精度を保証し、描画プロセス中に即座にパラメータを調整することができます。
    • 10チップによる並列書き込み：Decapede機能は、NanoFrazor の定評ある精度を維持しながら、10本のヒータブル・チップによる並列書き込みを可能にし、スループットを大幅に向上させます。この機能は、大面積のパターニングや時間に制約のあるアプリケーションに最適です。
    • モジュール式でアップグレード可能な設計：NanoFrazorのモジュラー・プラットフォームは、特定の研究ニーズやラボ環境を満たすための広範なカスタマイズを可能にします。パターニング・モード、ハウジング・オプション、ソフトウェア・モジュールは、最大限の柔軟性と機能性を実現するためにカスタマイズすることができます。研究の進展に応じて、NanoFrazor は追加モジュールでアップグレードすることができ、長期的な適応性を保証します。
    • 包括的なプロセスサポート：IBM Research Zürich および Heidelberg Instruments Nano での 20 年以上にわたる研究開発により、NanoFrazor のユーザーコミュニティはハードウェアおよびソフトウェアの継続的な進歩の恩恵を受けています。ユーザーは、エッチングやリフトオフなどのパターントランスファープロセスに関するベストプラクティスやプロトコルの包括的なライブラリにアクセスでき、さまざまな用途で最適な結果を確保できます。

    アプリケーション

    • 量子デバイス：量子コンピューティングや高度な電子アプリケーションのための精密なナノ構造を作成する。
    • 1次元/2次元材料：グラフェン、遷移金属ジカルコゲナイド、その他の2次元材料上のナノ構造をパターン化し、修正する。
    • フォトニクス光学システムの正弦波グレーティングや位相板のようなグレースケール形状の2nm以下の垂直精度を実現。
    • バイオテクノロジー細胞増殖のためのバイオミメティック基質を開発し、生物学的および化学的分析のためのナノ流体構造を作り出す。
    • 局所的な材料改質：化学反応や相変化など、局所的な熱駆動プロセスを可能にし、材料科学における革新的な研究を実現します。

    NanoFrazor は、先進的な熱走査プローブリソグラフィーを世界中の研究者や技術者に利用可能にすることで、ナノファブリケーションを革新します。最先端の機能、モジュール式デザイン、幅広い応用範囲により、画期的な研究や技術革新に欠かせないツールとなっています。

    NanoFrazor についてさらに詳しく知るには、専用ウェブサイト nanofrazor.com をご覧ください。 システムを構成し、NanoFrazor がどのようにあなたの研究を新たな高みへと引き上げるかを体験してください。

    NanoFrazor は、熱走査プローブリソグラフィー（t-SPL）の画期的な商用システムであり、さまざまな分野での高度な研究と革新を可能にするよう設計されています。 量子デバイス、1D/2D 材料、量子ドット、ジョセフソン接合、またはナノスケールデバイスアレイを研究する場合でも、NanoFrazor は比類のない精度と多用途性を提供します。 その機能は、グレースケールフォトニクス、ナノ流体構造、細胞成長のための生体模倣基板、熱による化学反応や物理的相変化による局所的な材料改質など、複雑な課題にも対応します。

