VPG+ 1400 FPD / VPG+ 1850 FPD Generadores de patrones de volumen

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Diseñado para la producción de fotomáscaras en sustratos grandes en aplicaciones de pantalla

  • Descripción

  • La máxima eficiencia se une a una calidad superior con los modelos VPG+ 1400 FPD y VPG+ 1850 FPD, los generadores de patrones de gran volumen (Volume Pattern Generators) definitivos para la producción a gran escala que utilizan los fabricantes de fotomáscaras de todo el mundo. Son nuestros sistemas más grandes, diseñados específicamente para el sector de las pantallas y adaptados para el patrón de alto rendimiento de fotomáscaras de gran superficie, de hasta el tamaño G8.6 y con un área máxima de exposición de 1400 x 1800 mm². Son la solución óptima para los fabricantes que buscan destacar en el sector de las pantallas planas.

    Los VPG+ 1400 FPD y VPG+ 1850 FPD están diseñados para exposiciones rápidas y de alta calidad con una alineación extremadamente precisa. Cuentan con un interferómetro diferencial con una resolución de hasta 1.2 nm. La optimización Mura garantiza una excelente uniformidad y resolución de CD (Critical Dimension), mientras que la cámara ambiental de circuito cerrado cumple con los requisitos más estrictos para la fabricación avanzada de fotomáscaras.

    Mejora tu fabricación de FPD

    • Pantallas impecables: Los modelos VPG+ 1400 FPD y VPG+ 1850 FPD están optimizados para la creación de fotomáscaras de alta resolución —incluidas las máscaras de semitonos— utilizadas en la producción de componentes clave de las pantallas planas (FPD), tales como filtros de color (CF), matrices de transistores de película fina (TFT), electrodos de óxido de indio y estaño (ITO), paneles táctiles (TP), máscaras metálicas finas (FMM), diodos orgánicos emisores de luz de matriz activa (AMOLED) u otras capas relacionadas con las pantallas de cristal líquido (LCD) y los diodos orgánicos emisores de luz (OLED).
    • Rendimiento excepcional: Las excepcionales capacidades de rendimiento de los sistemas VPG+ garantizan una rápida producción de máscaras, lo que te permite satisfacer las exigencias de la fabricación de pantallas a gran escala y optimizar tu línea de producción.
    • Máxima precisión y fiabilidad: Los modelos VPG+ 1400 FPD y VPG+ 1850 FPD ofrecen la precisión y la resolución necesarias para crear patrones complejos en máscaras de gran formato, lo que garantiza una transferencia impecable de tus diseños. Funcionan de forma fiable las 24 horas del día, los 7 días de la semana, lo que permite plazos de entrega predecibles.
    • Metrología avanzada: Paquete de metrología incluido y funciones de adaptación de herramientas para capacidades precisas de alineación de la segunda capa utilizadas en la producción de máscaras de tonos grises de gran superficie.

    Maximizar el rendimiento

    • El motor de exposición ultrarrápida y el láser DPSS de alta potencia reducen drásticamente los tiempos de escritura, lo que te permite producir máscaras más rápidamente y maximizar tu rendimiento de producción.
    • Los sistemas VPG+ cuentan con una excelente resolución submicrométrica y calidad de imagen, lo que garantiza la transferencia precisa de sus patrones de diseño a la fotomáscara para obtener pantallas impecables.
    • La herramienta de calibración automática optimiza su flujo de trabajo al garantizar un registro y posicionamiento excelentes de las estructuras escritas, lo que le ahorra tiempo y minimiza los errores.
    • La plataforma de precisión de gran formato con diseño de vacío flexible admite sustratos de hasta 1850 mm, lo que la hace ideal para satisfacer las exigencias de las fotomáscaras de pantallas medianas y grandes.
    • La cámara ambiental de bucle cerrado mantiene unas condiciones óptimas durante todo el proceso, garantizando una calidad constante de la máscara, tirada tras tirada.
    • Los modelos VPG+ 1400 FPD y VPG+ 1850 FPD son compatibles con todos los formatos de datos industriales, lo que permite una integración fluida con tus flujos de trabajo de diseño y fabricación actuales.

