VPG+ 1400 FPD / VPG+ 1850 FPD Générateurs de motifs volumétriques

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Conçue pour la production de masques photographiques sur de grands substrats dans les applications d'affichage

  • Description

  • Les modèles VPG+ 1400 FPD et VPG+ 1850 FPD allient une efficacité maximale à une qualité supérieure. Ces générateurs de motifs en série (Volume Pattern Generators) de pointe, destinés à la production à grand volume, sont utilisés par les fabricants de photomasques du monde entier. Il s’agit de nos plus grands systèmes spécialement conçus pour l’industrie des écrans et adaptés à la gravure à haut débit de photomasques de grande surface, jusqu’au format G8.6, avec une surface d’exposition maximale de 1 400 x 1 800 mm². Ils constituent la solution optimale pour les fabricants qui souhaitent se démarquer dans le secteur des écrans plats.

    Les VPG+ 1400 FPD et VPG+ 1850 FPD sont conçus pour des expositions rapides et de haute qualité avec un alignement extrêmement précis. Ils sont dotés d’un interféromètre différentiel avec une résolution allant jusqu’à 1,2 nm. L’optimisation Mura garantit une Uniformité du CD (dimension critique) et une Résolution excellentes, tandis que la chambre environnementale en boucle fermée est conforme aux exigences les plus strictes pour la fabrication de photomasques avancés.

    Améliorez votre fabrication de FPD

    • Des écrans d’une qualité irréprochable : Les modèles VPG+ 1400 FPD et VPG+ 1850 FPD sont optimisés pour la création de photomasques haute résolution – y compris les masques en demi-teintes – utilisés dans la production de composants clés des écrans plats (FPD), tels que les filtres couleur (CF), les matrices de transistors à couche mince (TFT), les électrodes en oxyde d’indium-étain (ITO), les écrans tactiles (TP), les masques métalliques fins (FMM), les diodes électroluminescentes organiques à matrice active (AMOLED), ou d’autres couches liées aux écrans à cristaux liquides (LCD) et aux diodes électroluminescentes organiques (OLED).
    • Débit exceptionnel : les capacités de débit exceptionnelles des systèmes VPG+ garantissent une production rapide de masques, ce qui vous permet de répondre aux exigences de la fabrication d’écrans en grande série et d’optimiser votre chaîne de production.
    • Précision et fiabilité optimales : les modèles VPG+ 1400 FPD et VPG+ 1850 FPD offrent la précision et la résolution nécessaires à la création de motifs complexes sur des masques grand format, garantissant ainsi un transfert impeccable de vos créations. Ils fonctionnent de manière fiable 24 heures sur 24, 7 jours sur 7, pour des délais de livraison prévisibles.
    • Métrologie avancée: Ensemble de métrologie inclus et fonctions de correspondance d’outils pour des capacités d’alignement précis du second niveau utilisées dans la production de masques gris de grande surface.

    Maximiser les performances

    • Le moteur d’exposition ultra-rapide et le laser DPSS haute puissance réduisent considérablement les temps d’écriture, ce qui vous permet de produire des masques plus rapidement et de maximiser votre production.
    • Les systèmes VPG+ se caractérisent par une excellente résolution inférieure au µm et une qualité d’image exceptionnelle, garantissant le transfert précis de vos motifs de conception sur la photomasque pour des Écrans sans défaut.
    • L’outil de calibrage automatique rationalise votre flux de travail en garantissant un enregistrement et un positionnement superbes des structures écrites, ce qui vous permet de gagner du temps et de minimiser les erreurs.
    • La platine de précision grand format à vide flexible peut accueillir des substrats allant jusqu’à 1850 mm, ce qui la rend idéale pour répondre aux exigences des photomasques d’affichage de moyenne et grande taille.
    • La chambre environnementale en circuit fermé maintient des conditions optimales tout au long du processus, ce qui garantit une qualité constante des masques, cycle après cycle.
    • Les modèles VPG+ 1400 FPD et VPG+ 1850 FPD prennent en charge tous les formats de données industriels, ce qui permet une intégration aisée dans vos processus de conception et de fabrication existants.

    Investissez dans l’avenir de la technologie d’affichage

    Les VPG+ 1400 FPD et VPG+ 1850 FPD constituent un investissement dans l’avenir de vos capacités de production d’Écrans. En les intégrant à votre production, vous pouvez atteindre les objectifs suivants:

    • Qualité exceptionnelle du masque pour une performance d’affichage sans faille.
    • Débit élevé pour la production de grands volumes d’écrans et une rentabilité accrue.
    • Des coûts de production réduits à un prix d’outil très économique.
    • Fonctionnement efficace de l’outil et fiabilité des performances.
    • Une technologie à l’épreuve du temps qui s’adapte aux exigences des écrans de la prochaine génération.

