Technologies de base

Le portefeuille technologique de Heidelberg Instruments comprend des systèmes de lithographie laser sans masque (MLA) de haute précision pour l’écriture directe de microstructures 2D et 2,5D, la fabrication de masques et les applications de lithographie laser avancée. En complément, notre NanoFrazor basé sur la lithographie par sonde à balayage thermique (t-SPL) permet de réaliser des nanopatterns de pointe avec une précision inégalée. Ensemble, ces technologies constituent la base de l’expertise fondamentale de Heidelberg Instruments en matière de micro- et nanofabrication.