VPG+ 1400 FPD

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Conçue pour la production de masques photographiques sur de grands substrats dans les applications d'affichage

  • Description du produit

  • Le VPG+ 1400 FPD allie efficacité et qualité supérieure. Il s’agit du générateur de modèles en volume le plus performant pour la production en grande quantité, utilisé par les fabricants de masques photographiques du monde entier. Il s’agit de notre plus grand système spécialement conçu pour l’industrie de l’affichage et adapté au modelage à haut débit de photomasques de grande surface (1,4 m). Il est optimal pour les applications d’écrans plats (FPD), spécialement conçu pour traiter les substrats grand format, ce qui en fait une solution idéale pour les fabricants qui cherchent à exceller dans l’industrie de l’affichage.

    Le programme VPG+ Le 1400 FPD est conçu pour des expositions rapides et de haute qualité avec un alignement extrêmement précis. Il est équipé d’un interféromètre différentiel avec une résolution allant jusqu’à 1,2 nm. L’optimisation Mura garantit une uniformité et une résolution CD excellentes, tandis que la chambre environnementale en boucle fermée est conforme aux exigences les plus strictes en matière de fabrication de masques photographiques avancés.

    Améliorez votre fabrication de FPD

    • Des écrans impeccables: Le VPG+ 1400 FPD est votre guichet unique pour la création de photomasques haute résolution utilisés dans la production de composants d’affichage clés tels que les matrices TFT, les filtres de couleur et les électrodes d’oxyde d’indium et d’étain (ITO). Obtenez la précision et la qualité qu’exigent vos écrans de nouvelle génération.
    • Un débit exceptionnel: Les capacités de production exceptionnelles du VPG+ 1400 FPD garantissent une production rapide des masques, ce qui vous permet de répondre aux exigences de la fabrication d’écrans en grand volume et d’optimiser votre chaîne de production.
    • Précision et fiabilité maximales: Le VPG+ 1400 FPD offre la précision et la résolution nécessaires à la création de motifs complexes sur des masques grand format, garantissant un transfert sans faille de vos dessins. Il fonctionne de manière fiable 24 heures sur 24, 7 jours sur 7, pour des délais de livraison prévisibles.
    • Métrologie avancée: Ensemble de métrologie inclus et fonctions de correspondance d’outils pour des capacités d’alignement précis de la deuxième couche utilisées dans la production de masques en gris-gris sur de grandes surfaces.

    Maximiser les performances

    • Le moteur d’exposition ultra-rapide et le laser DPSS haute puissance réduisent considérablement les temps d’écriture, ce qui vous permet de produire des masques plus rapidement et de maximiser votre production.
    • Le VPG+ 1400 FPD offre une excellente résolution sub-µm et une excellente qualité d’image, garantissant le transfert précis de vos motifs sur le photomasque pour des affichages impeccables.
    • L’outil de calibrage automatique rationalise votre flux de travail en garantissant un enregistrement et un positionnement parfaits des structures écrites, ce qui vous permet de gagner du temps et de minimiser les erreurs.
    • La platine de précision grand format à vide flexible peut accueillir des substrats allant jusqu’à 1400 mm, ce qui la rend idéale pour répondre aux exigences des photomasques d’affichage de moyenne et grande taille.
    • La chambre environnementale en circuit fermé maintient des conditions optimales tout au long du processus, ce qui garantit une qualité constante des masques, cycle après cycle.
    • Le VPG+ 1400 FPD prend en charge tous les formats de données industriels, ce qui permet une intégration aisée dans vos processus de conception et de fabrication existants.

    Investissez dans l’avenir de la technologie d’affichage

    Le VPG+ 1400 FPD est un investissement dans l’avenir de vos capacités de production d’écrans. En l’intégrant à votre production, vous pouvez atteindre les objectifs suivants :

    • Qualité exceptionnelle du masque pour une performance d’affichage sans faille.
    • Débit élevé pour la production de grands volumes d’écrans et une rentabilité accrue.
    • Des coûts de production réduits à un prix d’outil très économique.
    • Fonctionnement efficace de l’outil et fiabilité des performances.
    • Une technologie à l’épreuve du temps qui s’adapte aux exigences des écrans de la prochaine génération.