    Complétez votre fabrication d’Écrans avec un outil très économique. Contactez-nous pour découvrir comment les systèmes VPG+ peuvent accélérer votre production de photomasques.

    Les modèles VPG+ 1400 FPD et VPG+ 1850 FPD allient une efficacité maximale à une qualité supérieure. Ces générateurs de motifs en série (Volume Pattern Generators) de pointe, destinés à la production à grand volume, sont utilisés par les fabricants de photomasques du monde entier. Il s’agit de nos plus grands systèmes spécialement conçus pour l’industrie des écrans et adaptés à la gravure à haut débit de photomasques de grande surface, jusqu’au format G8.6, avec une surface d’exposition maximale de 1 400 x 1 800 mm². Ils constituent la solution optimale pour les fabricants qui souhaitent se démarquer dans le secteur des écrans plats.

    Les VPG+ 1400 FPD et VPG+ 1850 FPD sont conçus pour des expositions rapides et de haute qualité avec un alignement extrêmement précis. Ils sont dotés d’un interféromètre différentiel avec une résolution allant jusqu’à 1,2 nm. L’optimisation Mura garantit une Uniformité du CD (dimension critique) et une Résolution excellentes, tandis que la chambre environnementale en boucle fermée est conforme aux exigences les plus strictes pour la fabrication de photomasques avancés.

    Améliorez votre fabrication de FPD

    • Des écrans d’une qualité irréprochable : Les modèles VPG+ 1400 FPD et VPG+ 1850 FPD sont optimisés pour la création de photomasques haute résolution – y compris les masques en demi-teintes – utilisés dans la production de composants clés des écrans plats (FPD), tels que les filtres couleur (CF), les matrices de transistors à couche mince (TFT), les électrodes en oxyde d’indium-étain (ITO), les écrans tactiles (TP), les masques métalliques fins (FMM), les diodes électroluminescentes organiques à matrice active (AMOLED), ou d’autres couches liées aux écrans à cristaux liquides (LCD) et aux diodes électroluminescentes organiques (OLED).
    • Débit exceptionnel : les capacités de débit exceptionnelles des systèmes VPG+ garantissent une production rapide de masques, ce qui vous permet de répondre aux exigences de la fabrication d’écrans en grande série et d’optimiser votre chaîne de production.
    • Précision et fiabilité optimales : les modèles VPG+ 1400 FPD et VPG+ 1850 FPD offrent la précision et la résolution nécessaires à la création de motifs complexes sur des masques grand format, garantissant ainsi un transfert impeccable de vos créations. Ils fonctionnent de manière fiable 24 heures sur 24, 7 jours sur 7, pour des délais de livraison prévisibles.
    • Métrologie avancée: Ensemble de métrologie inclus et fonctions de correspondance d’outils pour des capacités d’alignement précis du second niveau utilisées dans la production de masques gris de grande surface.

    Maximiser les performances

    • Le moteur d’exposition ultra-rapide et le laser DPSS haute puissance réduisent considérablement les temps d’écriture, ce qui vous permet de produire des masques plus rapidement et de maximiser votre production.
    • Les systèmes VPG+ se caractérisent par une excellente résolution inférieure au µm et une qualité d’image exceptionnelle, garantissant le transfert précis de vos motifs de conception sur la photomasque pour des Écrans sans défaut.
    • L’outil de calibrage automatique rationalise votre flux de travail en garantissant un enregistrement et un positionnement superbes des structures écrites, ce qui vous permet de gagner du temps et de minimiser les erreurs.
    • La platine de précision grand format à vide flexible peut accueillir des substrats allant jusqu’à 1850 mm, ce qui la rend idéale pour répondre aux exigences des photomasques d’affichage de moyenne et grande taille.
    • La chambre environnementale en circuit fermé maintient des conditions optimales tout au long du processus, ce qui garantit une qualité constante des masques, cycle après cycle.
    • Les modèles VPG+ 1400 FPD et VPG+ 1850 FPD prennent en charge tous les formats de données industriels, ce qui permet une intégration aisée dans vos processus de conception et de fabrication existants.

