En 2024, Heidelberg Instruments fêtera son 40e anniversaire. À cette occasion, nous nous tournons vers l’avenir et jetons un regard rétrospectif sur notre histoire, pleine d’étapes, de défis et de percées. Nous vous invitons à parcourir les points forts de la chronologie ci-dessous. Redécouvrez d’anciens systèmes de lithographie, toujours à la pointe du progrès à leur époque, voyez certains de nos anciens bâtiments et suivez l’histoire passionnante de notre entreprise au fur et à mesure de sa croissance et de son expansion !
Les grandes étapes de l'histoire de Heidelberg Instruments
1984
Fondation
Heidelberg Instruments a été fondée par un groupe de scientifiques et de chercheurs de l’université de Heidelberg, du laboratoire européen de biologie moléculaire
(EMBL) et d’autres instituts de recherche, dans le but de créer des produits commerciaux basés sur leur technologie de balayage laser et de les mettre sur le marché.
1984 - 1988
Les années de fondation
Au cours des premières années, l’entreprise a mis au point divers outils : un système de mesure du profil linéaire pour les structures microniques et submicroniques, un module de microscope confocal à balayage laser, un graveur laser pour écrire des microstructures sur des substrats revêtus d’une couche de résistance, un système d’inspection des plaquettes et un scanner tomographique laser.
1989
Restructuration ; création de Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
Une fois les fonds de démarrage épuisés, l’entreprise s’est scindée : Le microscope confocal à balayage laser a été cédé à Leica Lasertechnik et le scanner tomographique laser a été repris par Heidelberg Engineering. La technologie de lithographie laser a été poursuivie par Roelof Wijnaendts-van-Resandt sous le nom de Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH.
1991
Le premier DWL
Le système d’écriture directe par laser DWL2.0 a été spécialement conçu pour la fabrication de matrices à grille et d’ASICS à mer de grille. Il a été développé dans le cadre du programme européen ESPRIT et commercialisé sous le nom de Lasarray.
Heidelberg Instruments a temporairement fait partie de cette société suisse jusqu’en 1993.
1994
Le déménagement à Rohrbach
Avec la croissance initiale de la jeune entreprise, il est devenu nécessaire de quitter le parc technologique de Heidelberg pour s’installer dans de nouveaux locaux plus vastes au sud de Heidelberg. En 1999, le deuxième étage a été ajouté et le bâtiment affectueusement connu sous le nom de “Halle 1” a servi de siège social à l’entreprise jusqu’en 2021.
1995
DWL66
Le premier système spécialement conçu pour le modelage direct à faible volume et à haute précision a été mis au point pour les instituts de recherche et les universités. Il était appelé DWL66, en référence à la zone d’exposition de 6″ x 6″. Le DWL66 répondait au besoin d’un outil de R&D moins coûteux que le DWL2.0.
1994 - 1996
Le masque écrit et l'accord OEM avec Gerber
Le Mask Write 800 (avec une grande zone d’exposition de 800 mm x 600 mm) était un système à haute résolution destiné à des applications dans la production industrielle de photomasques pour PCB et backend. Dans le cadre d’une collaboration avec la société Gerber (États-Unis), le Mask Write 1550 a été créé. Il s’agit d’un système de gravure pour des photomasques de 1,55 m utilisés pour la production d’écrans à plasma.
1996 - 2002
Présence mondiale
Plusieurs systèmes Mask Write 1550 ont été installés au Japon et en Corée. Des bureaux d’assistance à la clientèle ont été créés à Taïwan, en Chine, aux États-Unis et au Japon, reflétant la présence accrue sur le marché et l’expansion dans ces régions. En 2005, le bureau de Corée a été ouvert.
2002
Croissance
Le nouveau bâtiment de production – qui était le premier bâtiment construit et appartenant à Heidelberg Instruments Mikrotechnik – a marqué une augmentation considérable de la capacité de production.
2006
Le premier système de table
Le premier générateur de micro-motifs de table, le µPG101, a été lancé en 2006. Au cours de ces années, Heidelberg Instruments a également développé d’autres machines laser pour le marché industriel. Bien qu’elles n’aient pas été couronnées de succès à long terme, leur développement a permis d’élargir les compétences technologiques de l’entreprise, telles que l’utilisation de modulateurs de lumière spatiaux pour la lithographie.
