小型・非従来型基板

多くのアプリケーションでは、標準的なウェハやマスクのフォーマット以外の特殊なサンプルにリソグラフィを行う必要があります。私たちは、さまざまな基板に対する独自の要件について、多くの経験を蓄積してきました。研究においては、小片のウェハが一般的に使用されます。そのため、当社の研究開発用製品ラインアップは、数ミリメートルの小さなサンプルにも容易に対応できるように特化されています。

その他のアプリケーションでは、長いロッドやプリズム、あるいは曲面など、従来とは異なる基板へのリソグラフィが必要です。お客様のアプリケーションで特殊な基板が必要な場合は、ご相談ください。
Heidelberg Instruments ステージはハイデルベルク本社で内製しています。