    Investissez dans l’avenir de la technologie d’affichage

    Les VPG+ 1400 FPD et VPG+ 1850 FPD constituent un investissement dans l’avenir de vos capacités de production d’Écrans. En les intégrant à votre production, vous pouvez atteindre les objectifs suivants:

    • Qualité exceptionnelle du masque pour une performance d’affichage sans faille.
    • Débit élevé pour la production de grands volumes d’écrans et une rentabilité accrue.
    • Des coûts de production réduits à un prix d’outil très économique.
    • Fonctionnement efficace de l’outil et fiabilité des performances.
    • Une technologie à l’épreuve du temps qui s’adapte aux exigences des écrans de la prochaine génération.

    Complétez votre fabrication d’Écrans avec un outil très économique. Contactez-nous pour découvrir comment les systèmes VPG+ peuvent accélérer votre production de photomasques.

  • Points forts

  • Qualité de l'exposition

    Rugosité des bords 20 nm ; Uniformité CD locale 50 nm ; Grille d’adressage 8 nm ; Correction Mura ; Détection des bords.

    Stabilité de l'écriture

    Chambre climatique très stable, compensations climatiques en temps réel et corrections logicielles pour toutes les variations environnementales.

    Alignement automatisé

    Ensemble de métrologie avec alignement global et champ par champ automatisé avec correction de la distorsion. Matrice de correction 2D sophistiquée pour l’étalonnage de la position de la platine et l’adaptation de l’outil.

    Évolutivité

    S’adapte facilement à toutes les tailles, des petites et moyennes jusqu’aux photomasques d’Écrans G8.6.

    Contrôle Mura

    Optimisation du pitch et du panel.

  • Modules disponibles

  • Manipulation des masques photographiques

    Chargement semi-automatique du substrat.

    Personnalisation

    Supports spéciaux, chargeur ou traitement des masques sur demande.

Les modèles VPG+ 1400 FPD et VPG+ 1850 FPD allient une efficacité maximale à une qualité supérieure. Ces générateurs de motifs en série (Volume Pattern Generators) de pointe, destinés à la production à grand volume, sont utilisés par les fabricants de photomasques du monde entier. Il s’agit de nos plus grands systèmes spécialement conçus pour l’industrie des écrans et adaptés à la gravure à haut débit de photomasques de grande surface, jusqu’au format G8.6, avec une surface d’exposition maximale de 1 400 x 1 800 mm². Ils constituent la solution optimale pour les fabricants qui souhaitent se démarquer dans le secteur des écrans plats.

Les VPG+ 1400 FPD et VPG+ 1850 FPD sont conçus pour des expositions rapides et de haute qualité avec un alignement extrêmement précis. Ils sont dotés d’un interféromètre différentiel avec une résolution allant jusqu’à 1,2 nm. L’optimisation Mura garantit une Uniformité du CD (dimension critique) et une Résolution excellentes, tandis que la chambre environnementale en boucle fermée est conforme aux exigences les plus strictes pour la fabrication de photomasques avancés.

Améliorez votre fabrication de FPD

  • Des écrans d’une qualité irréprochable : Les modèles VPG+ 1400 FPD et VPG+ 1850 FPD sont optimisés pour la création de photomasques haute résolution – y compris les masques en demi-teintes – utilisés dans la production de composants clés des écrans plats (FPD), tels que les filtres couleur (CF), les matrices de transistors à couche mince (TFT), les électrodes en oxyde d’indium-étain (ITO), les écrans tactiles (TP), les masques métalliques fins (FMM), les diodes électroluminescentes organiques à matrice active (AMOLED), ou d’autres couches liées aux écrans à cristaux liquides (LCD) et aux diodes électroluminescentes organiques (OLED).
  • Débit exceptionnel : les capacités de débit exceptionnelles des systèmes VPG+ garantissent une production rapide de masques, ce qui vous permet de répondre aux exigences de la fabrication d’écrans en grande série et d’optimiser votre chaîne de production.
  • Précision et fiabilité optimales : les modèles VPG+ 1400 FPD et VPG+ 1850 FPD offrent la précision et la résolution nécessaires à la création de motifs complexes sur des masques grand format, garantissant ainsi un transfert impeccable de vos créations. Ils fonctionnent de manière fiable 24 heures sur 24, 7 jours sur 7, pour des délais de livraison prévisibles.
  • Métrologie avancée: Ensemble de métrologie inclus et fonctions de correspondance d’outils pour des capacités d’alignement précis du second niveau utilisées dans la production de masques gris de grande surface.

