半導体

半導体は、電圧、熱、光などの外的要因にさらされると、電気伝導率を変化させることができるのが特徴である。半導体は、現代技術における電子機器の基盤としての役割を果たしている。半導体デバイスは、さまざまな材料で構成されたウェハー上に構築される。シリコンのような単一元素からなるウェハーもあれば、化合物半導体に見られるように、複数の元素をブレンドして独自の電子特性を持つ複雑な結晶構造を形成したものもある。

フォトリソグラフィーは、マスクや直接描画技術を利用してウェハー上に精密なパターンを転写する、半導体製造における極めて重要なプロセスである。フォトリソグラフィは、集積回路やその他の半導体デバイスの基礎となる複雑な構造を定義する上で重要な役割を果たしている。

ハイデルベルグ・インストゥルメンツは、高精度と高均一性が要求されるレチクルから、アダプティブ・パターニングによる高スループットのマスクレス露光まで、半導体ベースのデバイス製造におけるいくつかの重要なプロセスに適したツールを提供しています。これらのレーザーリソグラフィツールは、フォトレジストコーティングされた表面への直接描画を可能にすることで汎用性を提供し、迅速なプロトタイピングとカスタマイズを容易にします。アライメントの精度は、多層デバイスの製造をサポートし、個々のダイのミスアライメントや変形を補正することができます。このため、半導体パッケージングにも適しています。