VPG+ 1400 FPD

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Diseñado para la producción de fotomáscaras en sustratos grandes en aplicaciones de pantalla

  • Product Description

  • Una eficiencia revolucionaria se une a una calidad superior con el VPG+ 1400 FPD, el Generador de Patrones de Volumen definitivo para la producción de grandes volúmenes utilizado por fabricantes de fotomáscaras de todo el mundo. Es nuestro mayor sistema diseñado específicamente para la industria de las pantallas y adaptado para el patronaje de alto rendimiento de fotomáscaras de gran superficie (1,4 m). Es óptimo para aplicaciones de pantallas planas (FPD), diseñado específicamente para manipular sustratos de gran formato, lo que lo convierte en una solución ideal para los fabricantes que buscan destacar en la industria de las pantallas.

    La VPG+ El 1400 FPD está diseñado para exposiciones rápidas y de alta calidad con una alineación extremadamente precisa. Incorpora un interferómetro diferencial con una resolución de hasta 1,2 nm. La optimización de la Mura garantiza una excelente uniformidad y resolución del CD, mientras que la cámara ambiental de bucle cerrado cumple los requisitos más estrictos para la fabricación avanzada de fotomáscaras.

    Mejora tu fabricación de FPD

    • Pantallas impecables: La VPG+ 1400 FPD es tu única herramienta para crear fotomáscaras de alta resolución utilizadas en la producción de componentes clave de las pantallas, como matrices TFT, filtros de color y electrodos de óxido de indio y estaño (ITO). Consigue la precisión y calidad que exigen tus pantallas de próxima generación.
    • Rendimiento excepcional: La excepcional capacidad de rendimiento del FPD VPG+ 1400 garantiza una rápida producción de máscaras, lo que te permite satisfacer las exigencias de la fabricación de pantallas de gran volumen y optimizar tu línea de producción.
    • Máxima precisión y fiabilidad: La VPG+ 1400 FPD ofrece la precisión y resolución necesarias para crear patrones intrincados en máscaras de gran formato, garantizando una transferencia impecable de tus diseños. Funciona de forma fiable 24 horas al día, 7 días a la semana, para unos plazos de entrega predecibles.
    • Metrología avanzada: Paquete de metrología incluido y funciones de ajuste de herramientas para capacidades de alineación precisa de la 2ª capa utilizadas en la producción de máscaras de tonos grises de gran superficie.

    Maximizar el rendimiento

    • El motor de exposición ultrarrápida y el láser DPSS de alta potencia reducen drásticamente los tiempos de escritura, lo que te permite producir máscaras más rápidamente y maximizar tu rendimiento de producción.
    • El FPD VPG+ 1400 tiene una resolución y una calidad de imagen excelentes por debajo de los µm, lo que garantiza la transferencia precisa de tus patrones de diseño a la fotomáscara para obtener pantallas impecables.
    • La herramienta de calibración automática agiliza tu flujo de trabajo garantizando un registro y posicionamiento excelentes de las estructuras escritas, ahorrándote tiempo y minimizando los errores.
    • La platina de precisión de gran formato con disposición de vacío flexible admite sustratos de hasta 1.400 mm, lo que la hace ideal para responder a las exigencias de las fotomáscaras de pantalla medianas y grandes.
    • La cámara ambiental de bucle cerrado mantiene unas condiciones óptimas durante todo el proceso, garantizando una calidad constante de la máscara, tirada tras tirada.
    • El FPD VPG+ 1400 es compatible con todos los formatos de datos industriales, lo que permite una integración sin problemas con tus flujos de trabajo de diseño y fabricación existentes.

    Invierte en el futuro de la tecnología de visualización

    El FPD VPG+ 1400 es una inversión en el futuro de tus capacidades de producción de pantallas. Al implementarla en tu producción, puedes conseguir:

    • Calidad de máscara excepcional para un rendimiento de visualización impecable.
    • Alto rendimiento para una producción de pantallas de gran volumen y mayor rentabilidad.
    • Costes de producción reducidos a un precio de herramienta muy económico.
    • Funcionamiento eficaz de la herramienta y rendimiento fiable.
    • Tecnología preparada para el futuro que se adapta a las exigencias de las pantallas de próxima generación.