    Invierta en el futuro de la tecnología de pantallas.

    Los VPG+ 1400 FPD y VPG+ 1850 FPD son una inversión en el futuro de sus capacidades de producción de pantallas. Al implementarlos en su producción, podrá lograr:

    • Calidad de máscara excepcional para un rendimiento de pantalla impecable.
    • Alto rendimiento para una producción de pantallas de gran volumen y mayor rentabilidad.
    • Costos de producción reducidos a un precio de herramienta altamente económico.
    • Operación eficiente de la herramienta y rendimiento fiable.
    • Tecnología preparada para el futuro que se adapta a las exigencias de las pantallas de próxima generación.

    Complemente la fabricación de sus pantallas con una herramienta altamente económica. Contáctenos para descubrir cómo los sistemas VPG+ pueden acelerar su producción de fotomáscaras.

    La máxima eficiencia se une a una calidad superior con los modelos VPG+ 1400 FPD y VPG+ 1850 FPD, los generadores de patrones de gran volumen (Volume Pattern Generators) definitivos para la producción a gran escala que utilizan los fabricantes de fotomáscaras de todo el mundo. Son nuestros sistemas más grandes, diseñados específicamente para el sector de las pantallas y adaptados para el patrón de alto rendimiento de fotomáscaras de gran superficie, de hasta el tamaño G8.6 y con un área máxima de exposición de 1400 x 1800 mm². Son la solución óptima para los fabricantes que buscan destacar en el sector de las pantallas planas.

    Los VPG+ 1400 FPD y VPG+ 1850 FPD están diseñados para exposiciones rápidas y de alta calidad con una alineación extremadamente precisa. Cuentan con un interferómetro diferencial con una resolución de hasta 1.2 nm. La optimización Mura garantiza una excelente uniformidad y resolución de CD (Critical Dimension), mientras que la cámara ambiental de circuito cerrado cumple con los requisitos más estrictos para la fabricación avanzada de fotomáscaras.

    Mejora tu fabricación de FPD

    • Pantallas impecables: Los modelos VPG+ 1400 FPD y VPG+ 1850 FPD están optimizados para la creación de fotomáscaras de alta resolución —incluidas las máscaras de semitonos— utilizadas en la producción de componentes clave de las pantallas planas (FPD), tales como filtros de color (CF), matrices de transistores de película fina (TFT), electrodos de óxido de indio y estaño (ITO), paneles táctiles (TP), máscaras metálicas finas (FMM), diodos orgánicos emisores de luz de matriz activa (AMOLED) u otras capas relacionadas con las pantallas de cristal líquido (LCD) y los diodos orgánicos emisores de luz (OLED).
    • Rendimiento excepcional: Las excepcionales capacidades de rendimiento de los sistemas VPG+ garantizan una rápida producción de máscaras, lo que te permite satisfacer las exigencias de la fabricación de pantallas a gran escala y optimizar tu línea de producción.
    • Máxima precisión y fiabilidad: Los modelos VPG+ 1400 FPD y VPG+ 1850 FPD ofrecen la precisión y la resolución necesarias para crear patrones complejos en máscaras de gran formato, lo que garantiza una transferencia impecable de tus diseños. Funcionan de forma fiable las 24 horas del día, los 7 días de la semana, lo que permite plazos de entrega predecibles.
    • Metrología avanzada: Paquete de metrología incluido y funciones de adaptación de herramientas para capacidades precisas de alineación de la segunda capa utilizadas en la producción de máscaras de tonos grises de gran superficie.