    主な特徴

    • 高解像度ナノパターニング：NanoFrazor の心臓部には、複雑なナノ構造の書き込みと検査を同時に可能にする、超鋭利で加熱可能なプローブ・チップがある。自己補正パターニングは、クローズドループ・リソグラフィー（CLL）機能によって実現されます。この革新的な設計は、複雑なパターンや構造を作成するための比類のない精度を提供します。
    • ダイレクトレーザー昇華（DLS）モジュール：DLSモジュールは、ナノおよびマイクロ構造を1つのステップで同じレジスト層に効率的に書き込むことを可能にすることにより、ファブリケーションを合理化します。この統合により、ワークフローが簡素化され、生産性が向上します。
    • マーカーレスオーバーレイによるその場イメージング：NanoFrazor のインサイチュ・イメージング技術は、マーカーレス・オーバーレイを導入し、書き込まれたパターンとターゲット・パターンをリアルタイムで比較します。このユニークなCLL（Closed-Loop Lithography）機能は、複雑な2.5D（グレースケール）形状を作成するための2nm以下の垂直精度を保証し、描画プロセス中に即座にパラメータを調整することができます。
    • 10チップによる並列書き込み：Decapede機能は、NanoFrazor の定評ある精度を維持しながら、10本のヒータブル・チップによる並列書き込みを可能にし、スループットを大幅に向上させます。この機能は、大面積のパターニングや時間に制約のあるアプリケーションに最適です。
    • モジュール式でアップグレード可能な設計：NanoFrazorのモジュラー・プラットフォームは、特定の研究ニーズやラボ環境を満たすための広範なカスタマイズを可能にします。パターニング・モード、ハウジング・オプション、ソフトウェア・モジュールは、最大限の柔軟性と機能性を実現するためにカスタマイズすることができます。研究の進展に応じて、NanoFrazor は追加モジュールでアップグレードすることができ、長期的な適応性を保証します。
    • 包括的なプロセスサポート：IBM Research Zürich および Heidelberg Instruments Nano での 20 年以上にわたる研究開発により、NanoFrazor のユーザーコミュニティはハードウェアおよびソフトウェアの継続的な進歩の恩恵を受けています。ユーザーは、エッチングやリフトオフなどのパターントランスファープロセスに関するベストプラクティスやプロトコルの包括的なライブラリにアクセスでき、さまざまな用途で最適な結果を確保できます。

    アプリケーション

    • 量子デバイス：量子コンピューティングや高度な電子アプリケーションのための精密なナノ構造を作成する。
    • 1次元/2次元材料：グラフェン、遷移金属ジカルコゲナイド、その他の2次元材料上のナノ構造をパターン化し、修正する。
    • フォトニクス光学システムの正弦波グレーティングや位相板のようなグレースケール形状の2nm以下の垂直精度を実現。
    • バイオテクノロジー細胞増殖のためのバイオミメティック基質を開発し、生物学的および化学的分析のためのナノ流体構造を作り出す。
    • 局所的な材料改質：化学反応や相変化など、局所的な熱駆動プロセスを可能にし、材料科学における革新的な研究を実現します。

    NanoFrazor は、先進的な熱走査プローブリソグラフィーを世界中の研究者や技術者に利用可能にすることで、ナノファブリケーションを革新します。最先端の機能、モジュール式デザイン、幅広い応用範囲により、画期的な研究や技術革新に欠かせないツールとなっています。

    NanoFrazor についてさらに詳しく知るには、専用ウェブサイト nanofrazor.com をご覧ください。 システムを構成し、NanoFrazor がどのようにあなたの研究を新たな高みへと引き上げるかを体験してください。