    Complementa tu fabricación de pantallas con una herramienta muy económica. Ponte en contacto con nosotros para descubrir cómo la VPG+ 1400 puede acelerar tu producción de fotomáscaras.

    Una eficiencia revolucionaria se une a una calidad superior con el VPG+ 1400 FPD, el Generador de Patrones de Volumen definitivo para la producción de grandes volúmenes utilizado por fabricantes de fotomáscaras de todo el mundo. Es nuestro mayor sistema diseñado específicamente para la industria de las pantallas y adaptado para el patronaje de alto rendimiento de fotomáscaras de gran superficie (1,4 m). Es óptimo para aplicaciones de pantallas planas (FPD), diseñado específicamente para manipular sustratos de gran formato, lo que lo convierte en una solución ideal para los fabricantes que buscan destacar en la industria de las pantallas.

    La VPG+ El 1400 FPD está diseñado para exposiciones rápidas y de alta calidad con una alineación extremadamente precisa. Incorpora un interferómetro diferencial con una resolución de hasta 1,2 nm. La optimización de la Mura garantiza una excelente uniformidad y resolución del CD, mientras que la cámara ambiental de bucle cerrado cumple los requisitos más estrictos para la fabricación avanzada de fotomáscaras.

    Mejora tu fabricación de FPD

    • Pantallas impecables: La VPG+ 1400 FPD es tu única herramienta para crear fotomáscaras de alta resolución utilizadas en la producción de componentes clave de las pantallas, como matrices TFT, filtros de color y electrodos de óxido de indio y estaño (ITO). Consigue la precisión y calidad que exigen tus pantallas de próxima generación.
    • Rendimiento excepcional: La excepcional capacidad de rendimiento del FPD VPG+ 1400 garantiza una rápida producción de máscaras, lo que te permite satisfacer las exigencias de la fabricación de pantallas de gran volumen y optimizar tu línea de producción.
    • Máxima precisión y fiabilidad: La VPG+ 1400 FPD ofrece la precisión y resolución necesarias para crear patrones intrincados en máscaras de gran formato, garantizando una transferencia impecable de tus diseños. Funciona de forma fiable 24 horas al día, 7 días a la semana, para unos plazos de entrega predecibles.
    • Metrología avanzada: Paquete de metrología incluido y funciones de ajuste de herramientas para capacidades de alineación precisa de la 2ª capa utilizadas en la producción de máscaras de tonos grises de gran superficie.

    Maximizar el rendimiento

    • El motor de exposición ultrarrápida y el láser DPSS de alta potencia reducen drásticamente los tiempos de escritura, lo que te permite producir máscaras más rápidamente y maximizar tu rendimiento de producción.
    • El FPD VPG+ 1400 tiene una resolución y una calidad de imagen excelentes por debajo de los µm, lo que garantiza la transferencia precisa de tus patrones de diseño a la fotomáscara para obtener pantallas impecables.
    • La herramienta de calibración automática agiliza tu flujo de trabajo garantizando un registro y posicionamiento excelentes de las estructuras escritas, ahorrándote tiempo y minimizando los errores.
    • La platina de precisión de gran formato con disposición de vacío flexible admite sustratos de hasta 1.400 mm, lo que la hace ideal para responder a las exigencias de las fotomáscaras de pantalla medianas y grandes.
    • La cámara ambiental de bucle cerrado mantiene unas condiciones óptimas durante todo el proceso, garantizando una calidad constante de la máscara, tirada tras tirada.
    • El FPD VPG+ 1400 es compatible con todos los formatos de datos industriales, lo que permite una integración sin problemas con tus flujos de trabajo de diseño y fabricación existentes.