2007
Le VPG
Systèmes à grande surface
Un nouveau type de système à haute vitesse d’exposition, optimisé pour la production de photomasques dans les domaines de l’emballage des puces, des écrans LCD et des panneaux tactiles, a été mis au point. Le premier “Volume Pattern Generator” VPG 800 a été installé chez un fabricant de PCB à Taiwan pour écrire des photomasques pour des applications d’emballage de puces
.
2013
Le VPG
Systèmes de petite surface
Les générateurs de modèles de grande surface ont été suivis par les systèmes VPG pour l’écriture de petites surfaces, destinés aux applications d’écriture directe, principalement dans la production de masques de petit et moyen volume, le prototypage rapide, la microfluidique, les MEMS, l’emballage avancé et la production de DEL.
2015
Une part de perpétuité
Jusqu’en 2015, HIMT était une entreprise essentiellement familiale avec des parts minoritaires dans la direction. La société d’investissement de la fondation RAG (RSBG) a acquis 100 % de Heidelberg Instruments. La RSBG finance les “Ewigkeitsaufgaben” (obligations perpétuelles de gestion des mines) résultant des opérations d’extraction de la houille en Allemagne.
2017
Une histoire à succès : Lancement des aligneurs sans masque
Avec l’introduction de la série MLA, Heidelberg Instruments a mis sur le marché une nouvelle génération de systèmes d’alignement sans masque. Le MLA est un système d’exposition directe sans masque très performant, conçu pour une utilisation facile et un modelage à grande vitesse. Il a été commercialisé spécifiquement pour pouvoir remplacer les aligneurs de masques ou les steppers.
2018
Lancement de l'ULTRA
En 2018, l’ULTRA a été introduit en tant que graveur de semi-conducteurs pour les photomasques matures. Il était basé sur la technologie VPG+, mais avec des spécifications plus élevées en matière de précision, de stabilité et de résolution.
2018
Nanostructuration : Le portefeuille s'élargit
En 2018, Heidelberg Instruments a acquis la majorité de SwissLitho AG. Les systèmes de la société suisse étaient basés sur la lithographie par sonde à balayage thermique (t-SPL) pour les applications de nanopatterning. La technologie NanoFrazor implique une pointe chauffée qui inscrit des nanostructures dans une réserve.
2019
La famille MLA s'agrandit
Le MLA 300 est lancé : L’aligneur sans masque pour les applications à haut débit, répondant aux exigences de l’industrie telles que l’augmentation du débit, l’automatisation complète et l’interface avec les systèmes d’exécution de la fabrication. L’aligneur sans masque de table, qui intègre désormais les caractéristiques du célèbre µPG, a été relancé sous le nom de µMLA.
2021
La vraie 3D avec le TPP
Heidelberg Instruments a été rejoint par la société allemande Multiphoton Optics, un fournisseur de solutions en lithographie laser 3D basée sur la technologie de polymérisation à deux photons (TPP). Le système TPP MPO 100 a été présenté comme un outil multi-utilisateurs pour la lithographie 3D
et la micro-impression 3D de microstructures
.
2021
Déménagement et certification ISO
Heidelberg Instruments a déménagé dans de nouveaux locaux et a reçu la même année la certification ISO 9001:2015 du TÜV Süd (auditeur et fournisseur de solutions de sûreté, de sécurité et de durabilité) pour son système de gestion de la qualité.
2021
Fait partie du groupe Lab14
Heidelberg Instruments fait désormais partie du groupe LAB14 au sein du RSBG. Ce groupe se compose d’entreprises de haute technologie qui offrent des produits et services complémentaires pour la nano- et microfabrication et l’analyse de surface.
2024
Célébration
Heidelberg Instruments célèbre cette année son 40e anniversaire. Depuis 1984, nous travaillons avec passion au développement et à la production de solutions de lithographie. Au cours des quatre dernières décennies, notre société s’est fermement établie comme l’un des leaders du marché mondial dans le secteur de la lithographie à écriture directe et continue à se développer fortement.
