マイクロ流体工学とナノ流体工学

精密流体操作

  • 説明

  • マイクロ流体工学とナノ流体工学は、それぞれマイクロメートルとナノメートル寸法の流路で少量の流体を操作する、急速に成長している分野である。これらの技術は、化学的・生物学的研究、医療診断、工業的環境において広範な用途を見いだし、化学的・生物学的反応のための小型化されたプラットフォームを提供するラボオンチップデバイスの開発を可能にしている。

    これらのデバイスは、サンプル量の削減、反応時間の短縮、感度の向上などの利点を提供し、創薬、ポイントオブケア診断、環境モニタリングにおいて有用である。マイクロ流体デバイスは様々な構造を特徴とすることができ、製造材料にはSU-8やmr-DWLレジストが含まれ、DWLやMLAシリーズなどのDirect-Write Lithographyツールを使用してパターニングされる。

    一方、ナノ流体工学は、微小な液体体積を正確に取り扱う必要があるナノテクノロジーやバイオテクノロジーの応用において極めて重要である。DNAの配列決定、選別、組み立て、ナノ粒子、タンパク質、酵素、ウイルスの操作などが含まれる。ナノ流体構造には優れた形状制御が要求され、生体適合性ポリマーやエポキシを含む様々な材料を使用することができる。また NanoFrazorはグレースケールのパターニング機能を採用しており、ナノ流体システムの効率的な作成を可能にする。クローズドループ・リソグラフィー・アプローチと統合されたトポグラフィー・センサーにより、高精度と超高分解能が保証され、ナノ流体アプリケーションに有利である。技術の進歩に伴い、マイクロ流体工学とナノ流体工学は、基礎研究から医療診断に至るまで、さまざまな分野でますます重要な役割を果たすようになるだろう。

  • 必要条件

  • 滑らかな表面

    高アスペクト比構造

    超高解像度のホールとチャンネル

    チャンネル(粒子ガイド)用高精度グレースケール・リソグラフィ

  • ソリューション

  • 高分解能(DWL & MLAシリーズ)および超高分解能(NanoFrazor)

    小径の穴や細い溝をパターニングする

    グレースケール・リソグラフィ (DWL シリーズ、µMLA & NanoFrazor)

    単純または複雑な2.5次元トポグラフィーのパターニングに使用(テーパーチャンネルなど)

    高いアスペクト比

    垂直側壁付きトールチャンネル(MLAシリーズ)

    アンダーカットなし

    構造は複製に使用できる

    ナノスケールの熱変換(NanoFrazor)

    例:アミン基の局所的結合

マイクロ流体工学とナノ流体工学は、それぞれマイクロメートルとナノメートル寸法の流路で少量の流体を操作する、急速に成長している分野である。これらの技術は、化学的・生物学的研究、医療診断、工業的環境において広範な用途を見いだし、化学的・生物学的反応のための小型化されたプラットフォームを提供するラボオンチップデバイスの開発を可能にしている。

これらのデバイスは、サンプル量の削減、反応時間の短縮、感度の向上などの利点を提供し、創薬、ポイントオブケア診断、環境モニタリングにおいて有用である。マイクロ流体デバイスは様々な構造を特徴とすることができ、製造材料にはSU-8やmr-DWLレジストが含まれ、DWLやMLAシリーズなどのDirect-Write Lithographyツールを使用してパターニングされる。

一方、ナノ流体工学は、微小な液体体積を正確に取り扱う必要があるナノテクノロジーやバイオテクノロジーの応用において極めて重要である。DNAの配列決定、選別、組み立て、ナノ粒子、タンパク質、酵素、ウイルスの操作などが含まれる。ナノ流体構造には優れた形状制御が要求され、生体適合性ポリマーやエポキシを含む様々な材料を使用することができる。また NanoFrazorはグレースケールのパターニング機能を採用しており、ナノ流体システムの効率的な作成を可能にする。クローズドループ・リソグラフィー・アプローチと統合されたトポグラフィー・センサーにより、高精度と超高分解能が保証され、ナノ流体アプリケーションに有利である。技術の進歩に伴い、マイクロ流体工学とナノ流体工学は、基礎研究から医療診断に至るまで、さまざまな分野でますます重要な役割を果たすようになるだろう。

滑らかな表面

高アスペクト比構造

超高解像度のホールとチャンネル

チャンネル(粒子ガイド)用高精度グレースケール・リソグラフィ

高分解能(DWL & MLAシリーズ)および超高分解能(NanoFrazor)

小径の穴や細い溝をパターニングする

グレースケール・リソグラフィ (DWL シリーズ、µMLA & NanoFrazor)

単純または複雑な2.5次元トポグラフィーのパターニングに使用(テーパーチャンネルなど)

高いアスペクト比

垂直側壁付きトールチャンネル(MLAシリーズ)

アンダーカットなし

構造は複製に使用できる

ナノスケールの熱変換(NanoFrazor)

例:アミン基の局所的結合

アプリケーションイメージ

適切なシステム

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