Maximiser les performances

  • Le moteur d’exposition ultra-rapide et le laser DPSS haute puissance réduisent considérablement les temps d’écriture, ce qui vous permet de produire des masques plus rapidement et de maximiser votre production.
  • Les systèmes VPG+ se caractérisent par une excellente résolution inférieure au µm et une qualité d’image exceptionnelle, garantissant le transfert précis de vos motifs de conception sur la photomasque pour des Écrans sans défaut.
  • L’outil de calibrage automatique rationalise votre flux de travail en garantissant un enregistrement et un positionnement superbes des structures écrites, ce qui vous permet de gagner du temps et de minimiser les erreurs.
  • La platine de précision grand format à vide flexible peut accueillir des substrats allant jusqu’à 1850 mm, ce qui la rend idéale pour répondre aux exigences des photomasques d’affichage de moyenne et grande taille.
  • La chambre environnementale en circuit fermé maintient des conditions optimales tout au long du processus, ce qui garantit une qualité constante des masques, cycle après cycle.
  • Les modèles VPG+ 1400 FPD et VPG+ 1850 FPD prennent en charge tous les formats de données industriels, ce qui permet une intégration aisée dans vos processus de conception et de fabrication existants.

Investissez dans l’avenir de la technologie d’affichage

Les VPG+ 1400 FPD et VPG+ 1850 FPD constituent un investissement dans l’avenir de vos capacités de production d’Écrans. En les intégrant à votre production, vous pouvez atteindre les objectifs suivants:

  • Qualité exceptionnelle du masque pour une performance d’affichage sans faille.
  • Débit élevé pour la production de grands volumes d’écrans et une rentabilité accrue.
  • Des coûts de production réduits à un prix d’outil très économique.
  • Fonctionnement efficace de l’outil et fiabilité des performances.
  • Une technologie à l’épreuve du temps qui s’adapte aux exigences des écrans de la prochaine génération.

Complétez votre fabrication d’Écrans avec un outil très économique. Contactez-nous pour découvrir comment les systèmes VPG+ peuvent accélérer votre production de photomasques.

Les modèles VPG+ 1400 FPD et VPG+ 1850 FPD allient une efficacité maximale à une qualité supérieure. Ces générateurs de motifs en série (Volume Pattern Generators) de pointe, destinés à la production à grand volume, sont utilisés par les fabricants de photomasques du monde entier. Il s’agit de nos plus grands systèmes spécialement conçus pour l’industrie des écrans et adaptés à la gravure à haut débit de photomasques de grande surface, jusqu’au format G8.6, avec une surface d’exposition maximale de 1 400 x 1 800 mm². Ils constituent la solution optimale pour les fabricants qui souhaitent se démarquer dans le secteur des écrans plats.

Les VPG+ 1400 FPD et VPG+ 1850 FPD sont conçus pour des expositions rapides et de haute qualité avec un alignement extrêmement précis. Ils sont dotés d’un interféromètre différentiel avec une résolution allant jusqu’à 1,2 nm. L’optimisation Mura garantit une Uniformité du CD (dimension critique) et une Résolution excellentes, tandis que la chambre environnementale en boucle fermée est conforme aux exigences les plus strictes pour la fabrication de photomasques avancés.

Améliorez votre fabrication de FPD

  • Des écrans d’une qualité irréprochable : Les modèles VPG+ 1400 FPD et VPG+ 1850 FPD sont optimisés pour la création de photomasques haute résolution – y compris les masques en demi-teintes – utilisés dans la production de composants clés des écrans plats (FPD), tels que les filtres couleur (CF), les matrices de transistors à couche mince (TFT), les électrodes en oxyde d’indium-étain (ITO), les écrans tactiles (TP), les masques métalliques fins (FMM), les diodes électroluminescentes organiques à matrice active (AMOLED), ou d’autres couches liées aux écrans à cristaux liquides (LCD) et aux diodes électroluminescentes organiques (OLED).
  • Débit exceptionnel : les capacités de débit exceptionnelles des systèmes VPG+ garantissent une production rapide de masques, ce qui vous permet de répondre aux exigences de la fabrication d’écrans en grande série et d’optimiser votre chaîne de production.
  • Précision et fiabilité optimales : les modèles VPG+ 1400 FPD et VPG+ 1850 FPD offrent la précision et la résolution nécessaires à la création de motifs complexes sur des masques grand format, garantissant ainsi un transfert impeccable de vos créations. Ils fonctionnent de manière fiable 24 heures sur 24, 7 jours sur 7, pour des délais de livraison prévisibles.
  • Métrologie avancée: Ensemble de métrologie inclus et fonctions de correspondance d’outils pour des capacités d’alignement précis du second niveau utilisées dans la production de masques gris de grande surface.

