En 2024, nous avons célébré notre 40ᵉ anniversaire. Nous vous invitons à parcourir quelques moments forts de notre histoire.
Redécouvrez d’anciens systèmes de lithographie, toujours à la pointe à leur époque, découvrez certains de nos anciens bâtiments et plongez dans l’histoire passionnante de notre entreprise !
Jalons du site Heidelberg Instruments' Histoire
1984
Fondation
Heidelberg Instruments a été fondée par un groupe de scientifiques et de chercheurs de l’Université de Heidelberg, du Laboratoire européen de biologie moléculaire (EMBL) et d’autres instituts de recherche, dans le but de créer des produits commerciaux basés sur leur technologie de balayage laser et de les commercialiser.
1984 - 1988
Les années de fondation
Au cours des premières années, l’entreprise a développé une variété d’outils : un système de mesure de profil linéaire pour les structures micrométriques et submicrométriques, un module de microscope confocal à balayage laser, un graveur laser pour écrire des microstructures sur des substrats recouverts de résine, un système d’inspection de plaquettes et un scanner tomographique laser.
1989
Restructuration
Fondation de Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
Au cours des premières années, l’entreprise a développé une variété d’outils : un système de mesure de profil linéaire pour les structures micrométriques et submicrométriques, un module de microscope confocal à balayage laser, un graveur laser pour écrire des microstructures sur des substrats recouverts de résine, un système d’inspection de plaquettes et un scanner tomographique laser.
1991
Le premier DWL
Le système d’écriture directe par laser DWL2.0 a été spécialement conçu pour la fabrication de matrices à grille et d’ASICS à mer de grille. Il a été développé dans le cadre du programme européen ESPRIT et commercialisé sous le nom de Lasarray. Heidelberg Instruments a temporairement fait partie de cette société suisse jusqu’en 1993.
1994
Le déménagement à Rohrbach
Avec la croissance initiale de la jeune entreprise, il est devenu nécessaire de quitter le parc technologique de Heidelberg pour s’installer dans de nouveaux locaux plus vastes au sud de Heidelberg. En 1999, le deuxième étage a été ajouté et le bâtiment affectueusement connu sous le nom de “Halle 1” a servi de siège social à l’entreprise jusqu’en 2021.
1995
DWL66
Le premier système spécialement conçu pour le patronnage direct à faible volume et haute précision a été développé pour les instituts de recherche et les universités. Il s’appelait DWL66, en référence à sa zone d’exposition de 6″ x 6″. Le DWL66 répondait aux besoins d’un outil de R&D, moins coûteux qu’un DWL2.0.
1994 - 1996
Le masque écrit et l'accord OEM avec Gerber
Le Mask Write 800 (avec une grande zone d’exposition de 800 mm × 600 mm) était un système haute résolution destiné aux applications de production industrielle de photomasques pour les PCB et le backend. Lors d’une collaboration avec la société Gerber (USA), le Mask Write 1550 a été créé, un graveur pour photomasques de 1,55 m utilisé dans la production d’écrans plasma.
1996 - 2002
Présence mondiale
Plusieurs systèmes Mask Write 1550 ont été installés au Japon et en Corée. Des bureaux d’assistance à la clientèle ont été créés à Taïwan, en Chine, aux États-Unis et au Japon, reflétant la présence accrue sur le marché et l’expansion dans ces régions. En 2005, le bureau de Corée a été ouvert.
2002
Croissance
Le nouveau bâtiment de production — le premier construit et possédé par Heidelberg Instruments Mikrotechnik — a marqué une augmentation considérable de la capacité de production.
2006
Le premier système de bureau
Le premier générateur de micropatrons de bureau, le µPG101, a été lancé en 2006. Au cours de ces années, Heidelberg Instruments a également développé d’autres machines laser pour le marché industriel. Bien qu’elles n’aient pas connu un succès durable, leur développement a élargi les compétences technologiques de l’entreprise, comme l’utilisation de modulateurs de lumière spatiale pour la lithographie.