    Invierte en el futuro de la tecnología de visualización

    El FPD VPG+ 1400 es una inversión en el futuro de tus capacidades de producción de pantallas. Al implementarla en tu producción, puedes conseguir:

    • Calidad de máscara excepcional para un rendimiento de visualización impecable.
    • Alto rendimiento para una producción de pantallas de gran volumen y mayor rentabilidad.
    • Costes de producción reducidos a un precio de herramienta muy económico.
    • Funcionamiento eficaz de la herramienta y rendimiento fiable.
    • Tecnología preparada para el futuro que se adapta a las exigencias de las pantallas de próxima generación.

    Complementa tu fabricación de pantallas con una herramienta muy económica. Ponte en contacto con nosotros para descubrir cómo la VPG+ 1400 puede acelerar tu producción de fotomáscaras.

  • Product Highlights

  • Calidad de la exposición

    Rugosidad de los bordes 20 nm; uniformidad CD local 50 nm; cuadrícula de dirección 8 nm; corrección Mura, detección de bordes.

    Estabilidad de escritura

    Cámara climática de gran estabilidad, compensaciones climáticas en tiempo real y correcciones de software para cualquier variación ambiental.

    Alineación automatizada

    Paquete de metrología con alineación automatizada global y campo a campo con corrección de la distorsión. Sofisticada matriz de corrección 2D para calibrar la posición de la platina y ajustar la herramienta.

    Escalabilidad

    Escala fácilmente para todos los tamaños, desde pequeñas y medianas hasta fotomáscaras de exposición G8.

    Mura Control

    Optimización del paso y del paso del panel.

  • Available Modules

  • Manipulación de fotomáscaras

    Carga semiautomática de sustratos.

    Personalización

    Sustratos especiales, cargador o manipulación de máscaras bajo pedido.

Una eficiencia revolucionaria se une a una calidad superior con el VPG+ 1400 FPD, el Generador de Patrones de Volumen definitivo para la producción de grandes volúmenes utilizado por fabricantes de fotomáscaras de todo el mundo. Es nuestro mayor sistema diseñado específicamente para la industria de las pantallas y adaptado para el patronaje de alto rendimiento de fotomáscaras de gran superficie (1,4 m). Es óptimo para aplicaciones de pantallas planas (FPD), diseñado específicamente para manipular sustratos de gran formato, lo que lo convierte en una solución ideal para los fabricantes que buscan destacar en la industria de las pantallas.

La VPG+ El 1400 FPD está diseñado para exposiciones rápidas y de alta calidad con una alineación extremadamente precisa. Incorpora un interferómetro diferencial con una resolución de hasta 1,2 nm. La optimización de la Mura garantiza una excelente uniformidad y resolución del CD, mientras que la cámara ambiental de bucle cerrado cumple los requisitos más estrictos para la fabricación avanzada de fotomáscaras.

Mejora tu fabricación de FPD

  • Pantallas impecables: La VPG+ 1400 FPD es tu única herramienta para crear fotomáscaras de alta resolución utilizadas en la producción de componentes clave de las pantallas, como matrices TFT, filtros de color y electrodos de óxido de indio y estaño (ITO). Consigue la precisión y calidad que exigen tus pantallas de próxima generación.
  • Rendimiento excepcional: La excepcional capacidad de rendimiento del FPD VPG+ 1400 garantiza una rápida producción de máscaras, lo que te permite satisfacer las exigencias de la fabricación de pantallas de gran volumen y optimizar tu línea de producción.
  • Máxima precisión y fiabilidad: La VPG+ 1400 FPD ofrece la precisión y resolución necesarias para crear patrones intrincados en máscaras de gran formato, garantizando una transferencia impecable de tus diseños. Funciona de forma fiable 24 horas al día, 7 días a la semana, para unos plazos de entrega predecibles.
  • Metrología avanzada: Paquete de metrología incluido y funciones de ajuste de herramientas para capacidades de alineación precisa de la 2ª capa utilizadas en la producción de máscaras de tonos grises de gran superficie.