Maximiser les performances

  • Le moteur d’exposition ultra-rapide et le laser DPSS haute puissance réduisent considérablement les temps d’écriture, ce qui vous permet de produire des masques plus rapidement et de maximiser votre production.
  • Les systèmes VPG+ se caractérisent par une excellente résolution inférieure au µm et une qualité d’image exceptionnelle, garantissant le transfert précis de vos motifs de conception sur la photomasque pour des Écrans sans défaut.
  • L’outil de calibrage automatique rationalise votre flux de travail en garantissant un enregistrement et un positionnement superbes des structures écrites, ce qui vous permet de gagner du temps et de minimiser les erreurs.
  • La platine de précision grand format à vide flexible peut accueillir des substrats allant jusqu’à 1850 mm, ce qui la rend idéale pour répondre aux exigences des photomasques d’affichage de moyenne et grande taille.
  • La chambre environnementale en circuit fermé maintient des conditions optimales tout au long du processus, ce qui garantit une qualité constante des masques, cycle après cycle.
  • Les modèles VPG+ 1400 FPD et VPG+ 1850 FPD prennent en charge tous les formats de données industriels, ce qui permet une intégration aisée dans vos processus de conception et de fabrication existants.

Investissez dans l’avenir de la technologie d’affichage

Les VPG+ 1400 FPD et VPG+ 1850 FPD constituent un investissement dans l’avenir de vos capacités de production d’Écrans. En les intégrant à votre production, vous pouvez atteindre les objectifs suivants:

  • Qualité exceptionnelle du masque pour une performance d’affichage sans faille.
  • Débit élevé pour la production de grands volumes d’écrans et une rentabilité accrue.
  • Des coûts de production réduits à un prix d’outil très économique.
  • Fonctionnement efficace de l’outil et fiabilité des performances.
  • Une technologie à l’épreuve du temps qui s’adapte aux exigences des écrans de la prochaine génération.

Complétez votre fabrication d’Écrans avec un outil très économique. Contactez-nous pour découvrir comment les systèmes VPG+ peuvent accélérer votre production de photomasques.

Qualité de l'exposition

Rugosité des bords 20 nm ; Uniformité CD locale 50 nm ; Grille d’adressage 8 nm ; Correction Mura ; Détection des bords.

Stabilité de l'écriture

Chambre climatique très stable, compensations climatiques en temps réel et corrections logicielles pour toutes les variations environnementales.

Alignement automatisé

Ensemble de métrologie avec alignement global et champ par champ automatisé avec correction de la distorsion. Matrice de correction 2D sophistiquée pour l’étalonnage de la position de la platine et l’adaptation de l’outil.

Évolutivité

S’adapte facilement à toutes les tailles, des petites et moyennes jusqu’aux photomasques d’Écrans G8.6.

Contrôle Mura

Optimisation du pitch et du panel.

Manipulation des masques photographiques

Chargement semi-automatique du substrat.

Personnalisation

Supports spéciaux, chargeur ou traitement des masques sur demande.

Applications clients

Production de masques VPG 1400
Depuis 2007, la gamme VPG et ses successeurs VPG+ se sont imposés comme la solution idéale pour la production en volume élevé de photomasques exigeants — notamment pour le packaging électronique, les filtres colorés, les LED et les écrans tactiles. En tant que master pour la fabrication photolithographique, ces photomasques doivent répondre à des exigences très strictes sur l’uniformité de largeur des lignes, la précision de positionnement, la rugosité des bords et la taille minimale des motifs.
La série VPG+ est compatible avec toutes les applications liées aux écrans. Dans ce domaine, les exigences en matière de photomasques sont particulièrement strictes. Une spécification clé est l’état dit « Mura », qui décrit les irrégularités résultant de toute perturbation dans un motif périodique régulier. Si la condition Mura n’est pas respectée, l’écran final peut présenter des taches sombres ou des zones de non-uniformité. La série V de lithographie sans masque offre une fonction d’optimisation Mura spécifique pour garantir une bonne condition Mura, une excellente uniformité de CD et une haute résolution.
La série VPG+ est compatible avec toutes les applications liées aux écrans. Dans ce domaine, les exigences en matière de photomasques sont particulièrement strictes. Une spécification clé est l’état dit « Mura », qui décrit les irrégularités résultant de toute perturbation dans un motif périodique régulier. Si la condition Mura n’est pas respectée, l’écran final peut présenter des taches sombres ou des zones de non-uniformité. La série V de lithographie sans masque offre une fonction d’optimisation Mura spécifique pour garantir une bonne condition Mura, une excellente uniformité de CD et une haute résolution.
Motif pour application d'affichage sur masque chrome après gravure et retrait de résine
Motif de test pour application d'affichage sur masque chrome après gravure et retrait de résine
Motif d’application d’affichage sur masque chrome après gravure et retrait de résine
Motif d’application d’affichage sur masque chrome après gravure et retrait de résine
Motif d’application d’affichage sur masque chrome après gravure et retrait de résine
Motif d’application d’affichage sur masque chrome après gravure et retrait de résine
Motif d’application d’affichage sur masque chrome après gravure et retrait de résine
Motif d’application d’affichage sur masque chrome après gravure et retrait de résine
Motif d’application d’affichage sur masque chrome après gravure et retrait de résine
Motif d’application d’affichage sur masque chrome après gravure et retrait de résine
Motif d’application d’affichage sur masque chrome après gravure et retrait de résine
Motif d’application d’affichage sur masque chrome après gravure et retrait de résine
Motif d’application d’affichage sur masque chrome après gravure et retrait de résine
Motif d’application d’affichage sur masque chrome après gravure et retrait de résine

