Substrats de petite taille et non conventionnels

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  • De nombreuses applications nécessitent une lithographie sur des échantillons spéciaux autres que les formats standard de plaquettes et de masques. Nous avons acquis une grande expérience en matière d’exigences uniques pour différents substrats. Dans le domaine de la recherche, de petits morceaux de plaquettes sont couramment utilisés. C’est pourquoi notre gamme complète de produits R&D est spécialisée pour travailler facilement sur des échantillons aussi petits que quelques millimètres.

    D’autres applications nécessitent la lithographie sur des substrats non conventionnels tels que de longues tiges, des prismes ou même des surfaces incurvées. Si vos applications nécessitent des substrats inhabituels, n’hésitez pas à nous contacter.
    La plupart de nos systèmes standard peuvent déjà traiter une grande variété de substrats, et nous pouvons développer des systèmes sur mesure pour presque toutes les tailles et tous les types de substrats. Heidelberg Instruments fabrique les étages en interne, à notre siège de Heidelberg.

De nombreuses applications nécessitent une lithographie sur des échantillons spéciaux autres que les formats standard de plaquettes et de masques. Nous avons acquis une grande expérience en matière d’exigences uniques pour différents substrats. Dans le domaine de la recherche, de petits morceaux de plaquettes sont couramment utilisés. C’est pourquoi notre gamme complète de produits R&D est spécialisée pour travailler facilement sur des échantillons aussi petits que quelques millimètres.

D’autres applications nécessitent la lithographie sur des substrats non conventionnels tels que de longues tiges, des prismes ou même des surfaces incurvées. Si vos applications nécessitent des substrats inhabituels, n’hésitez pas à nous contacter.
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Images liées

Morceau de plaquette exposé avec succès, de quelques millimètres par côté. Grâce à l'autofocus optique, la qualité d'exposition est maintenue même sur les bords irréguliers.
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Structuration haute résolution d’un prisme cristallin poli à l’aide du NanoFrazor
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Des platines sur mesure de presque toutes tailles sont fabriquées en interne chez Heidelberg Instruments.
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Systèmes adaptés

NanoFrazor version de table

NanoFrazor

  • Système de lithographie par sonde à balayage thermique

Polyvalent et modulaire outil combiner Sonde de balayage thermique Lithographie, la sublimation sublimation laser directe et l’automatisation l’automatisation pour de pointede pointe. R&D.

DWL 66+

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  • Système de lithographie par laser à écriture directe

Notre système le plus polyvalent pour la recherche et le prototypage avec une résolution variable et un large choix d’options.

Aligneur sans masque de table µMLA

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  • Aligneur sans masque

Aligneur de table configurable et compact, sans masque, avec modules de balayage matriciel et d’exposition vectorielle.

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