  • 製品ハイライト

  • 熱走査プローブリソグラフィー

    ナノパターニングへの新たなアプローチで、他では実現不可能なアプリケーションを可能にする

    高解像度

    複雑な形状でもナノ構造のパターニングが容易；最小横方向形状15nm、垂直方向分解能2nm

    ダメージフリーリソグラフィー

    荷電粒子によるダメージなし、近接効果なし、クリーンなリフトオフ

    互換性

    リフトオフ、エッチングなど、すべての標準的なパターン転写方法。- 当社の “レシピブック “で利用可能な知識リソースとベストプラクティス

    ユニークなサーマルカンチレバー

    マイクロヒーターと距離センサーを内蔵し、交換が容易で費用対効果に優れる

    精密なオーバーレイとステッチ

    マーカレスオーバーレイとステッチ精度 25 nm指定、10 nm以下のオーバーレイを表示

    インサイチュ・イメージング

    パターン化された構造特性のリアルタイム可視化

    低所有コスト

    クリーンルーム、真空ポンプ、高価な消耗品が不要

    スクリプト

    カスタム・オペレーションの容易な自動化

  • 利用可能なモジュール

  • レーザー昇華モジュール

    波長405nmのCWファイバーレーザーにより、粗い構造も同一露光ステップで高スループットに露光。

    デカペーペ

    パラレル・ライティング10のヒント

    独立型ハウジング

    3層防音、優れた防振｜PC制御による温湿度モニタリング、ガス流量調整｜（寸法185cm x 78cm x 128cm、重量650kg）

    フルグローブボックス・インテグレーション

    制御された環境でナノリソグラフィが可能なグローブボックスへの統合

    グレースケール・ソフトウェア・モジュール

    2 nm以下の垂直分解能で2.5Dパターニングが可能

    自動オーバーレイ・ソフトウェア・モジュール

    25nmの精度で既存の地形にマーカーレスで自動オーバーレイ

    スマート・スプリッティング・ソフトウェア・モジュール

    大きなレイアウトの処理とフィールドの順序の最適化

    ダイナミックな局所温度変調

    熱による局所的な材料改質を利用した熱化学用途向け

NanoFrazor は、熱走査プローブリソグラフィー（t-SPL）の画期的な商用システムであり、さまざまな分野での高度な研究と革新を可能にするよう設計されています。 量子デバイス、1D/2D 材料、量子ドット、ジョセフソン接合、またはナノスケールデバイスアレイを研究する場合でも、NanoFrazor は比類のない精度と多用途性を提供します。 その機能は、グレースケールフォトニクス、ナノ流体構造、細胞成長のための生体模倣基板、熱による化学反応や物理的相変化による局所的な材料改質など、複雑な課題にも対応します。

主な特徴

  • 高解像度ナノパターニング：NanoFrazor の心臓部には、複雑なナノ構造の書き込みと検査を同時に可能にする、超鋭利で加熱可能なプローブ・チップがある。自己補正パターニングは、クローズドループ・リソグラフィー（CLL）機能によって実現されます。この革新的な設計は、複雑なパターンや構造を作成するための比類のない精度を提供します。
  • ダイレクトレーザー昇華（DLS）モジュール：DLSモジュールは、ナノおよびマイクロ構造を1つのステップで同じレジスト層に効率的に書き込むことを可能にすることにより、ファブリケーションを合理化します。この統合により、ワークフローが簡素化され、生産性が向上します。
  • マーカーレスオーバーレイによるその場イメージング：NanoFrazor のインサイチュ・イメージング技術は、マーカーレス・オーバーレイを導入し、書き込まれたパターンとターゲット・パターンをリアルタイムで比較します。このユニークなCLL（Closed-Loop Lithography）機能は、複雑な2.5D（グレースケール）形状を作成するための2nm以下の垂直精度を保証し、描画プロセス中に即座にパラメータを調整することができます。
  • 10チップによる並列書き込み：Decapede機能は、NanoFrazor の定評ある精度を維持しながら、10本のヒータブル・チップによる並列書き込みを可能にし、スループットを大幅に向上させます。この機能は、大面積のパターニングや時間に制約のあるアプリケーションに最適です。
  • モジュール式でアップグレード可能な設計：NanoFrazorのモジュラー・プラットフォームは、特定の研究ニーズやラボ環境を満たすための広範なカスタマイズを可能にします。パターニング・モード、ハウジング・オプション、ソフトウェア・モジュールは、最大限の柔軟性と機能性を実現するためにカスタマイズすることができます。研究の進展に応じて、NanoFrazor は追加モジュールでアップグレードすることができ、長期的な適応性を保証します。
  • 包括的なプロセスサポート：IBM Research Zürich および Heidelberg Instruments Nano での 20 年以上にわたる研究開発により、NanoFrazor のユーザーコミュニティはハードウェアおよびソフトウェアの継続的な進歩の恩恵を受けています。ユーザーは、エッチングやリフトオフなどのパターントランスファープロセスに関するベストプラクティスやプロトコルの包括的なライブラリにアクセスでき、さまざまな用途で最適な結果を確保できます。

