Substrats de petite taille et non conventionnels

De nombreuses applications nécessitent une lithographie sur des échantillons spéciaux autres que les formats standard de plaquettes et de masques. Nous avons acquis une grande expérience en matière d’exigences uniques pour différents substrats. Dans le domaine de la recherche, de petits morceaux de plaquettes sont couramment utilisés. C’est pourquoi notre gamme complète de produits R&D est spécialisée pour travailler facilement sur des échantillons aussi petits que quelques millimètres.

D’autres applications nécessitent la lithographie sur des substrats non conventionnels tels que de longues tiges, des prismes ou même des surfaces incurvées. Si vos applications nécessitent des substrats inhabituels, n’hésitez pas à nous contacter.
La plupart de nos systèmes standard peuvent déjà traiter une grande variété de substrats, et nous pouvons développer des systèmes sur mesure pour presque toutes les tailles et tous les types de substrats. Heidelberg Instruments fabrique les étages en interne, à notre siège de Heidelberg.