Heidelberg Instruments、新型モジュール式で 10 倍高速の NanoFrazor ナノリソグラフィーツールを発表

スイス・チューリッヒ／ドイツ・ハイデルベルク — Heidelberg Instruments は、新しい NanoFrazor ナノリソグラフィーシステムの発売を誇らしく発表します。これは、微細加工およびナノ加工における数十年の専門知識を発展させたものです。 この多用途ツールは、高解像度、柔軟性、高スループット、そしてモジュール性を備えるよう設計されており、10 本の並列パターニングカンチレバーを搭載することで、生産性が大幅に向上します。 熱走査プローブリソグラフィー（t-SPL）、直接レーザー昇華（DLS）、強化された自動化を組み合わせた NanoFrazor は、量子デバイス、1D/2D 材料、ナノスケールエレクトロニクスの最先端研究を支援するとともに、ナノフォトニクス、メタ光学、ナノ流体工学などの応用にも対応します。

NanoFrazor の中心には、超鋭利で加熱可能なプローブチップがあり、15 nm の横方向分解能、2 nm の垂直分解能でナノ構造を精密にパターニングできます。インシチュー検査システムはクローズドループリソグラフィー（CLL）を提供し、マーカーなしのオーバーレイおよびリアルタイム調整を可能にし、最も複雑なグレースケールパターンでも 2 nm 未満の垂直精度を保証します。この画期的な機能により、フォトニクス、生体模倣基板、熱誘起反応や相変化による局所的な材料修飾など、高度な応用が可能になります。

主な特長：

• 熱走査プローブリソグラフィー（t-SPL）：重要なナノデバイス部品の高精度パターニング
• モジュール性：NanoFrazor の構成可能なプラットフォームは、アプリケーションや研究室の要件に基づいて調整されたソリューションを提供します。研究の進行に伴い、追加モジュールやアップグレードを導入でき、柔軟性と拡張性を確保します。
• 分解能とスループット：新しい Decapede モジュールは 10 本の独立した熱カンチレバーを使用することでスループットを 10 倍に向上させ、解像度を犠牲にすることなく高速化を実現します。
• ハイブリッド Mix & Match リソグラフィー：NanoFrazor は、より高速なマイクロメートル分解能の描画を可能にする直接レーザー昇華（DLS）モジュールをサポートし、コンタクトワイヤーやパッドなどの大面積パターンに最適です。

IBM Research Zurich に端を発する数十年の研究開発を基盤に、NanoFrazor は Heidelberg Instruments Nano で進化を続けています。エッチング、リフトオフなどのプロセスに関する包括的なベストプラクティス集により、ユーザーは幅広い応用分野で最適な結果を得ることができます。

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