    Complétez votre production d’écrans avec un outil très économique. Contactez-nous pour découvrir comment le VPG+ 1400 peut accélérer votre production de photomasques.

    Le VPG+ 1400 FPD allie efficacité et qualité supérieure. Il s’agit du générateur de modèles en volume le plus performant pour la production en grande quantité, utilisé par les fabricants de masques photographiques du monde entier. Il s’agit de notre plus grand système spécialement conçu pour l’industrie de l’affichage et adapté au modelage à haut débit de photomasques de grande surface (1,4 m). Il est optimal pour les applications d’écrans plats (FPD), spécialement conçu pour traiter les substrats grand format, ce qui en fait une solution idéale pour les fabricants qui cherchent à exceller dans l’industrie de l’affichage.

    Le programme VPG+ Le 1400 FPD est conçu pour des expositions rapides et de haute qualité avec un alignement extrêmement précis. Il est équipé d’un interféromètre différentiel avec une résolution allant jusqu’à 1,2 nm. L’optimisation Mura garantit une uniformité et une résolution CD excellentes, tandis que la chambre environnementale en boucle fermée est conforme aux exigences les plus strictes en matière de fabrication de masques photographiques avancés.

    Améliorez votre fabrication de FPD

    • Des écrans impeccables: Le VPG+ 1400 FPD est votre guichet unique pour la création de photomasques haute résolution utilisés dans la production de composants d’affichage clés tels que les matrices TFT, les filtres de couleur et les électrodes d’oxyde d’indium et d’étain (ITO). Obtenez la précision et la qualité qu’exigent vos écrans de nouvelle génération.
    • Un débit exceptionnel: Les capacités de production exceptionnelles du VPG+ 1400 FPD garantissent une production rapide des masques, ce qui vous permet de répondre aux exigences de la fabrication d’écrans en grand volume et d’optimiser votre chaîne de production.
    • Précision et fiabilité maximales: Le VPG+ 1400 FPD offre la précision et la résolution nécessaires à la création de motifs complexes sur des masques grand format, garantissant un transfert sans faille de vos dessins. Il fonctionne de manière fiable 24 heures sur 24, 7 jours sur 7, pour des délais de livraison prévisibles.
    • Métrologie avancée: Ensemble de métrologie inclus et fonctions de correspondance d’outils pour des capacités d’alignement précis de la deuxième couche utilisées dans la production de masques en gris-gris sur de grandes surfaces.

    Maximiser les performances

    • Le moteur d’exposition ultra-rapide et le laser DPSS haute puissance réduisent considérablement les temps d’écriture, ce qui vous permet de produire des masques plus rapidement et de maximiser votre production.
    • Le VPG+ 1400 FPD offre une excellente résolution sub-µm et une excellente qualité d’image, garantissant le transfert précis de vos motifs sur le photomasque pour des affichages impeccables.
    • L’outil de calibrage automatique rationalise votre flux de travail en garantissant un enregistrement et un positionnement parfaits des structures écrites, ce qui vous permet de gagner du temps et de minimiser les erreurs.
    • La platine de précision grand format à vide flexible peut accueillir des substrats allant jusqu’à 1400 mm, ce qui la rend idéale pour répondre aux exigences des photomasques d’affichage de moyenne et grande taille.
    • La chambre environnementale en circuit fermé maintient des conditions optimales tout au long du processus, ce qui garantit une qualité constante des masques, cycle après cycle.
    • Le VPG+ 1400 FPD prend en charge tous les formats de données industriels, ce qui permet une intégration aisée dans vos processus de conception et de fabrication existants.