Maximizar el rendimiento

  • El motor de exposición ultrarrápida y el láser DPSS de alta potencia reducen drásticamente los tiempos de escritura, lo que te permite producir máscaras más rápidamente y maximizar tu rendimiento de producción.
  • El FPD VPG+ 1400 tiene una resolución y una calidad de imagen excelentes por debajo de los µm, lo que garantiza la transferencia precisa de tus patrones de diseño a la fotomáscara para obtener pantallas impecables.
  • La herramienta de calibración automática agiliza tu flujo de trabajo garantizando un registro y posicionamiento excelentes de las estructuras escritas, ahorrándote tiempo y minimizando los errores.
  • La platina de precisión de gran formato con disposición de vacío flexible admite sustratos de hasta 1.400 mm, lo que la hace ideal para responder a las exigencias de las fotomáscaras de pantalla medianas y grandes.
  • La cámara ambiental de bucle cerrado mantiene unas condiciones óptimas durante todo el proceso, garantizando una calidad constante de la máscara, tirada tras tirada.
  • El FPD VPG+ 1400 es compatible con todos los formatos de datos industriales, lo que permite una integración sin problemas con tus flujos de trabajo de diseño y fabricación existentes.

Invierte en el futuro de la tecnología de visualización

El FPD VPG+ 1400 es una inversión en el futuro de tus capacidades de producción de pantallas. Al implementarla en tu producción, puedes conseguir:

  • Calidad de máscara excepcional para un rendimiento de visualización impecable.
  • Alto rendimiento para una producción de pantallas de gran volumen y mayor rentabilidad.
  • Costes de producción reducidos a un precio de herramienta muy económico.
  • Funcionamiento eficaz de la herramienta y rendimiento fiable.
  • Tecnología preparada para el futuro que se adapta a las exigencias de las pantallas de próxima generación.

Complementa tu fabricación de pantallas con una herramienta muy económica. Ponte en contacto con nosotros para descubrir cómo la VPG+ 1400 puede acelerar tu producción de fotomáscaras.

Una eficiencia revolucionaria se une a una calidad superior con el VPG+ 1400 FPD, el Generador de Patrones de Volumen definitivo para la producción de grandes volúmenes utilizado por fabricantes de fotomáscaras de todo el mundo. Es nuestro mayor sistema diseñado específicamente para la industria de las pantallas y adaptado para el patronaje de alto rendimiento de fotomáscaras de gran superficie (1,4 m). Es óptimo para aplicaciones de pantallas planas (FPD), diseñado específicamente para manipular sustratos de gran formato, lo que lo convierte en una solución ideal para los fabricantes que buscan destacar en la industria de las pantallas.

La VPG+ El 1400 FPD está diseñado para exposiciones rápidas y de alta calidad con una alineación extremadamente precisa. Incorpora un interferómetro diferencial con una resolución de hasta 1,2 nm. La optimización de la Mura garantiza una excelente uniformidad y resolución del CD, mientras que la cámara ambiental de bucle cerrado cumple los requisitos más estrictos para la fabricación avanzada de fotomáscaras.

Mejora tu fabricación de FPD

  • Pantallas impecables: La VPG+ 1400 FPD es tu única herramienta para crear fotomáscaras de alta resolución utilizadas en la producción de componentes clave de las pantallas, como matrices TFT, filtros de color y electrodos de óxido de indio y estaño (ITO). Consigue la precisión y calidad que exigen tus pantallas de próxima generación.
  • Rendimiento excepcional: La excepcional capacidad de rendimiento del FPD VPG+ 1400 garantiza una rápida producción de máscaras, lo que te permite satisfacer las exigencias de la fabricación de pantallas de gran volumen y optimizar tu línea de producción.
  • Máxima precisión y fiabilidad: La VPG+ 1400 FPD ofrece la precisión y resolución necesarias para crear patrones intrincados en máscaras de gran formato, garantizando una transferencia impecable de tus diseños. Funciona de forma fiable 24 horas al día, 7 días a la semana, para unos plazos de entrega predecibles.
  • Metrología avanzada: Paquete de metrología incluido y funciones de ajuste de herramientas para capacidades de alineación precisa de la 2ª capa utilizadas en la producción de máscaras de tonos grises de gran superficie.