    Maximizar el rendimiento

    • El motor de exposición ultrarrápida y el láser DPSS de alta potencia reducen drásticamente los tiempos de escritura, lo que te permite producir máscaras más rápidamente y maximizar tu rendimiento de producción.
    • Los sistemas VPG+ cuentan con una excelente resolución submicrométrica y calidad de imagen, lo que garantiza la transferencia precisa de sus patrones de diseño a la fotomáscara para obtener pantallas impecables.
    • La herramienta de calibración automática optimiza su flujo de trabajo al garantizar un registro y posicionamiento excelentes de las estructuras escritas, lo que le ahorra tiempo y minimiza los errores.
    • La plataforma de precisión de gran formato con diseño de vacío flexible admite sustratos de hasta 1850 mm, lo que la hace ideal para satisfacer las exigencias de las fotomáscaras de pantallas medianas y grandes.
    • La cámara ambiental de bucle cerrado mantiene unas condiciones óptimas durante todo el proceso, garantizando una calidad constante de la máscara, tirada tras tirada.
    • Los modelos VPG+ 1400 FPD y VPG+ 1850 FPD son compatibles con todos los formatos de datos industriales, lo que permite una integración fluida con tus flujos de trabajo de diseño y fabricación actuales.

    Invierta en el futuro de la tecnología de pantallas.

    Los VPG+ 1400 FPD y VPG+ 1850 FPD son una inversión en el futuro de sus capacidades de producción de pantallas. Al implementarlos en su producción, podrá lograr:

    • Calidad de máscara excepcional para un rendimiento de pantalla impecable.
    • Alto rendimiento para una producción de pantallas de gran volumen y mayor rentabilidad.
    • Costos de producción reducidos a un precio de herramienta altamente económico.
    • Operación eficiente de la herramienta y rendimiento fiable.
    • Tecnología preparada para el futuro que se adapta a las exigencias de las pantallas de próxima generación.

    Complemente la fabricación de sus pantallas con una herramienta altamente económica. Contáctenos para descubrir cómo los sistemas VPG+ pueden acelerar su producción de fotomáscaras.

  • Características destacadas

  • Calidad de la exposición

    Rugosidad del borde: 20 nm; uniformidad local del CD: 50 nm; cuadrícula de direcciones: 8 nm; corrección Mura; detección de bordes.

    Estabilidad de escritura

    Cámara climática de gran estabilidad, compensaciones climáticas en tiempo real y correcciones de software para cualquier variación ambiental.

    Alineación automatizada

    Paquete de metrología con alineación global y campo por campo automatizada con corrección de distorsión. Sofisticada matriz de corrección 2D para la calibración de la posición de la plataforma y la adaptación de herramientas.

    Escalabilidad

    Se adapta fácilmente a todos los tamaños, desde fotomáscaras pequeñas y medianas hasta pantallas G8.6.

    Mura Control

    Optimización del paso y del paso del panel.

  • Módulos disponibles

  • Manipulación de fotomáscaras

    Carga semiautomática de sustratos.

    Personalización

    Sustratos especiales, cargador o manipulación de máscaras bajo pedido.

La máxima eficiencia se une a una calidad superior con los modelos VPG+ 1400 FPD y VPG+ 1850 FPD, los generadores de patrones de gran volumen (Volume Pattern Generators) definitivos para la producción a gran escala que utilizan los fabricantes de fotomáscaras de todo el mundo. Son nuestros sistemas más grandes, diseñados específicamente para el sector de las pantallas y adaptados para el patrón de alto rendimiento de fotomáscaras de gran superficie, de hasta el tamaño G8.6 y con un área máxima de exposición de 1400 x 1800 mm². Son la solución óptima para los fabricantes que buscan destacar en el sector de las pantallas planas.

Los VPG+ 1400 FPD y VPG+ 1850 FPD están diseñados para exposiciones rápidas y de alta calidad con una alineación extremadamente precisa. Cuentan con un interferómetro diferencial con una resolución de hasta 1.2 nm. La optimización Mura garantiza una excelente uniformidad y resolución de CD (Critical Dimension), mientras que la cámara ambiental de circuito cerrado cumple con los requisitos más estrictos para la fabricación avanzada de fotomáscaras.

