マイクロオプティクスとフォトニクス

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リフレクター、ディフューザー、マイクロレンズの卓越性

  • Description

  • マイクロレンズアレイや複雑なフレネルレンズは、スマートフォンやタブレットに搭載される高度で小型化された光学部品への需要の高まりにより、コンパクトカメラの光学部品として極めて重要なコンポーネントとなっている。これらのマイクロレンズは、波面センサー、ファイバーカップリング、光源の均一化など、様々な用途に使用されています。これらのマイクロレンズの製造は、まずグレイスケールリソグラフィーでモールドを作成し、それをLIGAで複製してメタルシムを作成し、モールド、インプリント、ホットエンボスのマスターツールとして使用します。グレースケールリソグラフィーは、マイクロプリズム、導波路、ブレーズドグレーティング、CGH（Computer Generated Holograms）、特殊なセキュリティラベルなどの製造にも使用されます。ダイレクト・ライト・リソグラフィーは、VLS（可変線間隔）や標準グレーティングの精密な製造を可能にします。DWLシリーズには、研究開発向けのDWL 66+やハイエンド向けのDWL 2000 GS / DWL 4000 GSなど、様々な高性能グレースケールリソグラフィーシステムがあります。

    NanoFrazorは、様々なマイクロおよびナノ光学アプリケーションに使用できる強力なツールです。高い解像度とグレースケールリソグラフィ機能により、回折格子、光学フーリエ面、位相板などのナノ光学構造や、より複雑な微調整が必要な光学部品の作製に最適です。

  • Requirements

  • Solutions

マイクロレンズアレイや複雑なフレネルレンズは、スマートフォンやタブレットに搭載される高度で小型化された光学部品への需要の高まりにより、コンパクトカメラの光学部品として極めて重要なコンポーネントとなっている。これらのマイクロレンズは、波面センサー、ファイバーカップリング、光源の均一化など、様々な用途に使用されています。これらのマイクロレンズの製造は、まずグレイスケールリソグラフィーでモールドを作成し、それをLIGAで複製してメタルシムを作成し、モールド、インプリント、ホットエンボスのマスターツールとして使用します。グレースケールリソグラフィーは、マイクロプリズム、導波路、ブレーズドグレーティング、CGH（Computer Generated Holograms）、特殊なセキュリティラベルなどの製造にも使用されます。ダイレクト・ライト・リソグラフィーは、VLS（可変線間隔）や標準グレーティングの精密な製造を可能にします。DWLシリーズには、研究開発向けのDWL 66+やハイエンド向けのDWL 2000 GS / DWL 4000 GSなど、様々な高性能グレースケールリソグラフィーシステムがあります。

NanoFrazorは、様々なマイクロおよびナノ光学アプリケーションに使用できる強力なツールです。高い解像度とグレースケールリソグラフィ機能により、回折格子、光学フーリエ面、位相板などのナノ光学構造や、より複雑な微調整が必要な光学部品の作製に最適です。