Pourquoi les clients choisissent nos systèmes

"Le VPG nous permet de réaliser des lignes de cuivre et des interconnexions puce à puce d'une taille inférieure à 1 µm, ce qui est trois fois plus petit que lors de l'utilisation du processus conventionnel d'alignement des masques."

Markus Wöhrmann
Chef de groupe Lithographie et polymères en couches minces pour l'emballage au niveau de la plaquette
Institut Fraunhofer pour la micro-intégration et la fiabilité
Berlin, Allemagne

"Au TNO @ Holst Centre, le VPG Heidelberg Instruments joue un rôle essentiel dans nos efforts de recherche et de développement en nous permettant d'effectuer rapidement des itérations de conception et de développer et d'optimiser les flux de processus de fabrication de ces conceptions".

Auke Jisk Kronemeijer
Directeur de recherche en électronique des couches minces
TNO @ Holst Centre
Eindhoven, Pays-Bas

Données techniques

Mode écritureQXFXFX
Performance en matière d'écritureHaute qualitéHaut débitHaut débit
Taille minimale de la structure [μm]0.811
Grille d'adresse [nm]888
Rugosité des bords [3σ, nm]204040
Uniformité du CD (dimension critique) [3σ, nm]5070
Uniformité du CD (dimension critique) [3σ, nm]5025070
Superposition de plaque à plaque (G8) [3σ, nm]40250
Couture [3σ, nm]4010050
Alignement du second niveau (1000 x 1000 mm²) [moyenne+3σ nm]1375400
Vitesse d'écriture [mm²/min]14502900
Caractéristiques du système
Source lumineuseLaser DPSS haute puissance de 355 nm
Taille maximale de substrat1400 x 1500 mm² (VPG+ 1400 FPD) / 1400 x 1850 mm² (VPG+ 1850 FPD)
Épaisseur du substrat0 à 15 mm
Zone d'exposition maximale1400 x 1400 mm² (VPG+ 1400 FPD) / 1400 x 1800 mm² (VPG+ 1850 FPD)
AutofocusSystème d'autofocus en temps réel (optique et pneumatique)
Plage de compensation de l'autofocus250 µm
AutomatisationSystème de chargement semi-automatique
FlowboxChambre environnementale à température contrôlée en circuit fermé
Alignement Système de caméra pour la métrologie et l'alignement
Autres caractéristiquesLogiciel de correction matricielle pour l'étalonnage de la position de la scène, optimisation du pas de Mura et du panneau , système de détection des bords, plusieurs formats d'entrée de données (fichiers DXF, CIF, GDSII et Gerber).
Dimensions du système
Unité principale (portes fermées, chargeur déployé)
Largeur [mm]5370
Profondeur [mm]7000
Hauteur [mm]2800
Poids [kg]25000
Exigences en matière d'installation
Électricité400 VAC ± 5 %, 50/60 Hz, 32 A
Air comprimé8 - 10 bars

Veuillez noter
Les spécifications dépendent des conditions individuelles du processus et peuvent varier en fonction de la configuration de l’équipement. La vitesse d’écriture dépend de la taille des pixels et du mode d’écriture. La conception et les spécifications peuvent être modifiées sans préavis.

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