    Investissez dans l’avenir de la technologie d’affichage

    Le VPG+ 1400 FPD est un investissement dans l’avenir de vos capacités de production d’écrans. En l’intégrant à votre production, vous pouvez atteindre les objectifs suivants :

    • Qualité exceptionnelle du masque pour une performance d’affichage sans faille.
    • Débit élevé pour la production de grands volumes d’écrans et une rentabilité accrue.
    • Des coûts de production réduits à un prix d’outil très économique.
    • Fonctionnement efficace de l’outil et fiabilité des performances.
    • Une technologie à l’épreuve du temps qui s’adapte aux exigences des écrans de la prochaine génération.

    Complétez votre production d’écrans avec un outil très économique. Contactez-nous pour découvrir comment le VPG+ 1400 peut accélérer votre production de photomasques.

  • Points forts du produit

  • Qualité de l'exposition

    Rugosité des bords 20 nm ; uniformité CD locale 50 nm ; grille d’adresse 8 nm ; correction Mura, détection des bords.

    Stabilité de l'écriture

    Chambre climatique très stable, compensations climatiques en temps réel et corrections logicielles pour toutes les variations environnementales.

    Alignement automatisé

    Progiciel de métrologie avec alignement global et champ par champ automatisé avec correction de la distorsion. Matrice de correction 2D sophistiquée pour l’étalonnage de la position de la platine et l’adaptation de l’outil.

    Évolutivité

    S’adapte facilement à toutes les tailles de photomasques, des plus petits et moyens aux plus grands.

    Contrôle Mura

    Optimisation du pitch et du panel.

  • Modules disponibles

  • Manipulation des masques photographiques

    Chargement semi-automatique du substrat.

    Personnalisation

    Supports spéciaux, chargeur ou traitement des masques sur demande.

Le VPG+ 1400 FPD allie efficacité et qualité supérieure. Il s’agit du générateur de modèles en volume le plus performant pour la production en grande quantité, utilisé par les fabricants de masques photographiques du monde entier. Il s’agit de notre plus grand système spécialement conçu pour l’industrie de l’affichage et adapté au modelage à haut débit de photomasques de grande surface (1,4 m). Il est optimal pour les applications d’écrans plats (FPD), spécialement conçu pour traiter les substrats grand format, ce qui en fait une solution idéale pour les fabricants qui cherchent à exceller dans l’industrie de l’affichage.

Le programme VPG+ Le 1400 FPD est conçu pour des expositions rapides et de haute qualité avec un alignement extrêmement précis. Il est équipé d’un interféromètre différentiel avec une résolution allant jusqu’à 1,2 nm. L’optimisation Mura garantit une uniformité et une résolution CD excellentes, tandis que la chambre environnementale en boucle fermée est conforme aux exigences les plus strictes en matière de fabrication de masques photographiques avancés.

Améliorez votre fabrication de FPD

  • Des écrans impeccables: Le VPG+ 1400 FPD est votre guichet unique pour la création de photomasques haute résolution utilisés dans la production de composants d’affichage clés tels que les matrices TFT, les filtres de couleur et les électrodes d’oxyde d’indium et d’étain (ITO). Obtenez la précision et la qualité qu’exigent vos écrans de nouvelle génération.
  • Un débit exceptionnel: Les capacités de production exceptionnelles du VPG+ 1400 FPD garantissent une production rapide des masques, ce qui vous permet de répondre aux exigences de la fabrication d’écrans en grand volume et d’optimiser votre chaîne de production.
  • Précision et fiabilité maximales: Le VPG+ 1400 FPD offre la précision et la résolution nécessaires à la création de motifs complexes sur des masques grand format, garantissant un transfert sans faille de vos dessins. Il fonctionne de manière fiable 24 heures sur 24, 7 jours sur 7, pour des délais de livraison prévisibles.
  • Métrologie avancée: Ensemble de métrologie inclus et fonctions de correspondance d’outils pour des capacités d’alignement précis de la deuxième couche utilisées dans la production de masques en gris-gris sur de grandes surfaces.