Mejora tu fabricación de FPD

  • Pantallas impecables: Los modelos VPG+ 1400 FPD y VPG+ 1850 FPD están optimizados para la creación de fotomáscaras de alta resolución —incluidas las máscaras de semitonos— utilizadas en la producción de componentes clave de las pantallas planas (FPD), tales como filtros de color (CF), matrices de transistores de película fina (TFT), electrodos de óxido de indio y estaño (ITO), paneles táctiles (TP), máscaras metálicas finas (FMM), diodos orgánicos emisores de luz de matriz activa (AMOLED) u otras capas relacionadas con las pantallas de cristal líquido (LCD) y los diodos orgánicos emisores de luz (OLED).
  • Rendimiento excepcional: Las excepcionales capacidades de rendimiento de los sistemas VPG+ garantizan una rápida producción de máscaras, lo que te permite satisfacer las exigencias de la fabricación de pantallas a gran escala y optimizar tu línea de producción.
  • Máxima precisión y fiabilidad: Los modelos VPG+ 1400 FPD y VPG+ 1850 FPD ofrecen la precisión y la resolución necesarias para crear patrones complejos en máscaras de gran formato, lo que garantiza una transferencia impecable de tus diseños. Funcionan de forma fiable las 24 horas del día, los 7 días de la semana, lo que permite plazos de entrega predecibles.
  • Metrología avanzada: Paquete de metrología incluido y funciones de adaptación de herramientas para capacidades precisas de alineación de la segunda capa utilizadas en la producción de máscaras de tonos grises de gran superficie.

Maximizar el rendimiento

  • El motor de exposición ultrarrápida y el láser DPSS de alta potencia reducen drásticamente los tiempos de escritura, lo que te permite producir máscaras más rápidamente y maximizar tu rendimiento de producción.
  • Los sistemas VPG+ cuentan con una excelente resolución submicrométrica y calidad de imagen, lo que garantiza la transferencia precisa de sus patrones de diseño a la fotomáscara para obtener pantallas impecables.
  • La herramienta de calibración automática optimiza su flujo de trabajo al garantizar un registro y posicionamiento excelentes de las estructuras escritas, lo que le ahorra tiempo y minimiza los errores.
  • La plataforma de precisión de gran formato con diseño de vacío flexible admite sustratos de hasta 1850 mm, lo que la hace ideal para satisfacer las exigencias de las fotomáscaras de pantallas medianas y grandes.
  • La cámara ambiental de bucle cerrado mantiene unas condiciones óptimas durante todo el proceso, garantizando una calidad constante de la máscara, tirada tras tirada.
  • Los modelos VPG+ 1400 FPD y VPG+ 1850 FPD son compatibles con todos los formatos de datos industriales, lo que permite una integración fluida con tus flujos de trabajo de diseño y fabricación actuales.

Invierta en el futuro de la tecnología de pantallas.

Los VPG+ 1400 FPD y VPG+ 1850 FPD son una inversión en el futuro de sus capacidades de producción de pantallas. Al implementarlos en su producción, podrá lograr:

  • Calidad de máscara excepcional para un rendimiento de pantalla impecable.
  • Alto rendimiento para una producción de pantallas de gran volumen y mayor rentabilidad.
  • Costos de producción reducidos a un precio de herramienta altamente económico.
  • Operación eficiente de la herramienta y rendimiento fiable.
  • Tecnología preparada para el futuro que se adapta a las exigencias de las pantallas de próxima generación.

Complemente la fabricación de sus pantallas con una herramienta altamente económica. Contáctenos para descubrir cómo los sistemas VPG+ pueden acelerar su producción de fotomáscaras.

