La litografía de sonda de barrido térmico (t-SPL) es un método de creación de patrones en el que se sublima una resistencia termosensible mediante una punta calentada ultraafilada. Este método permite escribir nanoestructuras complejas de alta resolución e inspeccionarlas visualmente con la misma herramienta.
Este enfoque constituye el núcleo del principio operativo de NanoFrazor. Tras el patronaje, pueden aplicarse a los sustratos patronizados métodos estándar de transferencia de patrones, como el despegue o el grabado. Esta tecnología apareció por primera vez en IBM Research Zürich en el marco del proyecto de memoria Millipede, que luego evolucionó hasta convertirse en un método completo de nanofabricación. En la actualidad, Heidelberg Instruments comercializa esta tecnología en forma de nuestro sistema NanoFrazor.
La tecnología NanoFrazor representa una alternativa a los métodos convencionales de nanofabricación. Permite tanto el patronaje de alta resolución como la obtención de imágenes con una velocidad de escaneado de 1 mm/s. Este método evita muchos problemas que presentan algunas de las otras técnicas de nanolitografía: no requiere revelado húmedo, ni correcciones por efecto de proximidad, ni vacío. La compatibilidad con cualquier proceso de transferencia de patrones y material de sustrato estándar abre una amplia gama de aplicaciones.