Maximiser les performances

  • Le moteur d’exposition ultra-rapide et le laser DPSS haute puissance réduisent considérablement les temps d’écriture, ce qui vous permet de produire des masques plus rapidement et de maximiser votre production.
  • Le VPG+ 1400 FPD offre une excellente résolution sub-µm et une excellente qualité d’image, garantissant le transfert précis de vos motifs sur le photomasque pour des affichages impeccables.
  • L’outil de calibrage automatique rationalise votre flux de travail en garantissant un enregistrement et un positionnement parfaits des structures écrites, ce qui vous permet de gagner du temps et de minimiser les erreurs.
  • La platine de précision grand format à vide flexible peut accueillir des substrats allant jusqu’à 1400 mm, ce qui la rend idéale pour répondre aux exigences des photomasques d’affichage de moyenne et grande taille.
  • La chambre environnementale en circuit fermé maintient des conditions optimales tout au long du processus, ce qui garantit une qualité constante des masques, cycle après cycle.
  • Le VPG+ 1400 FPD prend en charge tous les formats de données industriels, ce qui permet une intégration aisée dans vos processus de conception et de fabrication existants.

Investissez dans l’avenir de la technologie d’affichage

Le VPG+ 1400 FPD est un investissement dans l’avenir de vos capacités de production d’écrans. En l’intégrant à votre production, vous pouvez atteindre les objectifs suivants :

  • Qualité exceptionnelle du masque pour une performance d’affichage sans faille.
  • Débit élevé pour la production de grands volumes d’écrans et une rentabilité accrue.
  • Des coûts de production réduits à un prix d’outil très économique.
  • Fonctionnement efficace de l’outil et fiabilité des performances.
  • Une technologie à l’épreuve du temps qui s’adapte aux exigences des écrans de la prochaine génération.

Complétez votre production d’écrans avec un outil très économique. Contactez-nous pour découvrir comment le VPG+ 1400 peut accélérer votre production de photomasques.

Le VPG+ 1400 FPD allie efficacité et qualité supérieure. Il s’agit du générateur de modèles en volume le plus performant pour la production en grande quantité, utilisé par les fabricants de masques photographiques du monde entier. Il s’agit de notre plus grand système spécialement conçu pour l’industrie de l’affichage et adapté au modelage à haut débit de photomasques de grande surface (1,4 m). Il est optimal pour les applications d’écrans plats (FPD), spécialement conçu pour traiter les substrats grand format, ce qui en fait une solution idéale pour les fabricants qui cherchent à exceller dans l’industrie de l’affichage.

Le programme VPG+ Le 1400 FPD est conçu pour des expositions rapides et de haute qualité avec un alignement extrêmement précis. Il est équipé d’un interféromètre différentiel avec une résolution allant jusqu’à 1,2 nm. L’optimisation Mura garantit une uniformité et une résolution CD excellentes, tandis que la chambre environnementale en boucle fermée est conforme aux exigences les plus strictes en matière de fabrication de masques photographiques avancés.

Améliorez votre fabrication de FPD

  • Des écrans impeccables: Le VPG+ 1400 FPD est votre guichet unique pour la création de photomasques haute résolution utilisés dans la production de composants d’affichage clés tels que les matrices TFT, les filtres de couleur et les électrodes d’oxyde d’indium et d’étain (ITO). Obtenez la précision et la qualité qu’exigent vos écrans de nouvelle génération.
  • Un débit exceptionnel: Les capacités de production exceptionnelles du VPG+ 1400 FPD garantissent une production rapide des masques, ce qui vous permet de répondre aux exigences de la fabrication d’écrans en grand volume et d’optimiser votre chaîne de production.
  • Précision et fiabilité maximales: Le VPG+ 1400 FPD offre la précision et la résolution nécessaires à la création de motifs complexes sur des masques grand format, garantissant un transfert sans faille de vos dessins. Il fonctionne de manière fiable 24 heures sur 24, 7 jours sur 7, pour des délais de livraison prévisibles.
  • Métrologie avancée: Ensemble de métrologie inclus et fonctions de correspondance d’outils pour des capacités d’alignement précis de la deuxième couche utilisées dans la production de masques en gris-gris sur de grandes surfaces.

