お客様の用途。
当社のソリューション。

装置メーカーとして、当社はお客様のニーズに適応し、研究における自由度と精度、そしてスケーラブルな工業生産を可能にするダイレクトライトリソグラフィシステムを開発しています。

お相手を見つけましょう
アドバンスドパッケージング

マスクレスリソグラフィーで次世代エレクトロニクスを実現。
柔軟な設計、高スループット、均一性、歩留まりは半導体産業の基本要件です。MLA 300マスクレスアライナーは、これらすべての要件を満たします。

このアプリケーションを発見する
DWL 66+は、200nmの微細構造と65,536段階のグレースケールを実現しました。

DWL 66+はこれまで以上に強力になり、光学リソグラフィーの可能性を再定義する2つの画期的な強化機能を搭載しています。

さらに詳しく
『リソグラファー』の表面問題号を読む

Heidelberg Instrumentsの雑誌『The Lithographer』第3号の発行をお知らせします。本誌では、マイクロ・ナノファブリケーションの世界に関する刺激的な洞察を提供しています。研究や産業でのイノベーションを推進するマイクロ・ナノスケールの特徴がどのように設計されているかを学べます。

内部を見る
Previous slide
Next slide

Heidelberg Instruments - 直接描画の威力

Heidelberg Instruments は、高精度レーザーリソグラフィーシステム、マスクレスアライナー、ナノファブリケーションツールのグローバルリーダーです。

私たちは40年間にわたり、世界中で1,500台以上のシステムを導入し、マイクロ・ナノファブリケーション分野のイノベーションを支えてきました。すべての顧客のニーズは独自であることを理解しているため、最も困難な用途にも対応できるカスタマイズされたリソグラフィーソリューションを提供しています。

当社のポートフォリオは、プロトタイピングやR&Dに最適なコンパクトなテーブルトップシステムから、大量生産向けに設計された高性能フォトマスク製造装置まで幅広く揃っています。この多様性により、精密な2Dパターニングやグレースケールリソグラフィーを用いた複雑な2.5D構造など、幅広い表面構造化技術をサポートできます。

お客様の成功へのコミットメントは、製品だけにとどまりません。ドイツ、スイス、中国にある当社のプロセス・アプリケーション・ラボ(PAL)では、当社の専門エンジニアがお客様と密接に協力し、Heidelberg Instruments 装置の可能性を最大限に引き出すための包括的なトレーニングとサポートを提供しています。

世界中の一流企業、一流大学、著名な研究機関が、当社のマイクロ・ナノパターニング用システムの柔軟性と高度な機能に信頼を寄せています。当社の技術は、マイクロオプティクスとマイクロシステム技術、フォトニクス、エレクトロニクス、半導体とアドバンスドパッケージング、量子デバイス、MEMS、ナノ流体工学、生体医工学、2D材料など、さまざまな分野でのブレークスルーを可能にします。

マイクロまたはナノファブリケーションのニーズについては、今すぐお問い合わせください。

アプリケーション|テクノロジー|主な特徴

ニュースブログ

AI と HPC がモノリシック回路を時代遅れに押しやる中、業界はアドバンストパッケージングへと向かっています。しかし、ダイシフトや基板の反りなどの課題が、パッケージが工場を出る前に歩留まりを危険にさらします。ここに、マイクロエレクトロニクスの新たなヒーローが登場します──マスクレスリソグラフィです。適応的アライメントがどのようにしてチップレットの“生存”を保証し、次の日も計算を続けられるようにするのかをご紹介します。

なんて充実した一週間でしょう!9月15〜18日、私たちは英国サウサンプトンで開催された第51回 International Micro and Nano Engineering Conference(MNE 2025)にて、マイクロ/ナノファブリケーションのコミュニティとご一緒しました。

ハイデルベルク・インスツルメンツ・コリア(Heidelberg Instruments Korea) は、
お客様との信頼とパートナーシップの20周年を迎えました!
信頼、忠誠心、そして長期的な関係を基盤として、
ハイデルベルク・インスツルメンツ・コリアは、
地域のお客様に革新をもたらす上で重要な役割を果たし続けています。

当社のシステムポートフォリオ、主要機能、関連するコア技術、または応用例について、さらに詳しく知りたいですか?

年間を通じて展示会やカンファレンスでお会いしましょう。

上部へスクロール