Maximizar el rendimiento

  • El motor de exposición ultrarrápida y el láser DPSS de alta potencia reducen drásticamente los tiempos de escritura, lo que te permite producir máscaras más rápidamente y maximizar tu rendimiento de producción.
  • El FPD VPG+ 1400 tiene una resolución y una calidad de imagen excelentes por debajo de los µm, lo que garantiza la transferencia precisa de tus patrones de diseño a la fotomáscara para obtener pantallas impecables.
  • La herramienta de calibración automática agiliza tu flujo de trabajo garantizando un registro y posicionamiento excelentes de las estructuras escritas, ahorrándote tiempo y minimizando los errores.
  • La platina de precisión de gran formato con disposición de vacío flexible admite sustratos de hasta 1.400 mm, lo que la hace ideal para responder a las exigencias de las fotomáscaras de pantalla medianas y grandes.
  • La cámara ambiental de bucle cerrado mantiene unas condiciones óptimas durante todo el proceso, garantizando una calidad constante de la máscara, tirada tras tirada.
  • El FPD VPG+ 1400 es compatible con todos los formatos de datos industriales, lo que permite una integración sin problemas con tus flujos de trabajo de diseño y fabricación existentes.

Invierte en el futuro de la tecnología de visualización

El FPD VPG+ 1400 es una inversión en el futuro de tus capacidades de producción de pantallas. Al implementarla en tu producción, puedes conseguir:

  • Calidad de máscara excepcional para un rendimiento de visualización impecable.
  • Alto rendimiento para una producción de pantallas de gran volumen y mayor rentabilidad.
  • Costes de producción reducidos a un precio de herramienta muy económico.
  • Funcionamiento eficaz de la herramienta y rendimiento fiable.
  • Tecnología preparada para el futuro que se adapta a las exigencias de las pantallas de próxima generación.

Complementa tu fabricación de pantallas con una herramienta muy económica. Ponte en contacto con nosotros para descubrir cómo la VPG+ 1400 puede acelerar tu producción de fotomáscaras.

Calidad de la exposición

Rugosidad de los bordes 20 nm; uniformidad CD local 50 nm; cuadrícula de dirección 8 nm; corrección Mura, detección de bordes.

Estabilidad de escritura

Cámara climática de gran estabilidad, compensaciones climáticas en tiempo real y correcciones de software para cualquier variación ambiental.

Alineación automatizada

Paquete de metrología con alineación automatizada global y campo a campo con corrección de la distorsión. Sofisticada matriz de corrección 2D para calibrar la posición de la platina y ajustar la herramienta.

Escalabilidad

Escala fácilmente para todos los tamaños, desde pequeñas y medianas hasta fotomáscaras de exposición G8.

Mura Control

Optimización del paso y del paso del panel.

Manipulación de fotomáscaras

Carga semiautomática de sustratos.

Personalización

Sustratos especiales, cargador o manipulación de máscaras bajo pedido.