Maximiser les performances

  • Le moteur d’exposition ultra-rapide et le laser DPSS haute puissance réduisent considérablement les temps d’écriture, ce qui vous permet de produire des masques plus rapidement et de maximiser votre production.
  • Le VPG+ 1400 FPD offre une excellente résolution sub-µm et une excellente qualité d’image, garantissant le transfert précis de vos motifs sur le photomasque pour des affichages impeccables.
  • L’outil de calibrage automatique rationalise votre flux de travail en garantissant un enregistrement et un positionnement parfaits des structures écrites, ce qui vous permet de gagner du temps et de minimiser les erreurs.
  • La platine de précision grand format à vide flexible peut accueillir des substrats allant jusqu’à 1400 mm, ce qui la rend idéale pour répondre aux exigences des photomasques d’affichage de moyenne et grande taille.
  • La chambre environnementale en circuit fermé maintient des conditions optimales tout au long du processus, ce qui garantit une qualité constante des masques, cycle après cycle.
  • Le VPG+ 1400 FPD prend en charge tous les formats de données industriels, ce qui permet une intégration aisée dans vos processus de conception et de fabrication existants.

Investissez dans l’avenir de la technologie d’affichage

Le VPG+ 1400 FPD est un investissement dans l’avenir de vos capacités de production d’écrans. En l’intégrant à votre production, vous pouvez atteindre les objectifs suivants :

  • Qualité exceptionnelle du masque pour une performance d’affichage sans faille.
  • Débit élevé pour la production de grands volumes d’écrans et une rentabilité accrue.
  • Des coûts de production réduits à un prix d’outil très économique.
  • Fonctionnement efficace de l’outil et fiabilité des performances.
  • Une technologie à l’épreuve du temps qui s’adapte aux exigences des écrans de la prochaine génération.

Complétez votre production d’écrans avec un outil très économique. Contactez-nous pour découvrir comment le VPG+ 1400 peut accélérer votre production de photomasques.

Qualité de l'exposition

Rugosité des bords 20 nm ; uniformité CD locale 50 nm ; grille d’adresse 8 nm ; correction Mura, détection des bords.

Stabilité de l'écriture

Chambre climatique très stable, compensations climatiques en temps réel et corrections logicielles pour toutes les variations environnementales.

Alignement automatisé

Progiciel de métrologie avec alignement global et champ par champ automatisé avec correction de la distorsion. Matrice de correction 2D sophistiquée pour l’étalonnage de la position de la platine et l’adaptation de l’outil.

Évolutivité

S’adapte facilement à toutes les tailles de photomasques, des plus petits et moyens aux plus grands.

Contrôle Mura

Optimisation du pitch et du panel.

Manipulation des masques photographiques

Chargement semi-automatique du substrat.

Personnalisation

Supports spéciaux, chargeur ou traitement des masques sur demande.

