Newsblog

Réduire l’écart avec la lithographie par faisceau d’électrons : le DWL 66+ atteint désormais des structures de 200 nm et un niveau de niveaux de gris inégalé

Combinaison d'une matrice de microlentilles de 20 µm de diamètre, d'un axicon vortex de Fresnel avec des angles de 22° à 45°, et du logo Heidelberg Instruments dans une résine de 10 µm d'épaisseur.

Aujourd’hui, nous sommes ravis d’annoncer une avancée majeure pour notre outil de recherche en lithographie par excellence. Le DWL 66+ est désormais plus performant que jamais, avec deux améliorations révolutionnaires qui redéfinissent les possibilités de la lithographie optique.

La frontière des 200 nm : combler l’écart avec la lithographie par faisceau d’électrons (E-Beam)

Pour les applications les plus exigeantes en photonique, microélectronique et dispositifs quantiques, atteindre la plus petite taille de structure possible est essentiel. Grâce au nouveau mode d’exposition XR, le DWL 66+ offre désormais une taille de structure minimale de 200 nm — la résolution la plus élevée de tous les systèmes laser à écriture directe disponibles sur le marché.

Cette avancée vous permet désormais de :

  • Fabriquer des structures plus fines et plus complexes que jamais.
  • Réaliser des tâches autrefois réservées à la coûteuse lithographie par faisceau d’électrons.
  • Accélérer considérablement vos cycles de développement et optimiser le flux de travail de votre laboratoire.

La puissance de la troisième dimension : 65 536 nuances de gris

La microfabrication moderne ne se limite pas aux motifs en deux dimensions. La capacité à créer des surfaces tridimensionnelles complexes et lisses est essentielle.

Le DWL 66+ amélioré relève ce défi grâce à sa capacité professionnelle en niveaux de gris, offrant désormais un nombre inédit de 65 536 niveaux d’exposition distincts. Cette précision incroyable vous permet de fabriquer des topographies 2,5D complexes, telles que des microlentilles ou des réseaux en éclairement, avec une qualité de surface exceptionnelle, même dans des résines jusqu’à 150 µm d’épaisseur. C’est la finesse dont vous avez besoin pour façonner la lumière avec des micro-optiques ou concevoir des microélectroniques complexes.

Flexibilité pour la recherche appliquée

Ces nouvelles fonctionnalités s’appuient sur la flexibilité éprouvée de la plateforme DWL 66+. En tant que système sans masque, il permet des modifications instantanées des designs et un prototypage rapide, éliminant ainsi les délais coûteux liés aux masques. Il prend en charge pratiquement tous les substrats — plats, courbés, standards ou exotiques.

Ce n’est pas seulement une mise à niveau ; c’est une porte ouverte vers de nouvelles possibilités en optique, photonique, dispositifs quantiques et bien plus encore.

Découvrez tout le potentiel du DWL 66+ amélioré sur notre page produit.

Partager :

Articles connexes

La lithographie sans masque offre une précision extrême d'alignement, essentielle pour les applications dans le domaine des capteurs : la fabrication des dispositifs SQUID peut comprendre jusqu'à 18 couches avec des structures à haute résolution. L'alignement entre les couches, crucial pour le rendement, est assuré automatiquement par la technologie de l'alignement sans masque (exemple impressionnant ici avec le MLA 150).

Au-delà de la théorie : l’ingénierie des dispositifs quantiques grâce à la lithographie de précision

La révolution quantique passe de la théorie à la réalité, comme le démontrent des percées telles que « Quantum Echoes » de Google.
Passer de petites démonstrations à des systèmes comportant des milliers de qubits exige une nanofabrication ultra-précise et uniforme.
Cet article examine les défis de fabrication et les solutions lithographiques qui permettent de faire le saut du laboratoire à la production à grande échelle.

Staff in Korean Office

2005-2025 : Heidelberg Instruments Korea fête ses 20 ans!

Heidelberg Instruments Korea célèbre ses 20 ans d’engagement et de partenariat avec ses clients !
Fondée sur la confiance, la fidélité et les relations à long terme, Heidelberg Instruments Korea continue de jouer un rôle essentiel dans la promotion de l’innovation auprès de ses clients locaux.

Retour en haut