製品紹介

ハイデルベルグ・インストルメンツは、研究および産業向けのマイクロ・ナノ製造用の先進リソグラフィシステムを開発しています。当社の製品ポートフォリオは、迅速なプロトタイピング、2Dおよび2.5Dマイクロ構造、マスク作製向けの無マスクレーザーリソグラフィ（MLA）システムと、超高解像度ナノパターニング用のNanoFrazorナノリソグラフィツールを組み合わせています。

多用途のR&Dツールから高スループットの産業用システムに至るまで、当社の製品は精密パターニング、グレースケールリソグラフィ、高解像度マイクロ・ナノ構造、幅広い基板への柔軟な統合を提供します。これらのツールは、最先端のマイクロ製造、ナノリソグラフィ、先端フォトニクス応用におけるハイデルベルグ・インストルメンツの核心的専門知識を反映しています。