アプリケーション

  • 量子デバイス：量子コンピューティングや高度な電子アプリケーションのための精密なナノ構造を作成する。
  • 1次元/2次元材料：グラフェン、遷移金属ジカルコゲナイド、その他の2次元材料上のナノ構造をパターン化し、修正する。
  • フォトニクス光学システムの正弦波グレーティングや位相板のようなグレースケール形状の2nm以下の垂直精度を実現。
  • バイオテクノロジー細胞増殖のためのバイオミメティック基質を開発し、生物学的および化学的分析のためのナノ流体構造を作り出す。
  • 局所的な材料改質：化学反応や相変化など、局所的な熱駆動プロセスを可能にし、材料科学における革新的な研究を実現します。

NanoFrazor は、先進的な熱走査プローブリソグラフィーを世界中の研究者や技術者に利用可能にすることで、ナノファブリケーションを革新します。最先端の機能、モジュール式デザイン、幅広い応用範囲により、画期的な研究や技術革新に欠かせないツールとなっています。

NanoFrazor についてさらに詳しく知るには、専用ウェブサイト nanofrazor.com をご覧ください。 システムを構成し、NanoFrazor がどのようにあなたの研究を新たな高みへと引き上げるかを体験してください。

NanoFrazor は、熱走査プローブリソグラフィー（t-SPL）の画期的な商用システムであり、さまざまな分野での高度な研究と革新を可能にするよう設計されています。 量子デバイス、1D/2D 材料、量子ドット、ジョセフソン接合、またはナノスケールデバイスアレイを研究する場合でも、NanoFrazor は比類のない精度と多用途性を提供します。 その機能は、グレースケールフォトニクス、ナノ流体構造、細胞成長のための生体模倣基板、熱による化学反応や物理的相変化による局所的な材料改質など、複雑な課題にも対応します。

主な特徴

  • 高解像度ナノパターニング：NanoFrazor の心臓部には、複雑なナノ構造の書き込みと検査を同時に可能にする、超鋭利で加熱可能なプローブ・チップがある。自己補正パターニングは、クローズドループ・リソグラフィー（CLL）機能によって実現されます。この革新的な設計は、複雑なパターンや構造を作成するための比類のない精度を提供します。
  • ダイレクトレーザー昇華（DLS）モジュール：DLSモジュールは、ナノおよびマイクロ構造を1つのステップで同じレジスト層に効率的に書き込むことを可能にすることにより、ファブリケーションを合理化します。この統合により、ワークフローが簡素化され、生産性が向上します。
  • マーカーレスオーバーレイによるその場イメージング：NanoFrazor のインサイチュ・イメージング技術は、マーカーレス・オーバーレイを導入し、書き込まれたパターンとターゲット・パターンをリアルタイムで比較します。このユニークなCLL（Closed-Loop Lithography）機能は、複雑な2.5D（グレースケール）形状を作成するための2nm以下の垂直精度を保証し、描画プロセス中に即座にパラメータを調整することができます。
  • 10チップによる並列書き込み：Decapede機能は、NanoFrazor の定評ある精度を維持しながら、10本のヒータブル・チップによる並列書き込みを可能にし、スループットを大幅に向上させます。この機能は、大面積のパターニングや時間に制約のあるアプリケーションに最適です。
  • モジュール式でアップグレード可能な設計：NanoFrazorのモジュラー・プラットフォームは、特定の研究ニーズやラボ環境を満たすための広範なカスタマイズを可能にします。パターニング・モード、ハウジング・オプション、ソフトウェア・モジュールは、最大限の柔軟性と機能性を実現するためにカスタマイズすることができます。研究の進展に応じて、NanoFrazor は追加モジュールでアップグレードすることができ、長期的な適応性を保証します。
  • 包括的なプロセスサポート：IBM Research Zürich および Heidelberg Instruments Nano での 20 年以上にわたる研究開発により、NanoFrazor のユーザーコミュニティはハードウェアおよびソフトウェアの継続的な進歩の恩恵を受けています。ユーザーは、エッチングやリフトオフなどのパターントランスファープロセスに関するベストプラクティスやプロトコルの包括的なライブラリにアクセスでき、さまざまな用途で最適な結果を確保できます。