2007
Le VPG
Systèmes à grande surface
Un nouveau type de système à haute vitesse d’exposition, optimisé pour la production de photomasques dans les domaines de l’emballage de puces, des écrans LCD et des écrans tactiles, a été développé. Le premier « Volume Pattern Generator » VPG 800 a été installé chez un fabricant de PCB à Taïwan pour créer des photomasques destinés aux applications d’emballage de puces.
2013
Le VPG
Systèmes à petite surface
Les générateurs de modèles de grande surface ont été suivis par les systèmes VPG pour l’écriture de petites surfaces, destinés aux applications d’écriture directe, principalement dans la production de masques de petit et moyen volume, le prototypage rapide, la microfluidique, les MEMS, l’emballage avancé et la production de DEL.
2015
Une part de perpétuité
Jusqu’en 2015, HIMT était une entreprise essentiellement familiale, avec des parts minoritaires au sein de la direction. La société d’investissement de la fondation RAG (RSBG) a acquis 100 % de Heidelberg Instruments. La RSBG finance les “Ewigkeitsaufgaben” (obligations perpétuelles de gestion des mines) résultant des opérations d’extraction de la houille en Allemagne.
2017
Une success story : le lancement des Maskless Aligners
Avec l’introduction de la série MLA, Heidelberg Instruments a mis sur le marché une nouvelle génération de systèmes d’alignement sans masque. Le MLA est un système d’exposition directe sans masque très performant, conçu pour une utilisation facile et un modelage à grande vitesse. Il a été commercialisé spécifiquement pour pouvoir remplacer les aligneurs de masques ou les steppers.
2018
Lancement de l'ULTRA
En 2018, l’ULTRA a été introduit en tant que graveur de semi-conducteurs pour les photomasques matures. Il était basé sur la technologie VPG+, mais avec des spécifications plus élevées en matière de précision, de stabilité et de résolution.
2018
Nanostructuration : Le portefeuille s'élargit
En 2018, Heidelberg Instruments a acquis la majorité des actions de SwissLitho AG. Les systèmes de cette société suisse étaient basés sur la lithographie par sonde thermique (t-SPL) pour des applications de nanopatrons. La technologie NanoFrazor utilise une pointe chauffée qui écrit des nanostructures dans une résine.
2019
La famille MLA s'agrandit
Le MLA 300 a été lancé : le Maskless Aligner pour les applications à haut débit, répondant aux exigences de l’industrie telles qu’une productivité accrue, l’automatisation complète et l’interfaçage avec les systèmes de gestion de production. Le Maskless Aligner de bureau, intégrant désormais les fonctionnalités du populaire µPG, a été relancé sous le nom de µMLA.
2021
La vraie 3D avec le TPP
Heidelberg Instruments a été rejoint par l’entreprise allemande Multiphoton Optics, un fournisseur de solutions en lithographie laser 3D basée sur la technologie de polymérisation à deux photons (TPP). Le système TPP MPO 100 a été présenté comme un outil multi-utilisateurs pour la lithographie 3D et l’impression 3D de microstructures.
2021
Déménagement et certification ISO
Heidelberg Instruments a déménagé dans de nouveaux locaux et a reçu la même année la certification ISO 9001:2015 du TÜV Süd (auditeur et fournisseur de solutions de sûreté, de sécurité et de durabilité) pour son système de gestion de la qualité.
2021
Faisant partie du groupe LAB14
Heidelberg Instruments fait désormais partie du groupe LAB14 au sein du RSBG. Ce groupe est composé d’entreprises de haute technologie qui offrent des produits et services complémentaires pour la nano- et microfabrication et l’analyse de surface.
2024
Célébration
Heidelberg Instruments célèbre son 40ᵉ anniversaire. Depuis 1984, nous travaillons avec passion au développement et à la production de solutions de lithographie. Au cours des quatre dernières décennies, notre entreprise s’est solidement imposée comme l’un des leaders mondiaux du secteur de la lithographie directe et continue de croître fortement.
