La Litografía Térmica por Sonda de Barrido (t-SPL) es un método de patrones en el cual un resist sensible al calor se sublima utilizando una punta calentada ultraafilada. Este método permite que estructuras nanométricas complejas y de alta resolución sean tanto escritas como inspeccionadas visualmente en la misma herramienta.
Este enfoque constituye el núcleo mismo del principio de funcionamiento del NanoFrazor. Después del patronado, se pueden aplicar métodos estándar de transferencia de patrones, como lift-off o grabado, a los sustratos ya patronados. Esta tecnología apareció por primera vez en IBM Research Zürich en el marco del proyecto de memoria Millipede, el cual luego evolucionó hacia un método completo de nanofabricación. La tecnología está ahora disponible comercialmente por parte de Heidelberg Instruments en la forma de nuestro sistema NanoFrazor.
La tecnología NanoFrazor representa una alternativa a los métodos convencionales de nanofabricación. Permite tanto el patronado de alta resolución como la inspección con una velocidad de escaneo de 1 mm/s. Este método evita muchos de los problemas que presentan otras técnicas de nanolitografía: no requiere revelado húmedo, no requiere correcciones de efecto de proximidad y no requiere vacío. La compatibilidad con cualquier proceso estándar de transferencia de patrones y cualquier material de sustrato abre una amplia gama de aplicaciones.