アプリケーション

  • 量子デバイス：量子コンピューティングや高度な電子アプリケーションのための精密なナノ構造を作成する。
  • 1次元/2次元材料：グラフェン、遷移金属ジカルコゲナイド、その他の2次元材料上のナノ構造をパターン化し、修正する。
  • フォトニクス光学システムの正弦波グレーティングや位相板のようなグレースケール形状の2nm以下の垂直精度を実現。
  • バイオテクノロジー細胞増殖のためのバイオミメティック基質を開発し、生物学的および化学的分析のためのナノ流体構造を作り出す。
  • 局所的な材料改質：化学反応や相変化など、局所的な熱駆動プロセスを可能にし、材料科学における革新的な研究を実現します。

NanoFrazor は、先進的な熱走査プローブリソグラフィーを世界中の研究者や技術者に利用可能にすることで、ナノファブリケーションを革新します。最先端の機能、モジュール式デザイン、幅広い応用範囲により、画期的な研究や技術革新に欠かせないツールとなっています。

NanoFrazor についてさらに詳しく知るには、専用ウェブサイト nanofrazor.com をご覧ください。 システムを構成し、NanoFrazor がどのようにあなたの研究を新たな高みへと引き上げるかを体験してください。

熱走査プローブリソグラフィー

ナノパターニングへの新たなアプローチで、他では実現不可能なアプリケーションを可能にする

高解像度

複雑な形状でもナノ構造のパターニングが容易；最小横方向形状15nm、垂直方向分解能2nm

ダメージフリーリソグラフィー

荷電粒子によるダメージなし、近接効果なし、クリーンなリフトオフ

互換性

リフトオフ、エッチングなど、すべての標準的なパターン転写方法。- 当社の “レシピブック “で利用可能な知識リソースとベストプラクティス

ユニークなサーマルカンチレバー

マイクロヒーターと距離センサーを内蔵し、交換が容易で費用対効果に優れる

精密なオーバーレイとステッチ

マーカレスオーバーレイとステッチ精度 25 nm指定、10 nm以下のオーバーレイを表示

インサイチュ・イメージング

パターン化された構造特性のリアルタイム可視化

低所有コスト

クリーンルーム、真空ポンプ、高価な消耗品が不要

スクリプト

カスタム・オペレーションの容易な自動化

レーザー昇華モジュール

波長405nmのCWファイバーレーザーにより、粗い構造も同一露光ステップで高スループットに露光。

デカペーペ

パラレル・ライティング10のヒント

独立型ハウジング

3層防音、優れた防振｜PC制御による温湿度モニタリング、ガス流量調整｜（寸法185cm x 78cm x 128cm、重量650kg）

フルグローブボックス・インテグレーション

制御された環境でナノリソグラフィが可能なグローブボックスへの統合

グレースケール・ソフトウェア・モジュール

2 nm以下の垂直分解能で2.5Dパターニングが可能

自動オーバーレイ・ソフトウェア・モジュール

25nmの精度で既存の地形にマーカーレスで自動オーバーレイ

スマート・スプリッティング・ソフトウェア・モジュール

大きなレイアウトの処理とフィールドの順序の最適化

ダイナミックな局所温度変調

熱による局所的な材料改質を利用した熱化学用途向け

お客様のアプリケーション

ジョセフソン 接合 は 、二つ の アルミニウム 電極 が 重なり 、その 間 に 薄い 絶縁 バリア が 挟まれた 構造 です 。
NanoFrazor を 使用 して 製作 された ジョセフソン 接合 の 設計 。この デバイス は 、二つ の アルミニウム 電極 が 重なり 、その 間 に 薄い 絶縁 バリア が 挟まれ 、二重角度 蒸着 によって 作成 されて います 。
作製プロセスについては、アプリケーションノートをお読みください。