La máxima eficiencia se une a una calidad superior con los modelos VPG+ 1400 FPD y VPG+ 1850 FPD, los generadores de patrones de gran volumen (Volume Pattern Generators) definitivos para la producción a gran escala que utilizan los fabricantes de fotomáscaras de todo el mundo. Son nuestros sistemas más grandes, diseñados específicamente para el sector de las pantallas y adaptados para el patrón de alto rendimiento de fotomáscaras de gran superficie, de hasta el tamaño G8.6 y con un área máxima de exposición de 1400 x 1800 mm². Son la solución óptima para los fabricantes que buscan destacar en el sector de las pantallas planas.

Los VPG+ 1400 FPD y VPG+ 1850 FPD están diseñados para exposiciones rápidas y de alta calidad con una alineación extremadamente precisa. Cuentan con un interferómetro diferencial con una resolución de hasta 1.2 nm. La optimización Mura garantiza una excelente uniformidad y resolución de CD (Critical Dimension), mientras que la cámara ambiental de circuito cerrado cumple con los requisitos más estrictos para la fabricación avanzada de fotomáscaras.

Mejora tu fabricación de FPD

  • Pantallas impecables: Los modelos VPG+ 1400 FPD y VPG+ 1850 FPD están optimizados para la creación de fotomáscaras de alta resolución —incluidas las máscaras de semitonos— utilizadas en la producción de componentes clave de las pantallas planas (FPD), tales como filtros de color (CF), matrices de transistores de película fina (TFT), electrodos de óxido de indio y estaño (ITO), paneles táctiles (TP), máscaras metálicas finas (FMM), diodos orgánicos emisores de luz de matriz activa (AMOLED) u otras capas relacionadas con las pantallas de cristal líquido (LCD) y los diodos orgánicos emisores de luz (OLED).
  • Rendimiento excepcional: Las excepcionales capacidades de rendimiento de los sistemas VPG+ garantizan una rápida producción de máscaras, lo que te permite satisfacer las exigencias de la fabricación de pantallas a gran escala y optimizar tu línea de producción.
  • Máxima precisión y fiabilidad: Los modelos VPG+ 1400 FPD y VPG+ 1850 FPD ofrecen la precisión y la resolución necesarias para crear patrones complejos en máscaras de gran formato, lo que garantiza una transferencia impecable de tus diseños. Funcionan de forma fiable las 24 horas del día, los 7 días de la semana, lo que permite plazos de entrega predecibles.
  • Metrología avanzada: Paquete de metrología incluido y funciones de adaptación de herramientas para capacidades precisas de alineación de la segunda capa utilizadas en la producción de máscaras de tonos grises de gran superficie.

Maximizar el rendimiento

  • El motor de exposición ultrarrápida y el láser DPSS de alta potencia reducen drásticamente los tiempos de escritura, lo que te permite producir máscaras más rápidamente y maximizar tu rendimiento de producción.
  • Los sistemas VPG+ cuentan con una excelente resolución submicrométrica y calidad de imagen, lo que garantiza la transferencia precisa de sus patrones de diseño a la fotomáscara para obtener pantallas impecables.
  • La herramienta de calibración automática optimiza su flujo de trabajo al garantizar un registro y posicionamiento excelentes de las estructuras escritas, lo que le ahorra tiempo y minimiza los errores.
  • La plataforma de precisión de gran formato con diseño de vacío flexible admite sustratos de hasta 1850 mm, lo que la hace ideal para satisfacer las exigencias de las fotomáscaras de pantallas medianas y grandes.
  • La cámara ambiental de bucle cerrado mantiene unas condiciones óptimas durante todo el proceso, garantizando una calidad constante de la máscara, tirada tras tirada.
  • Los modelos VPG+ 1400 FPD y VPG+ 1850 FPD son compatibles con todos los formatos de datos industriales, lo que permite una integración fluida con tus flujos de trabajo de diseño y fabricación actuales.

Invierta en el futuro de la tecnología de pantallas.

