ディスプレイ業界では、高解像度とエネルギー効率の絶え間ない追求により、特にフラットパネルディスプレイ（FPD）製造に不可欠な大判マスクにおいて、卓越した精度、拡張性、スループットを実現するフォトマスク製造ツールが求められています。ハイデルベルグ・インスツルメンツのVPG+1400 FPDボリューム・パターン・ジェネレーターは、このような厳しい要求を満たすために特別に設計されています。
FPD用フォトマスク製造のパイオニア
VPG+1400 FPDは、薄膜トランジスタ（TFT）アレイ、カラーフィルター、酸化インジウムスズ（ITO）電極など、ディスプレイに不可欠なコンポーネント用の大面積フォトマスク（最大1400 x 1400 mm²）の作成に優れています。これらのマスクは、OLED、マイクロLED、量子ドットなどの技術を可能にし、現代のディスプレイの基礎となっています。サブミクロンの解像度で大判基板を扱う能力は、ムラの最適化、エッジ検出、パネルピッチの最適化と相まって、完璧なディスプレイ性能に必要な精度と均一性を保証します。クローズドループ環境チャンバーは、プロセス全体を通して最適な条件を維持し、大量生産でも一貫した結果を保証します。
ディスプレイ製造の課題に対応する主な機能
- 高速光学エンジン：グレーティング・ライト・バルブ（GLV）と355nm DPSSレーザーを用いた高速1次元光変調器と高開口数（NA）書き込みレンズの組み合わせにより、サブミクロン分解能と低光学歪みを実現。GLVリボンは350kHzまで駆動可能。光学エンジンは、高いUV透過率、1088ピクセルで2.4Gbit/sの超高データレート、10ビット強度変調を誇る。
- 妥協のない精度：1nmのインターフェロメトリック位置制御と8nmのアドレスグリッドによる高精度位置計測が、800nmまでのフィーチャを持つ複雑なデザインパターンをフォトマスクに正確に転写します。
- 卓越したスループット：超高速露光エンジンにより2750 mm²/分のスループットを実現し、描画時間を大幅に短縮し、品質を損なうことなく迅速なマスク製造を可能にします。
- スケーラブルな製造：大判精密ステージは、最大1400 x 1400 mm²の基板に対応し、中型および大型（最大G8）ディスプレイ特有の要求に最適です。
- 高度なアライメントコグネックスの画像認識と、マルチポイントアライメントやダメージマーク用スキップ機能を含む包括的な計測パッケージにより、多層マスク生産に不可欠な高精度な第2層アライメント機能（1000 x 1000 mm²の領域で平均400 nm+3σ）を提供します。洗練された2D補正マトリックスにより、ステージ位置を校正し、正確なツールマッチングを実現します。
- 自動化と信頼性：自動校正は、ワークフローを合理化し、エラーを最小限に抑え、信頼性の高い24時間365日稼働を保証し、予測可能な納期を提供します。リアルタイムの気候補正とソフトウェア補正を備えた安定性の高い気候チャンバーは、±0.05℃の温度安定性を維持します。
その他の仕様
- 補正範囲150 µmのリアルタイムオートフォーカスシステム（光学式および空気圧式）。
- 基板厚み：0～13.2mm。
- シングルクロス測定精度：10 – 20 nm
- エリア測定精度（G8エリア）~50 nm
- レジストレーション（3σ）：100 nm
- プレート間オーバーレイ（3σ）：250 nm
- 直交性：0.2 µrad
ディスプレイ産業への応用と利点
VPG+1400 FPDは、あらゆる産業用データフォーマットに対応しており、既存のワークフローにシームレスに統合できます。主なアプリケーション
- TFTアレイ：高解像度ディスプレイのための高精度トランジスタ製造。
- カラーフィルター：正確な色忠実性のためのフィルターの均一性。
- ITO電極：タッチスクリーンの機能性とエネルギー効率を高める透明導電層のパターニング。ハーフトーンフォトマスクにより、ITO層の厚さと大面積均一性を正確に制御し、光学的および電気的性能を最適化します。
卓越したスループット、最高の精度、生産コストの削減を兼ね備えたVPG+1400 FPDは、FPD市場で競争力を求めるフォトマスクメーカーにとって不可欠なツールとなっている。
ディスプレイ製造の未来のために作られた
VPG+1400 FPDに投資することで、メーカーは以下を得ることができる：
- 完璧なディスプレイのための優れたマスク品質。
- 生産の最適化による収益性の向上。
- 次世代ディスプレイ技術の長期的なスケーラビリティ。
ハイデルベルグ・インストゥルメンツのVPG+1400 FPDは、ディスプレイ産業が進歩し続ける中で、ディスプレイ製造における精度、効率、革新性に対する需要の高まりに応えることができる画期的なソリューションです。