ナノエレクトロニクス：電極付きInSbナノワイヤ
NanoFrazorのマーカーレスオーバーレイ機能を用いて、InSbナノワイヤへの電気接触が形成されました。まず統合トポグラフィーセンサーでナノワイヤを正確に位置決めし、その後に電極設計を重ねてパターン化しました。ナノワイヤを損傷から保護するため、ナノワイヤ上の領域はt-SPLのみでパターン化されました。
(L. Shani*, J. Chaaban* et al 2024 Nanotechnology 35 255302)
TMDスタックに作製された既存電極と接続する電極の光学顕微鏡画像
遷移金属ジカルコゲナイド（TMD）の特性を調査・活用するための完全なデバイスの製造は、これらの材料の環境感受性の高さから、通常非常に困難です。NanoFrazorを使用することで、基板上のフレークを過酷な環境にさらすことなく電極の重ね合わせとパターン形成が可能となりました。
NanoFrazorで作製された光制御用フーリエ表面
光の操作には、しばしば三次元にわたるサブ波長パターン形成能力が必要です。NanoFrazorと閉ループリソグラフィー（CLL）機能により、光フーリエ面などの新たな構造が実現可能になります。Decapedeモジュールでは、10本のt-SPLカンチレバーが並列動作し、30 nm以下の解像度でナノフォトニクス用途の大面積加工が可能です。（画像提供：ETHチューリッヒ Yannik Glauser）
2D材料および遷移金属ジカルコゲナイド（TMD）を用いた高感度電子デバイスの構造例
NanoFrazorによるグレースケールパターンを用いて、2D材料フレーク上に作製されたFETデバイス（提供：EPFL Xia Liu博士とBerke Erbas）
直径30〜200 nmのナノピラー配列。フラット光学およびメタサーフェス用途に期待
標準的なパターン転写プロセスにより、ナノホールの優れた反転構造が実現され、直径30〜200 nmのシリコンナノピラー配列が作製されました。特に100 nm未満のナノピラーは、フラット光学やメタサーフェスへの応用に大きな可能性を秘めています。NanoFrazorに搭載された熱走査型プローブリソグラフィー技術により、ナノスケール構造の同時パターン化と検査が可能となり、ナノピラー製造を効率的かつシームレスに実現しています。
金属蒸着とリフトオフ後のナノワイヤ量子デバイス
NanoFrazorを用いることで、超高精度の電極には超鋭利な探針を、接触パッドにはレーザーハイブリッドリソグラフィーを使用して、ナノワイヤベースの量子デバイスを製造できます。これは金属蒸着とリフトオフ後の光学顕微鏡画像です。
製造プロセスについて学ぶには、アプリケーションノートをお読みください。
幅180 nmのインターデジタル電極を備えた電子デバイス
インターデジタル電極デバイスは、その独自の設計と機能性により、マイクロエレクトロニクスおよびセンシング用途において重要な役割を果たしています。これらの電極は、NanoFrazorのt-SPLとレーザー直接描画を組み合わせたミックスアンドマッチ光刻法によってパターン化されました。t-SPLでは、幅180 nm、水平面積160 μmをカバーするインターデジタル電極をアクティブステッチングで作製しました。
熱走査型プローブリソグラフィーによる骨組織の複製構造、生物ナノ技術への応用が期待される
熱刺激を利用することで、熱走査型プローブリソグラフィー（t-SPL）は30 nm未満の解像度で化学的に敏感な表面を操作でき、独自の化学グラデーションを実現します。また、ポリマーなどの生体適合材料へのグレースケールパターンによる生物模倣は、バイオナノテクノロジーの新たな可能性を開きます。（画像提供：NYU Elisa Riedo教授）