Los VPG+ 1400 FPD y VPG+ 1850 FPD son una inversión en el futuro de sus capacidades de producción de pantallas. Al implementarlos en su producción, podrá lograr:

  • Calidad de máscara excepcional para un rendimiento de pantalla impecable.
  • Alto rendimiento para una producción de pantallas de gran volumen y mayor rentabilidad.
  • Costos de producción reducidos a un precio de herramienta altamente económico.
  • Operación eficiente de la herramienta y rendimiento fiable.
  • Tecnología preparada para el futuro que se adapta a las exigencias de las pantallas de próxima generación.

Complemente la fabricación de sus pantallas con una herramienta altamente económica. Contáctenos para descubrir cómo los sistemas VPG+ pueden acelerar su producción de fotomáscaras.

Calidad de la exposición

Rugosidad del borde: 20 nm; uniformidad local del CD: 50 nm; cuadrícula de direcciones: 8 nm; corrección Mura; detección de bordes.

Estabilidad de escritura

Cámara climática de gran estabilidad, compensaciones climáticas en tiempo real y correcciones de software para cualquier variación ambiental.

Alineación automatizada

Paquete de metrología con alineación global y campo por campo automatizada con corrección de distorsión. Sofisticada matriz de corrección 2D para la calibración de la posición de la plataforma y la adaptación de herramientas.

Escalabilidad

Se adapta fácilmente a todos los tamaños, desde fotomáscaras pequeñas y medianas hasta pantallas G8.6.

Mura Control

Optimización del paso y del paso del panel.

Manipulación de fotomáscaras

Carga semiautomática de sustratos.

Personalización

Sustratos especiales, cargador o manipulación de máscaras bajo pedido.

Aplicaciones para clientes

Producción de máscara VPG 1400
Desde 2007, los sistemas VPG y sus sucesores VPG+ han demostrado ser la solución ideal para la producción masiva de fotomáscaras exigentes — especialmente para empaquetado electrónico, filtros de color, LED y paneles táctiles. Como master en fabricación fotolitográfica, dichas fotomáscaras deben cumplir los más altos requisitos de uniformidad de anchura de línea, precisión de colocación, rugosidad de borde y tamaño mínimo de estructura.
La serie VPG+ puede utilizarse para todas las aplicaciones relacionadas con pantallas. En este campo, los requisitos de calidad de las fotomáscaras son excepcionales. Una especificación clave es la condición "Mura", que describe la desigualdad resultante de cualquier perturbación en un patrón periódico regular. Si no se cumple la condición Mura, la pantalla final puede mostrar manchas oscuras o parches. La serie V de sistemas de litografía sin máscara ofrece una función especial de optimización Mura para lograr una buena uniformidad de Mura, excelente uniformidad de CD y resolución.
La serie VPG+ puede utilizarse para todas las aplicaciones relacionadas con pantallas. En este campo, los requisitos de calidad de las fotomáscaras son excepcionales. Una especificación clave es la condición "Mura", que describe la desigualdad resultante de cualquier perturbación en un patrón periódico regular. Si no se cumple la condición Mura, la pantalla final puede mostrar manchas oscuras o parches. La serie V de sistemas de litografía sin máscara ofrece una función especial de optimización Mura para lograr una buena uniformidad de Mura, excelente uniformidad de CD y resolución.
Patrón de aplicación de pantalla sobre máscara de cromo tras grabado y eliminación de resina
Patrón de prueba para aplicación de pantalla sobre máscara de cromo tras grabado y eliminación de resina
Patrón de aplicación de pantalla sobre máscara de cromo tras grabado y eliminación de resina
Patrón de aplicación de pantalla sobre máscara de cromo tras grabado y eliminación de resina
Patrón de aplicación de pantalla sobre máscara de cromo tras grabado y eliminación de resina
Patrón de aplicación de pantalla sobre máscara de cromo tras grabado y eliminación de resina
Patrón de aplicación de pantalla sobre máscara de cromo tras grabado y eliminación de resina
Patrón de aplicación de pantalla sobre máscara de cromo tras grabado y eliminación de resina
Patrón de aplicación de pantalla sobre máscara de cromo tras grabado y eliminación de resina
Patrón de aplicación de pantalla sobre máscara de cromo tras grabado y eliminación de resina
Patrón de aplicación de pantalla sobre máscara de cromo tras grabado y eliminación de resina
Patrón de aplicación de pantalla sobre máscara de cromo tras grabado y eliminación de resina
Patrón de aplicación de pantalla sobre máscara de cromo tras grabado y eliminación de resina
Patrón de aplicación de pantalla sobre máscara de cromo tras grabado y eliminación de resina

