Semi-conducteurs

Les semi-conducteurs se caractérisent par leur capacité à faire varier leur conductivité électrique lorsqu’ils sont exposés à des facteurs externes tels que la tension, la chaleur ou la lumière. Ils servent de base aux dispositifs électroniques dans la technologie moderne. Les dispositifs semi-conducteurs sont construits sur des plaquettes composées de divers matériaux. Certaines plaquettes sont constituées d’un seul élément, comme le silicium, tandis que d’autres intègrent un mélange d’éléments, formant des structures cristallines complexes aux propriétés électroniques uniques, comme c’est le cas des semi-conducteurs composés.

La photolithographie est un processus essentiel de la fabrication des semi-conducteurs qui utilise des masques ou des techniques d’écriture directe pour transférer des motifs précis sur des plaquettes. Elle joue un rôle crucial dans la définition des structures complexes qui constituent la base des circuits intégrés et autres dispositifs semi-conducteurs.

Heidelberg Instruments propose des outils adaptés à plusieurs processus critiques lors de la fabrication de dispositifs à base de semi-conducteurs, qu’il s’agisse de réticules exigeant une grande précision et une grande uniformité ou d’expositions sans masque à haut débit avec modelage adaptatif. Ces outils de lithographie laser offrent une grande polyvalence en permettant l’écriture directe sur des surfaces recouvertes de photorésistances, ce qui facilite le prototypage rapide et la personnalisation. Leur précision d’alignement permet la production de dispositifs multicouches et peut corriger les défauts d’alignement et les déformations des matrices individuelles. Ils conviennent donc également à l’emballage des semi-conducteurs.