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マスクレスリソグラフィーは、センサー分野で中心的な役割を果たす極めて高いオーバーレイ精度を提供します。SQUIDデバイスの製造には最大18層と高解像度の構造が含まれることがあります。層間のアライメントは製造歩留まりにおいて重要であり、MLA 150によって見事に実演されているマスクレスアライナー技術によって自動で行われます。

理論を超えて:精密リソグラフィによる量子デバイスのエンジニアリング

量子革命は今、理論から現実へと移行しています。
その転換を象徴するのが、Google の 「Quantum Echoes」 に代表される画期的な成果です。
小規模なデモ実験から数千キュービット規模のシステムへと拡張するには、超高精度で均一なナノファブリケーション が不可欠です。
本稿では、研究室レベルから大規模生産へと飛躍するための製造上の課題と、それを可能にするリソグラフィ的ソリューションについて検討します。

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Staff in Korean Office

2005–2025:ハイデルベルグ・インスツルメンツ・コリア創立20周年を祝う!

ハイデルベルク・インスツルメンツ・コリア(Heidelberg Instruments Korea) は、
お客様との信頼とパートナーシップの20周年を迎えました!
信頼、忠誠心、そして長期的な関係を基盤として、
ハイデルベルク・インスツルメンツ・コリアは、
地域のお客様に革新をもたらす上で重要な役割を果たし続けています。

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マスクレスリソグラフィーは、センサー分野で中心的な役割を果たす極めて高いオーバーレイ精度を提供します。SQUIDデバイスの製造には最大18層と高解像度の構造が含まれることがあります。層間のアライメントは製造歩留まりにおいて重要であり、MLA 150によって見事に実演されているマスクレスアライナー技術によって自動で行われます。

理論を超えて:精密リソグラフィによる量子デバイスのエンジニアリング

量子革命は今、理論から現実へと移行しています。
その転換を象徴するのが、Google の 「Quantum Echoes」 に代表される画期的な成果です。
小規模なデモ実験から数千キュービット規模のシステムへと拡張するには、超高精度で均一なナノファブリケーション が不可欠です。
本稿では、研究室レベルから大規模生産へと飛躍するための製造上の課題と、それを可能にするリソグラフィ的ソリューションについて検討します。

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2005–2025:ハイデルベルグ・インスツルメンツ・コリア創立20周年を祝う!

ハイデルベルク・インスツルメンツ・コリア(Heidelberg Instruments Korea) は、
お客様との信頼とパートナーシップの20周年を迎えました!
信頼、忠誠心、そして長期的な関係を基盤として、
ハイデルベルク・インスツルメンツ・コリアは、
地域のお客様に革新をもたらす上で重要な役割を果たし続けています。

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