ラスタースキャンとベクトル露光モジュールを搭載した、設定可能でコンパクトな卓上型マスクレスアライナー
Customer applications
(Courtesy of Max-Planck-Institute for terrestrial microbiology)
Why customers choose our systems
Technical Data
| 書き込みモード I | ライト・モードII | 書き込みモードIII | |
|---|---|---|---|
| 書き込み性能（ラスタースキャン露光モジュール） | |||
| 最小構造サイズ [μm］ | 0.6 | 1 | 3 |
| 最小ラインとスペース [μm］ | 0.8 | 1.5 | 3 |
| アドレス・グリッド [nm］ | 20 | 50 | 100 |
| CD均一性［3σ、nm］ | 200 | 300 | 400 |
| 5 x 5 mm²以上の2層目のアライメント [nm］ | 500 | 500 | 1000 |
| 50×50mm²以上の2層目のアライメント [nm］ | 1000 | 1000 | 2000 |
| 書き込み速度 | 390 nm LED / 365 nm LED付き | 390 nm LED / 365 nm LED付き | 390nmのLEDを使用 |
| 書き込み速度 | 10 mm²/min at 0.6 µm | 40 mm²/min at 1 µm | 100 mm²/min at 3 µm |
| ラスター・スキャン露光モジュール用可変解像度" による、異なる最小構造サイズでのオプションの書き込み速度 | 18 mm²/min at 1 µm | 60 mm²/min at 2 µm | 160 mm²/min at 4 µm |
| 25 mm²/min at 2 µm | 90 mm²/min at 4 µm | 240 mm²/min at 6 µm | |
| 書き込み性能（ベクトルモード露光モジュール） | |||
| 最小フィーチャーサイズ[µm］ | 0.6 | 1 | 3 |
| アドレス・グリッド [nm］ | 20 | 20 | 20 |
| 5 x 5 mm²以上の2層目のアライメント [nm］ | 500 | 500 | 1000 |
| 50×50mm²以上の2層目のアライメント [nm］ | 1000 | 1000 | 2000 |
| ベクトルモードでの最大リニア書き込み速度 | 200 mm/s | 200 mm/s | 200 mm/s |
| ベクトルモードで使用可能なスポットサイズ[µm］ | 0.6 / 1 / 2 / 5 / 10 | 1 / 2 / 5 / 10 / 25 | 3 / 5 / 10 / 25 /50 |
| システム仕様 | |||
| 最大基板サイズ | 6″ x 6″ | ||
| 最小基板サイズ | 5 x 5mm2 | ||
| 基板の厚さ | 0.1～12 mm | ||
| 最大書き込み領域 | 150 x 150mm2 |
| ラスタースキャン露光モジュール | ベクトル露光モジュール | |
|---|---|---|
| 光源 | LED; 390 nm または 365 nm | レーザー；405 nmおよび/または375 nm |
| システム寸法（リソグラフィユニット） | ||
| μMLA | 幅×奥行き | 身長×体重 |
| メインシステムハウジング | 640mm（25インチ）×840mm（33インチ） | 530mm（21インチ）×130kg（285ポンド） |
| 設置条件 | ||
| 電気 | 230 VAC / 6A または 110 VAC / 12A (±5%、50/60 Hz) | |
| 圧縮空気 | 6～10バール | |
| クリーンルーム | ISO 6推奨 | |
| 温度安定性 | ±1 °C | |
| * システムにインストールできる書き込みモードは1つだけです。 |