NanoFrazor によりナノメートル単位の精度で作製されたナノフルイディック・ロッキング・ラチェット。精密に設計された3Dトポグラフィーを持つこのナノ流体デバイスは、ブラウン運動を利用して、1nmのサイズ差を持つ粒子を逆方向に導き分離します。（提供：IBM Research、2018年の Science および PRL に掲載）
NanoFrazor によりナノメートル単位の精度で作製されたナノフルイディック・ロッキング・ラチェット。精密に設計された3Dトポグラフィーを持つこのナノ流体デバイスは、ブラウン運動を利用して、1nmのサイズ差を持つ粒子を逆方向に導き分離します。（提供：IBM Research、2018年の Science および PRL に掲載）
PPA に書き込まれ SiO₂ にエッチングされた異なる距離 ∆x を持つガウスプロファイルは、分布ブラッグ反射器に積層され、光子分子を形成します。断面図では、異なる ∆x に対応したガウス形状が示されており、キャビティ間の結合強度を制御します。精密なガウス形状は NanoFrazor と閉ループリソグラフィーにより作製されました。（提供：IBM Research Zurich、2018年発表）
PPA に書き込まれ SiO₂ にエッチングされた異なる距離 ∆x を持つガウスプロファイルは、分布ブラッグ反射器に積層され、光子分子を形成します。断面図では、異なる ∆x に対応したガウス形状が示されており、キャビティ間の結合強度を制御します。精密なガウス形状は NanoFrazor と閉ループリソグラフィーにより作製されました。（提供：IBM Research Zurich、2018年発表）
インジウムヒ素（InAs）ナノワイヤは、スイッチング電圧をゼロからずらしてしまうトラップ電荷に非常に敏感であり、これらの電荷は除去が困難です。電子ビームリソグラフィーではこのようなトラップ電荷が一般的ですが、NanoFrazorリソグラフィーで製作されたInAsナノワイヤデバイスは、ちょうど0Vでオフになります。（提供：S. Karg & A. Knoll、IBM Research – Zurich)
インジウムヒ素（InAs）ナノワイヤは、スイッチング電圧をゼロからずらしてしまうトラップ電荷に非常に敏感であり、これらの電荷は除去が困難です。電子ビームリソグラフィーではこのようなトラップ電荷が一般的ですが、NanoFrazorリソグラフィーで製作されたInAsナノワイヤデバイスは、ちょうど0Vでオフになります。（提供：S. Karg & A. Knoll、IBM Research – Zurich)
NanoFrazor を用いて単層 MoS₂ フレークにパターン化されたホールバー型デバイス。加熱された探針で描画された電極は、レジスト残渣がなく、フレークに損傷を与えないため、非常に小さなショットキー障壁を示します。その結果、接触およびトップゲートをNanoFrazorでパターン化したデバイスは、記録的なオン・オフ比を示します。（提供：Elisa Riedo 教授、NYU）
NanoFrazor を用いて単層 MoS₂ フレークにパターン化されたホールバー型デバイス。加熱された探針で描画された電極は、レジスト残渣がなく、フレークに損傷を与えないため、非常に小さなショットキー障壁を示します。その結果、接触およびトップゲートをNanoFrazorでパターン化したデバイスは、記録的なオン・オフ比を示します。（提供：Elisa Riedo 教授、NYU）
製造プロセスについて詳しくは、アプリケーションノートをお読みください。
PPA にパターン化され、Si にエッチングされた 3D 8 レベルのコンピュータ生成ホログラム（挿入図）。反応性イオンエッチングによって深さが 70 nm から 700 nm に増幅されました。
PPA にパターン化され、Si にエッチングされた 3D 8 レベルのコンピュータ生成ホログラム（挿入図）。反応性イオンエッチングによって深さが 70 nm から 700 nm に増幅されました。