Applications clients

Since 2007, VPG systems and their successors, the VPG+ systems, have proved to be the ideal solution for the high-volume production of demanding photomasks — especially for electronic packaging, color filters, light-emitting diodes, and touch panels. As a master template for photolithographic manufacturing, such photomasks have to fulfill the highest requirements for line width uniformity, pattern position accuracy, edge roughness, and minimum feature size.
Since 2007, VPG systems and their successors, the VPG+ systems, have proved to be the ideal solution for the high-volume production of demanding photomasks — especially for electronic packaging, color filters, light-emitting diodes, and touch panels. As a master template for photolithographic manufacturing, such photomasks have to fulfill the highest requirements for line width uniformity, pattern position accuracy, edge roughness, and minimum feature size.
The VPG+ series can be used for all display-related applications. In this field, the quality requirements on photomasks are exceptional. One key specification is the so-called Mura condition, describing 'unevenness' as a result of any disturbance in a regular periodic pattern. If the Mura condition fails to meet the requirements, the final display might have dark spots or patches. The V series of Maskless Lithography Systems offers a special Mura optimization function for good Mura condition, excellent CD uniformity, and resolution.
The VPG+ series can be used for all display-related applications. In this field, the quality requirements on photomasks are exceptional. One key specification is the so-called Mura condition, describing 'unevenness' as a result of any disturbance in a regular periodic pattern. If the Mura condition fails to meet the requirements, the final display might have dark spots or patches. The V series of Maskless Lithography Systems offers a special Mura optimization function for good Mura condition, excellent CD uniformity, and resolution.
Display application test pattern on chrome mask after etching and resist stripping.
Display application test pattern on chrome mask after etching and resist stripping.
Display application pattern on chrome mask after etching and resist stripping.
Display application pattern on chrome mask after etching and resist stripping.
Display application pattern on chrome mask after etching and resist stripping.
Display application pattern on chrome mask after etching and resist stripping.
Display application pattern on chrome mask after etching and resist stripping.
Display application pattern on chrome mask after etching and resist stripping.
Display application pattern on chrome mask after etching and resist stripping.
Display application pattern on chrome mask after etching and resist stripping.
Display application pattern on chrome mask after etching and resist stripping.
Display application pattern on chrome mask after etching and resist stripping.
Display application pattern on chrome mask after etching and resist stripping.
Display application pattern on chrome mask after etching and resist stripping.

Pourquoi les clients choisissent nos systèmes

"Le VPG nous permet de réaliser des lignes de cuivre et des interconnexions puce à puce d'une taille inférieure à 1 µm, ce qui est trois fois plus petit que lors de l'utilisation du processus conventionnel d'alignement des masques."

Markus Wöhrmann
Chef de groupe Lithographie et polymères en couches minces pour l'emballage au niveau de la plaquette
Institut Fraunhofer pour la micro-intégration et la fiabilité
Berlin, Allemagne

"Au TNO @ Holst Centre, le VPG de Heidelberg Instruments joue un rôle essentiel dans nos efforts de recherche et de développement en nous permettant d'effectuer rapidement des itérations de conception et de développer et d'optimiser les flux de processus de fabrication de ces conceptions".

Auke Jisk Kronemeijer, directeur de recherche Thin Film Electronics
TNO @ Holst Centre
Eindhoven, Pays-Bas

Données techniques

Mode écritureQXFX
Performance en matière d'écritureHaute qualitéHaut débit
Taille minimale de la structure [μm]0.81
Grille d'adresse [nm]88
Rugosité des bords [3σ, nm]2040
Uniformité CD [3σ, nm]5070
Recouvrement de plaque à plaque [3σ, nm]250250
Couture [3σ, nm]4050
Enregistrement [3σ, nm]100100
Vitesse d'écriture [mm²/min]13752750
Caractéristiques du système
Source lumineuseLaser DPSS haute puissance de 355 nm
Taille maximale des substrats1400 x 1400 mm²
Épaisseur du substrat0 à 13,2 mm
Zone d'exposition maximale1400 x 1400 mm²
AutofocusSystème d'autofocus en temps réel (optique et pneumatique)
Plage de compensation de l'autofocus150 µm
AutomatisationSystème de chargement semi-automatique
FlowboxChambre environnementale à température contrôlée en circuit fermé
Alignement Système de caméra pour la métrologie et l'alignement
Autres caractéristiques et optionsCorrection du plan de scène, optimisation du mura et du pas des panneaux, système de détection des arêtes, formats d'entrée de données multiples (DXF, CIF, GDSII et fichiers Gerber).
Dimensions du système
Unité principale (portes fermées, chargeur déployé)
Largeur [mm]5370
Profondeur [mm]7000
Hauteur [mm]2800
Poids [kg]25000
Exigences en matière d'installation
Électricité400 VAC ± 5 %, 50/60 Hz, 32 A
Air comprimé8 - 10 bars

Veuillez noter
Les spécifications dépendent des conditions individuelles du processus et peuvent varier en fonction de la configuration de l’équipement. La vitesse d’écriture dépend de la taille des pixels et du mode d’écriture. La conception et les spécifications peuvent être modifiées sans préavis.

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