Tecnologías de litografía para microfabricación y nanofabricación
Heidelberg Instruments desarrolla tecnologías avanzadas de litografía para microfabricación y nanofabricación, permitiendo un patrón preciso desde la escala micro hasta la nanoescala. Nuestro portafolio combina la litografía láser sin máscara para un patronado flexible de escritura directa con la litografía térmica de sonda de barrido (t-SPL) para nanolitografía de ultra alta resolución.
La litografía láser sin máscara permite un prototipado rápido, una colocación precisa de patrones y la litografía en escala de grises sin necesidad de fotomáscaras. Esto la hace ideal para la fabricación de microestructuras complejas 2D y 2.5D, microóptica, MEMS y dispositivos avanzados de investigación.
Complementando este enfoque, la plataforma NanoFrazor, basada en litografía térmica de sonda de barrido (t-SPL), permite el nanopatrón no invasivo con precisión inferior a 10 nanómetros, combinando la nanolitografía de escritura directa con inspección y metrología in situ en la misma herramienta.
En conjunto, estas tecnologías permiten la fabricación de micro- y nanoestructuras de alta resolución, incluyendo topografías complejas, características de alta relación de aspecto y estructuras sobre sustratos pequeños o no convencionales, fomentando la innovación en fotónica, microóptica, nanotecnología e investigación de materiales avanzados.