Customer applications

Since 2007, VPG systems and their successors, the VPG+ systems, have proved to be the ideal solution for the high-volume production of demanding photomasks — especially for electronic packaging, color filters, light-emitting diodes, and touch panels. As a master template for photolithographic manufacturing, such photomasks have to fulfill the highest requirements for line width uniformity, pattern position accuracy, edge roughness, and minimum feature size.
Since 2007, VPG systems and their successors, the VPG+ systems, have proved to be the ideal solution for the high-volume production of demanding photomasks — especially for electronic packaging, color filters, light-emitting diodes, and touch panels. As a master template for photolithographic manufacturing, such photomasks have to fulfill the highest requirements for line width uniformity, pattern position accuracy, edge roughness, and minimum feature size.
The VPG+ series can be used for all display-related applications. In this field, the quality requirements on photomasks are exceptional. One key specification is the so-called Mura condition, describing 'unevenness' as a result of any disturbance in a regular periodic pattern. If the Mura condition fails to meet the requirements, the final display might have dark spots or patches. The V series of Maskless Lithography Systems offers a special Mura optimization function for good Mura condition, excellent CD uniformity, and resolution.
The VPG+ series can be used for all display-related applications. In this field, the quality requirements on photomasks are exceptional. One key specification is the so-called Mura condition, describing 'unevenness' as a result of any disturbance in a regular periodic pattern. If the Mura condition fails to meet the requirements, the final display might have dark spots or patches. The V series of Maskless Lithography Systems offers a special Mura optimization function for good Mura condition, excellent CD uniformity, and resolution.
Display application test pattern on chrome mask after etching and resist stripping.
Display application test pattern on chrome mask after etching and resist stripping.
Display application pattern on chrome mask after etching and resist stripping.
Display application pattern on chrome mask after etching and resist stripping.
Display application pattern on chrome mask after etching and resist stripping.
Display application pattern on chrome mask after etching and resist stripping.
Display application pattern on chrome mask after etching and resist stripping.
Display application pattern on chrome mask after etching and resist stripping.
Display application pattern on chrome mask after etching and resist stripping.
Display application pattern on chrome mask after etching and resist stripping.
Display application pattern on chrome mask after etching and resist stripping.
Display application pattern on chrome mask after etching and resist stripping.
Display application pattern on chrome mask after etching and resist stripping.
Display application pattern on chrome mask after etching and resist stripping.

Why customers choose our systems

"La VPG nos permite realizar líneas de cobre e interconexiones chip a chip con un tamaño de hasta 1 µm, que es tres veces menor en tamaño de característica que cuando se utiliza el proceso convencional de alineador de máscaras".

Markus Wöhrmann
Jefe de Grupo de Litografía y Polímeros de Capa Fina para Embalaje a Nivel de Oblea
Instituto Fraunhofer de Microintegración y Fiabilidad
Berlín, Alemania

"En TNO @ Holst Centre, la VPG de Heidelberg Instruments es fundamental en nuestro esfuerzo de Investigación y Desarrollo, ya que nos proporciona la capacidad de realizar ciclos rápidos a través de iteraciones de diseño y de desarrollar y optimizar los flujos del proceso de fabricación de estos diseños."

Auke Jisk Kronemeijer, Director de Investigación de Electrónica de Capa Fina
TNO @ Holst Centre
Eindhoven, Países Bajos

Technical Data

Modo escrituraQXFX
Rendimiento de escrituraAlta calidadAlto rendimiento
Tamaño mínimo de la estructura [μm]0.81
Cuadrícula de direcciones [nm]88
Rugosidad del borde [3σ, nm]2040
Uniformidad CD [3σ, nm]5070
Superposición de placa a placa [3σ, nm]250250
Costura [3σ, nm]4050
Registro [3σ, nm]100100
Velocidad de escritura [mm²/min]13752750
Características del sistema
Fuente de luzLáser DPSS de alta potencia con 355 nm
Tamaños máximos de sustrato1400 x 1400 mm²
Grosor del sustrato0 a 13,2 mm
Área máxima de exposición1400 x 1400 mm²
AutoenfoqueSistema de autoenfoque en tiempo real (óptico y neumático)
Rango de compensación del enfoque automático150 µm
AutomatizaciónSistema de carga semiautomático
Caja de flujoCámara ambiental de circuito cerrado con temperatura controlada
Alineación Sistema de cámara para metrología y alineación
Otras funciones y opcionesCorrección del mapa del escenario, Optimización de la mura y del paso del panel, Sistema detector de aristas, Múltiples formatos de entrada de datos (archivos DXF, CIF, GDSII y Gerber)
Dimensiones del sistema
Unidad principal (puertas cerradas, pala cargadora extendida)
Anchura [mm]5370
Profundidad [mm]7000
Altura [mm]2800
Peso [kg]25000
Requisitos de instalación
Eléctrico400 VCA ± 5 %, 50/60 Hz, 32 A
Aire comprimido8 - 10 bar

Ten en cuenta
Las especificaciones dependen de las condiciones individuales del proceso y pueden variar según la configuración del equipo. La velocidad de escritura depende del tamaño del píxel y del modo de escritura. El diseño y las especificaciones están sujetos a cambios sin previo aviso.

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