Application images

Irregular Microlens Array - Concave - Pseudo-square arrangement of lenslet. ~18µm (Average side) and ~6µm depth in AZ4562.
Irregular Microlens Array - Concave - Pseudo-square arrangement of lenslet. ~18µm (Average side) and ~6µm depth in AZ4562.
DWL 66+: Confocal microscope image of a convex fresnel lens (diameter 506 µm, height 10 µm).
DWL 66+: Confocal microscope image of a convex fresnel lens (diameter 506 µm, height 10 µm).
Nano structured phase masks made of Silicon-nitride using thermal scanning probe lithography combined with etching. This phase mask offers the intriguiging possibilities in electron-beam shaping. (NanoFrazor)
Nano structured phase masks made of Silicon-nitride using thermal scanning probe lithography combined with etching. This phase mask offers the intriguiging possibilities in electron-beam shaping. (NanoFrazor)
DWL 66+: Micrograph showing the image of a Fresnel lens (diameter 506 µm, height 10 µm).
DWL 66+: Micrograph showing the image of a Fresnel lens (diameter 506 µm, height 10 µm).
DWL 66+: Confocal microscope image of a micro lens array in a honeycomb arrangement (hexagon radius 10 µm, height 2.7 µm).
DWL 66+: Confocal microscope image of a micro lens array in a honeycomb arrangement (hexagon radius 10 µm, height 2.7 µm).
Half of a Concave Fresnel Lens,also showing its profile, Radius of curvature 840 µm, Height 10 µm, effective diameter 1mm. (DWL66+ WM III)
Half of a Concave Fresnel Lens,also showing its profile, Radius of curvature 840 µm, Height 10 µm, effective diameter 1mm. (DWL66+ WM III)
DWL 66+: Confocal microscope image of a pyramid (pitch 47 µm, height 5.8 µm).
DWL 66+: Confocal microscope image of a pyramid (pitch 47 µm, height 5.8 µm).
DOE square size 1µm 4steps 800nm total height View 70° x5000 (DWL66+ HiRes) Multi-level Diffractive Optical Elements (DOEs) are valuable devices commonly used for light modulation. By changing the phase profile of a laser beam, DOEs can split and shape the beam in well-defined ways, enabling the efficient generation of beam arrays or complex light patterns.
DOE square size 1µm 4steps 800nm total height View 70° x5000 (DWL66+ HiRes) Multi-level Diffractive Optical Elements (DOEs) are valuable devices commonly used for light modulation. By changing the phase profile of a laser beam, DOEs can split and shape the beam in well-defined ways, enabling the efficient generation of beam arrays or complex light patterns.
Photonic sieve made with a NanoFrazor. A Photonic Sieve focuses light through diffraction and interference using a flat material filled with pinholes, achieving sharper focus than a Fresnel Zone plate.
Photonic sieve made with a NanoFrazor. A Photonic Sieve focuses light through diffraction and interference using a flat material filled with pinholes, achieving sharper focus than a Fresnel Zone plate.
DWL 66+: Confocal microscope image of the central part of a concave fresnel lens (diameter of the central part: 120 µm, height 11 µm).
DWL 66+: Confocal microscope image of the central part of a concave fresnel lens (diameter of the central part: 120 µm, height 11 µm).
Tailored diffusers and reflectors have applications for example in light sources and illumination, for example backlight units in LCD displays. This example shows a retro-reflector structure. (Courtesy of karmic.ch)
Tailored diffusers and reflectors have applications for example in light sources and illumination, for example backlight units in LCD displays. This example shows a retro-reflector structure. (Courtesy of karmic.ch)
1100nm pitch grating etched in Si and coated with Al - integrated nanostructured optical reflection gratings on atom chips for quantum applications like gravimeters. (Courtesy of Sascha de Wall, IMPT)
1100nm pitch grating etched in Si and coated with Al - integrated nanostructured optical reflection gratings on atom chips for quantum applications like gravimeters. (Courtesy of Sascha de Wall, IMPT)
Concave Micro lenses made in ma-P1275G. Microlenses and microlens arrays are key components in modern-day micro-optics. They are used in wavefront sensors, for fiber coupling, or for homogenizing light sources.
Concave Micro lenses made in ma-P1275G. Microlenses and microlens arrays are key components in modern-day micro-optics. They are used in wavefront sensors, for fiber coupling, or for homogenizing light sources.
Microlenses written in 15 μm thick AZ4562, with a pitch of 30 μm and a radius of curvature of 16 μm.
Microlenses written in 15 μm thick AZ4562, with a pitch of 30 μm and a radius of curvature of 16 μm.
This example shows a compound structure – a complex structure made of micro- and nanostructures. The insect eye, for instance (in particular the moth- or fly-eye), consists of a series of compound structures. (Courtesy of ShenZhen Nahum-Eli Optical Technology Inc.)
This example shows a compound structure – a complex structure made of micro- and nanostructures. The insect eye, for instance (in particular the moth- or fly-eye), consists of a series of compound structures. (Courtesy of ShenZhen Nahum-Eli Optical Technology Inc.)
Parts of a waveguide (1 µm wide) made with a VPG 300 DI. Waveguides can guide electromagnetic waves, essential in applications like optical communication and sensors. (Courtesy of IMS Chips)
Parts of a waveguide (1 µm wide) made with a VPG 300 DI. Waveguides can guide electromagnetic waves, essential in applications like optical communication and sensors. (Courtesy of IMS Chips)
A ring resonator consists of a closed loop or ring made from a waveguide. Light is coupled into and out of the ring through waveguide arms. The geometry of the ring allows it to support resonant modes. Here the lines are 2µm wide, the distance between the line and the ring is 500 nm.
A ring resonator consists of a closed loop or ring made from a waveguide. Light is coupled into and out of the ring through waveguide arms. The geometry of the ring allows it to support resonant modes. Here the lines are 2µm wide, the distance between the line and the ring is 500 nm.

suitable Systems

DWL 66+

DWL 66+

  • 直接描画レーザーリソグラフィ装置

可変解像度と豊富なオプションを備えた、研究およびプロトタイピング用の最も汎用性の高いシステム。

DWL 4000 GSレーザーリソグラフィ装置

DWL 2000GS / DWL 4000GS

  • 直接描画レーザーリソグラフィ装置

市場で最も先進的な産業用グレースケール・リソグラフィ・ツール。

ナノフラゾール・テーブルトップ

ナノフレザー

  • 熱走査プローブ露光装置

多用途＆モジュラー ツール 組み合わせサーマルスキャニングプローブ リソグラフィー, ダイレクトレーザー昇華 高度な オートメーション自動化 最先端のエッジ研究開発

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