当社のシステムが選ばれる理由

"NanoFrazor 、クローズドループリソグラフィー機能を楽しんでいます。高精度リソグラフィー、オーバーレイ、ステッチなど、低次元材料アプリケーションの様々な用途に非常に役立っています。また、NanoFrazor のサポート・チームからは、システムを使用する上でのあらゆるニーズについて、迅速かつプロフェッショナルな対応（24時間以内）をいただき感謝しています。"

Xiaorui Zheng、助教授、研究代表者
Westlake University
Hangzhou, China

「Nanofrazorは、ナノリソグラフィ用のコンパクトな装置で、ユニークな機能の組み合わせを提供します。特に、2D材料への低ダメージでのマーカーレスオーバーレイとスティッチング、3Dグレースケールナノリソグラフィ、材料の直接熱変換と修飾を強調しています。"

Francesco Buatier de Mongeot, 実験物性物理学教授
Dipartimento di Fisica, Università di Genova
Genova, Italy

技術データ

サーマル・プローブ ライティングダイレクトレーザー 昇華
シングルチップデカペーペ
パターニング性能
最小構造サイズ [nm］1515600
最小ラインとスペース［ハーフピッチ、nm］25251000
グレースケール／3D解像度（PPAのステップサイズ）［nm］22-
最大書き込みフィールドサイズ［X μm x Y μm］60 x 6060 x 6060 x 60
フィールドステッチ精度（マーカーレス、その場撮像を使用）[nm］2525600
オーバーレイ精度（マーカーレス、その場イメージングを使用） [nm］2525600
書き込み速度（標準スキャン速度）[mm/s］115
書き込み速度（50nmピクセル）[μm²/min］ 100010 000100 000
トポグラフィー画像性能
横方向の画像分解能（フィーチャーサイズ） [nm］10
垂直分解能（トポグラフィ感度） [nm］<0.5
イメージング速度（＠50nm分解能）[μm²/分］100010 000-
基本システムの特徴
基板サイズ1 x 1 mm² ～ 100 x 100 mm² （制限付きで 150 x 150 mm² も可能）
厚さ：最大 10 mm
光学顕微鏡デジタル分解能0.6μm、回折限界2μm、視野1.0mm×1.0mm、オートフォーカス
磁気カンチレバーホルダー高速（<1分）で正確なチップ交換
防振アクティブ防振ステージ
オプションのシステム機能／モジュール性
ダイレクトレーザー昇華レーザー光源と光学系波長405nm CWファイバーレーザー、300mW、最小焦点サイズ1.2μm レーザーオートフォーカス：カンチレバー（NanoFrazor ）の距離センサーを使用。
デカペーペパラレル・ライティング10のヒント
独立型ハウジング3層防音構造、優れた防振性（> 98% @ 10 Hz）｜PC制御による温度および湿度モニタリング（ ）、ガス流量調整｜（寸法185 cm x 78 cm x 128 cm／重量650 kg
グローブボックスとの完全統合制御された環境でナノリソグラフィが可能なグローブボックスへの統合
NanoFrazor カンチレバーの特徴（シングルチップとデカペデの両方）
統合コンポーネントチップヒーター、トポグラフィーセンサー、静電アクチュエーター
先端形状<半径10nm、長さ750nmの円錐形チップ
チップヒーター温度範囲25 °C – 1400 °C (<1 K の設定点分解能)
ベースシステムの寸法と設置条件
高さ×幅×奥行きテーブルトップユニット：44 cm x 40 cm x 45 cm
コントローラー: 84 cm x 60 cm x 56 cm
重量テーブルトップユニット50 kg
コントローラー：80 kg
電源入力1 x 110または220 V AC、10 A
ソフトウェアの特徴
GDSおよびビットマップインポート、256階調のグレースケール、地形画像解析およびオーバーレイ描画、チップとレーザー書き込みのミックス＆マッチ、 完全自動化キャリブレーションルーチン、Pythonスクリプト

仕様は個々のプロセス条件に依存し、装置構成によって異なる場合があります。書き込み速度は画素サイズと書き込みモードに依存します。設計および仕様は予告なく変更されることがあります。

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