Por qué los clientes eligen nuestros sistemas

"La VPG nos permite realizar líneas de cobre e interconexiones chip a chip con un tamaño de hasta 1 µm, que es tres veces menor en tamaño de característica que cuando se utiliza el proceso convencional de alineador de máscaras".

Markus Wöhrmann
Jefe de Grupo de Litografía y Polímeros de Capa Fina para Embalaje a Nivel de Oblea
Instituto Fraunhofer de Microintegración y Fiabilidad
Berlín, Alemania

"En TNO @ Holst Centre, la VPG Heidelberg Instruments es fundamental en nuestro esfuerzo de Investigación y Desarrollo, ya que proporciona la capacidad de realizar ciclos rápidos a través de iteraciones de diseño y desarrollar y optimizar los flujos del proceso de fabricación de estos diseños."

Auke Jisk Kronemeijer, Director de Investigación de Electrónica de Capa Fina
TNO @ Holst Centre
Eindhoven, Países Bajos

Datos técnicos

Modo escrituraQXFXFX
Rendimiento de escrituraAlta calidadAlto rendimientoAlto rendimiento
Tamaño mínimo de la estructura [μm]0.811
Cuadrícula de direcciones [nm]888
Rugosidad del borde [3σ, nm]204040
Uniformidad global del CD [3σ, nm]5070
Uniformidad local del CD [3σ, nm]5025070
Superposición placa a placa (G8) [3σ, nm]40250
Costura [3σ, nm]4010050
Alineación de la segunda capa (1000 x 1000 mm²) [media + 3σ nm]1375400
Velocidad de escritura [mm²/min]14502900
Características del sistema
Fuente de luzLáser DPSS de alta potencia con 355 nm
Tamaños máximos de sustrato1400 x 1500 mm² (VPG+ 1400 FPD) / 1400 x 1850 mm² (VPG+ 1850 FPD)
Grosor del sustrato0 a 15 mm
Área máxima de exposición1400 x 1400 mm² (VPG+ 1400 FPD) / 1400 x 1800 mm² (VPG+ 1850 FPD)
AutoenfoqueSistema de autoenfoque en tiempo real (óptico y neumático)
Rango de compensación del enfoque automático250 µm
AutomatizaciónSistema de carga semiautomático
Caja de flujoCámara ambiental de circuito cerrado con temperatura controlada
Alineación Sistema de cámara para metrología y alineación
Otras característicasSoftware de corrección matricial para la calibración de la posición del escenario, optimización de Mura y del paso de los paneles, sistema de detección de bordes, múltiples formatos de entrada de datos (archivos DXF, CIF, GDSII y Gerber).
Dimensiones del sistema
Unidad principal (puertas cerradas, pala cargadora extendida)
Anchura [mm]5370
Profundidad [mm]7000
Altura [mm]2800
Peso [kg]25000
Requisitos de instalación
Eléctrico400 VCA ± 5 %, 50/60 Hz, 32 A
Aire comprimido8 - 10 bar

Ten en cuenta
Las especificaciones dependen de las condiciones individuales del proceso y pueden variar según la configuración del equipo. La velocidad de escritura depende del tamaño del píxel y del modo de escritura. El diseño y las especificaciones están sujetos a cambios sin previo aviso.

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