ドイツ・ハイデルベルク — Heidelberg Instruments は、同社の主力 VPG⁺ 1400 FPD Volume Pattern Generator システムに対し、アジアの主要ディスプレイ用フォトマスクメーカーから追加注文を受けたことを発表できることを大変嬉しく思います。この新たな注文は、長年にわたりフラットパネルディスプレイ業界で広く使用されてきた VPG⁺ プラットフォームの性能と信頼性に対する顧客の強い信頼を裏付けるものです。
「このリピート注文は、高量産において VPG⁺ 1400 プラットフォームが提供する価値——卓越した精度、信頼性、そしてお客様が日々依存する稼働率——を力強く証明するものです。これは長年にわたりアジアのパートナーと築いてきた深い信頼関係を反映しており、フラットパネルディスプレイ業界におけるイノベーションと長期的価値の創出に対する当社のコミットメントをさらに強化するものです」と、Heidelberg Instruments のグローバルセールスおよびビジネス開発担当副社長 Alexander Forozan は述べています。
この注文はまた、顧客満足度の高さと地域パートナーとの成功した長期的な協力関係を示しています。本システムの納入は 2027 年前半を予定しています。
VPG⁺ 1400 FPD システムは最大 1400 × 1400 mm² のマスクサイズに対応しており、G5 から G8 までのディスプレイ世代に最適です。優れた露光精度、高いプロセス安定性、そして最大稼働時間を実現する堅牢なアーキテクチャを提供し、これらは高解像度ディスプレイ技術における最新のフォトマスク製造にとって重要な要素です。Cognex の AI ベース画像認識を含む高度な計測機能および高度なアライメント機能を備えており、多層マスクの高精度な位置合わせを保証します。線形および非線形の座標補正により、異なる装置間でのオーバーレイ精度がさらに向上します。
VPG⁺ 1400 FPD および VPG⁺ 1850 FPD Volume Pattern Generator は、フラットパネルディスプレイ業界における大面積フォトマスクのパターニングのために特別に設計されています。後者は実績のある VPG⁺ 1400 プラットフォームをベースとしており、G8 を超える大判フォトマスク用途向けに設計されています。最大 1400 × 1850 mm² のマスクサイズに対応しています。
VPG⁺ FPD システムファミリーは、高スループットのフォトマスク生産において新たな基準を確立し、大型ディスプレイに必要な精度とスケーラビリティを提供します。さらに、これらのシステムはフラットパネルディスプレイ向けの大面積ハーフトーンフォトマスクの製造に必要なパターン忠実度を実現します。
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Sonja Pfeuffer, press(at)Heidelberg-instruments.com
