La búsqueda incesante de una mayor resolución y eficiencia energética por parte de la industria de las pantallas exige herramientas de fabricación de fotomáscaras que ofrezcan una precisión, escalabilidad y rendimiento excepcionales, especialmente para las máscaras de gran formato cruciales en la producción de pantallas planas (FPD). El generador de patrones volumétricos VPG⁺ 1400 FPD de Heidelberg Instruments está diseñado específicamente para satisfacer estas rigurosas exigencias.

Producción pionera de fotomáscaras para FPD

La FPD VPG⁺ 1400 destaca en la creación de fotomáscaras de gran superficie (hasta 1400 x 1400 mm²) para componentes de pantalla esenciales, como matrices de transistores de película fina (TFT), filtros de color y electrodos de óxido de indio y estaño (ITO). Estas máscaras son la piedra angular de las pantallas modernas y permiten tecnologías como OLED, micro-LED y puntos cuánticos. Su capacidad para manipular sustratos de gran formato con resolución submicrónica, junto con la optimización de la mura, la detección de bordes y la optimización del paso del panel, garantizan la precisión y uniformidad necesarias para un rendimiento impecable de la pantalla. Una cámara ambiental de bucle cerrado mantiene unas condiciones óptimas durante todo el proceso, garantizando unos resultados uniformes incluso en la producción de grandes volúmenes.

Características principales para afrontar los retos de la fabricación de pantallas

• Motor óptico de alta velocidad: Un modulador óptico 1D de alta velocidad que utiliza una válvula de luz de rejilla (GLV) y un láser DPSS de 355 nm, combinados con una lente de escritura de alta apertura numérica (NA), ofrecen una resolución submicrónica y bajas distorsiones ópticas. Las cintas GLV pueden accionarse hasta 350 kHz. El motor óptico cuenta con una alta transmisión UV, una velocidad de datos ultraalta de 2,4 Gbit/s para 1088 píxeles y una modulación de intensidad de 10 bits.
• Precisión sin concesiones: La metrología de posición de alta precisión con control de posición interferométrico de 1 nm y una cuadrícula de direcciones de 8 nm garantiza la transferencia precisa de patrones de diseño intrincados con características de hasta 800 nm a la fotomáscara.
• Rendimiento excepcional: El motor de exposición de ultra alta velocidad permite un rendimiento de 2750 mm²/min, lo que reduce significativamente los tiempos de escritura y permite una rápida producción de máscaras sin comprometer la calidad.
• Fabricación escalable: La platina de precisión de gran formato admite sustratos de hasta 1400 x 1400 mm², ideales para las exigencias únicas de las pantallas medianas y grandes (hasta G8).
• Alineación avanzada: El reconocimiento de imágenes Cognex y un completo paquete de metrología, que incluye la alineación multipunto y una función de omisión para marcas dañadas, proporcionan capacidades precisas de alineación de la segunda capa (400 nm de media+3σ en un área de 1000 x 1000 mm²), esenciales para la producción de máscaras multicapa. Una sofisticada matriz de corrección 2D calibra la posición de la platina y garantiza una adaptación precisa de las herramientas.
• Automatización y fiabilidad: La calibración automática agiliza los flujos de trabajo, minimiza los errores y garantiza un funcionamiento fiable 24 horas al día, 7 días a la semana, proporcionando plazos de entrega predecibles. La cámara climática de alta estabilidad, con compensaciones climáticas en tiempo real y correcciones de software, mantiene la estabilidad de la temperatura en ±0,05 °C.

Otras especificaciones

• Sistema de autoenfoque en tiempo real (óptico y neumático) con un rango de compensación de 150 µm.
• Espesor del sustrato: de 0 a 13,2 mm
• Precisión de medición de cruce único: 10 – 20 nm
• Precisión de medición de área (área G8): ~50 nm
• Registro (3σ): 100 nm
• Superposición de placa a placa (3σ): 250 nm
• Ortogonalidad: 0,2 µrad

Aplicaciones y beneficios para la industria de pantallas

El VPG⁺ 1400 FPD es compatible con todos los formatos de datos industriales, lo que garantiza una integración fluida en los flujos de trabajo existentes. Las aplicaciones clave incluyen:

• Matrices TFT: Fabricación precisa de transistores para pantallas de alta resolución.
• Filtros de color: Uniformidad en los filtros para una fidelidad cromática precisa.
• Electrodos de ITO: Patroneado de capas conductoras y transparentes para funciones táctiles y eficiencia energética. Las fotomáscaras de semitono permiten un control preciso del grosor de la capa de ITO y una uniformidad en grandes áreas, optimizando el rendimiento óptico y eléctrico.

La combinación de un rendimiento sobresaliente, la más alta precisión y una reducción en los costos de producción hace del VPG⁺ 1400 FPD una herramienta indispensable para los fabricantes de fotomáscaras que buscan una ventaja competitiva en el mercado FPD.

Diseñado para el futuro de la producción de pantallas

Invertir en el VPG⁺ 1400 FPD ofrece a los fabricantes:

• Calidad superior de máscaras para pantallas sin defectos.
• Mayor rentabilidad gracias a una producción optimizada.
• Escalabilidad a largo plazo para tecnologías de pantallas de próxima generación.

A medida que la industria de pantallas continúa avanzando, el VPG⁺ 1400 FPD de Heidelberg Instruments se posiciona como una solución revolucionaria, permitiendo a los fabricantes satisfacer la creciente demanda de precisión, eficiencia e innovación en la fabricación de pantallas.