製品紹介

ハイデルベルク・インスツルメンツは、学術研究と大量生産の間のギャップを埋める、幅広いリソグラフィソリューションを提供しています。当社の製品ラインナップは、高解像度ナノファブリケーションや汎用性の高いマイクロファブリケーションから、高度なフォトマスク製造、複雑な2.5Dグレースケールリソグラフィに至るまで、製造プロセス全般において最高レベルの精度を実現します。

マスクレス技術の俊敏性と、産業規模での量産化に求められる24時間365日の信頼性を融合させることで、当社はユーザーが幅広い基板上に複雑なパターンを形成することを可能にします。研究開発ラボでの量子設計の反復検証から、MLA 300などのシステムを用いた高スループット製造の管理に至るまで、当社の技術は、次世代のMEMS、マイクロオプティクス、および半導体技術を推進するために必要な柔軟性と精度を提供します。

以下の製品検索ツールを使用して、お客様の特定の用途に最適なシステムを見つけてください。