Technologies de lithographie pour la microfabrication et la nanofabrication
Heidelberg Instruments développe des technologies de lithographie avancées pour la microfabrication et la nanofabrication, permettant un patronnage précis de l’échelle microscopique jusqu’à l’échelle nanoscopique. Notre portefeuille combine la lithographie laser sans masque pour un patronnage direct flexible avec la lithographie par sonde thermique (t-SPL) pour la nanolithographie ultra-haute résolution.
La lithographie laser sans masque permet un prototypage rapide, un placement précis des motifs et la lithographie en niveaux de gris sans nécessiter de photomasques. Cela la rend idéale pour la fabrication de microstructures complexes 2D et 2,5D, de micro-optiques, de MEMS et de dispositifs de recherche avancés.
Complétant cette approche, la plateforme NanoFrazor, basée sur la lithographie par sonde thermique, permet le nanopatronnage non invasif avec une précision inférieure à 10 nanomètres, combinant la nanolithographie en écriture directe avec l’inspection et la métrologie in situ sur le même outil.
Ensemble, ces technologies permettent la fabrication de micro- et nano-structures haute résolution, incluant des topographies complexes, des éléments à rapport d’aspect élevé et des structures sur des substrats petits ou non conventionnels, favorisant l’innovation en photonique, micro-optiques, nanotechnologie et recherche sur les matériaux avancés.
